【課題】滅菌処理に要する時間を短縮化し、アイソレータでの作業効率を向上させる。
【解決手段】滅菌物質供給装置２００は、霧化部２１０および気化部２２０からなる滅菌
ガス生成部２０２を有する。霧化部２１０において、超音波振動子２１３から発せられる
超音波振動により、カップ２１４内の過酸化水素水がミスト化される。ミスト化された過
酸化水素水は、気化部２２０において、ヒータ２２２で加熱され気化する。気化した過酸
化水素水は滅菌ガスとしてアイソレータの作業室に供給される。 （もっと読む）