Fターム[4G072AA17]の内容
Fターム[4G072AA17]に分類される特許
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ケイフッ化水素酸含有液の処理方法
フッ化水素酸およびケイフッ化水素酸を含有する廃液から酸成分を分離・回収する方法およびその装置
【解決手段】フッ化水素酸およびケイフッ化水素酸を含む廃液中の固形分を分離した後、蒸留によりまず廃液を濃縮し、主としてフッ化水素酸を含む水溶液と主としてケイフッ化水素酸を含む水溶液をそれぞれ回収する。その他の物質は釜残に残す。
【効果】フッ化水素を含む水溶液は、フッ化水素酸を加えて濃度を調製した後、ガラスのケミカルエッチング処理液として再利用できる。ケイフッ化水素酸を含む水溶液は、2酸化ケイ素を加えてフッ化水素酸をケイフッ化水素酸に変換することにより、さらに水で希釈して所定の濃度に調製することにより、市販用のケイフッ化水素酸およびケイフッ化物の合成原料として再利用できる。
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