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Fターム[4G072AA50]の内容

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Fターム[4G072AA50]に分類される特許

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【課題】結晶基板の上に、膜厚みの均一性に優れた凹凸膜が形成されたウエハを提供する。また、結晶基板の上に、膜厚みの均一性に優れた凹凸膜が形成されたウエハの製造方法を提供する。
【解決手段】結晶基板に凹凸膜が形成された凹凸膜付きウエハであって、該凹凸膜は、最大厚みの平均が0.05〜5μmであり、シロキサンオリゴマーを含み、X線光電子分光(XPS)測定による炭素、酸素、ケイ素の各原子数の合計に対するケイ素原子の含有率が5〜33atom%であり、残膜厚みの均一性が25%以下であることを特徴とする凹凸膜付きウエハ。
凹凸形状を表面に有する支持体フィルムの上に、最大厚みの平均が0.05〜5μmであり、シロキサンオリゴマーを含み、X線光電子分光(XPS)測定による炭素、酸素、ケイ素の各原子数の合計に対するケイ素原子の含有率が5〜33atom%である凹凸膜が積層された転写フィルムから、結晶基板の上に前記凹凸膜を転写することを特徴とする凹凸膜付きウエハの製造方法。 (もっと読む)


【課題】ナトリウムを内包したII型のシリコン系クラスレートを安定して製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン系クラスレートの製造方法は、Si粉末とGe粉末とNaとを混合して650℃以上の温度で加熱し、SiとGeとNaとからなる化合物を生成する陽圧加熱処理工程と、生成されたSiとGeとNaとからなる化合物を、10−2Pa以下の陰圧下で300℃以上450℃以下の温度により2時間以上72時間以下加熱する陰圧加熱処理工程とを備えている。Ge粉末は、Si粉末とGe粉末の総モル数に対する割合が1モル%以上20モル%以下となるように使用されることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】ナトリウムを内包したII型のシリコンクラスレートを安定して大量に製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリコンクラスレートの製造方法は、シリコンウエハとNaとを混合して650℃以上の温度で加熱し、SiとNaとからなる化合物を生成する陽圧加熱処理工程と、生成されたSiとNaとからなる化合物を、10−2Pa以下の陰圧下で300℃以上450℃以下の温度により1時間以上加熱する陰圧加熱処理工程とを備えている。Naは、シリコンクラスレートを生成するために用いられるSiに対するモル比が1.0よりも大きくなるように供給されることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】シリコン溶湯の表面に噴射ガスを噴射してSiOxナノ粉末を大量に生産できる揮発性に優れた高純度SiOxナノ粉末の製造方法及びその製造装置について開示する。
【解決手段】本発明にかかるSiOxナノ粉末の製造装置は、真空チャンバ;前記真空チャンバの内部に装着され、シリコンが装入される黒鉛るつぼ;前記黒鉛るつぼに装入されたシリコンを誘導加熱してシリコン溶湯を形成させる誘導溶融部;前記黒鉛るつぼの内部で前記シリコン溶湯の表面と直接接触するように噴射ガスを噴射するガス噴射部;及び前記黒鉛るつぼと離隔された上部に配置され、前記シリコン溶湯と前記噴射ガスとの反応によって揮発するSiOx蒸気を捕集する捕集部;を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明では、被表面処理部材の材質および形状を問わず、所望の位置に微細構造体を形成することができる、被表面処理部材の表面処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】被表面処理部材に対する表面処理方法であって、(a)被表面処理部材を準備するステップと、(b)シリコン系高分子を含む表面処理剤を調製するステップと、(c)前記被表面処理部材の少なくとも一部に、前記表面処理剤を設置するステップと、(d)触媒を含み、ガス流が存在する環境下において、前記表面処理剤が設置された被表面処理部材を800℃以上の温度で焼成することにより、ケイ化物の繊維状構造体を形成するステップであって、前記ガス流は、前記被表面処理部材の表面積50mあたり0.01L/min以上の流量で供給されるステップと、を有する表面処理方法。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、低比重で衝撃安定性の高いハイブリッド微粒子を提供することにあり、更に詳しくは、電子写真用トナーの外添剤としての基本的な性能を保持し、且つ低比重で衝撃安定性の高いハイブリッド微粒子を提供することである。
【解決手段】本発明は、内殻が有機物であり、外殻がシリカ化合物及び酸化アルミニウムからなる複合化合物、シリカ化合物及び酸化チタンからなる複合化合物、及びシリカ化合物及び酸化アルミニウム及び酸化チタンからなる複合化合物の群から選択されるいずれかであることを特徴とするハイブリッド微粒子に関する。 (もっと読む)


【課題】容量劣化が抑制され、サイクル特性に優れた非水電解質二次電池を与える正極活物質の製造方法、それにより得られた正極活物質、それを用いた正極及び非水電解質二次電池を提供することを課題とする。
【解決手段】オリビン構造を有する下記一般式(1)で示される正極活物質を形成するのに必要なリチウム源、M源、リン源及びX源の各所定量を溶媒に溶解させて溶液を調製する工程と、得られた溶液を環状エーテルの付与によりゲル化させる工程と、生成したゲルを焼成処理することで炭素被覆されたリチウム含有複合酸化物を得る工程を含む、一般式(1):Lixy1-zz4で表される化合物(式中、Mは、Fe、Ni、Mn、Zr、Sn、Al及びYからなる群から選択される少なくとも1種の元素であり、Xは、Si及びAlから成る群から選択される少なくとも1種であり、0<x≦2、0.8≦y≦1.2、0≦z≦1の範囲である)を得ることを特徴とする正極活物質の製造方法により上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】新規な遷移金属シリサイド−Si複合材料及びその製造方法、並びに、このような遷移金属シリサイド−Si複合粉末を製造することが可能な遷移金属シリサイド−Si複合粉末製造用CaSiy系粉末及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】1種又は2種以上の遷移金属元素(M)を含み、Si/M比(z)が2.0≦z≦20.0であり、比表面積が2.5m2/g以上である遷移金属シリサイド−Si複合粉末及びその製造方法。Si/Ca比(w)が2.0≦w≦20.0であり、少なくともCaシリサイド相を含む遷移金属シリサイド−Si複合粉末製造用CaSiy系粉末及びその製造方法。 (もっと読む)


【課題】 良質のシリコン酸化膜を狭いスペース内に低温で形成できるようにする。
【解決手段】 本実施形態は、シラザン結合を有するポリマーを有機溶媒に溶解した溶液を回転塗布してポリマー膜を形成するスピンコーティングユニットと、前記スピンコーティングユニットにより前記ポリマー膜が形成された基板を当該ポリマー膜に触れることなく酸化ユニット内に搬送する搬送機構と、前記搬送機構により基板が搬送されると、前記ポリマー膜に過酸化水素を含む加熱した水溶液への浸漬処理、過酸化水素を含む加熱した水溶液の噴霧処理、及び、過酸化水素蒸気を含む反応ガスへの曝露処理、の何れかを行うことにより前記ポリマー膜をシリコン酸化膜に転換する酸化ユニットと、を備え、前記スピンコーティングユニットによるポリマー膜の形成処理および前記酸化ユニットによる前記ポリマー膜のシリコン酸化膜への転換処理を1装置内にて完了することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】金属とリチウムとの合金化・脱合金化反応を利用したリチウムイオン二次電池用負極材に好適な、高容量で、充放電サイクル性に優れる複合粒子、その製造方法、それを用いたリチウムイオン二次電池用負極及びリチウムイオン二次電池を提供すること。
【解決手段】リチウムを電気化学的に吸蔵・放出できる金属粒子Aと、前記金属粒子Aよりも導電性が高く、且つ前記金属粒子Aよりもリチウムの吸蔵・放出能力が低い金属粒子Bと、を用いて得られる複合粒子であり、前記金属粒子Bの重量平均粒子径(D50)は0.2μm以上1.2μm以下であり、粉体電気抵抗が圧力50MPaにおいて1×E1Ω・cm以上1×E8Ω・cm以下の複合粒子である。 (もっと読む)


【課題】サイクル特性に優れた非水電解質二次電池を与える正極活物質を提供することを課題とする。
【解決手段】LiFe1-xx1-ySiy4(但し、式中、Mは、3〜14族から選択される少なくとも1種であり、0<x<1であり、0<y<1である)
で表される単位格子を有するリチウム含有金属酸化物であり、0.30°以上の(011)面の回折ピークの半値幅を有するとともに、一般式(1)で表される物質の単位格子が、291.4〜300.0Å3もしくは285.0〜291.0Å3の体積を有することを特徴とする正極活物質により上記課題を解決する。 (もっと読む)


【解決手段】非水電解質二次電池負極材に用いられる珪素酸化物であって、SiOガスとケイ素含有ガスの混合ガスを冷却析出させて得られ、酸素含有量が20〜35質量%であることを特徴とする非水電解質二次電池負極材用珪素酸化物。
【効果】本発明によれば、酸化珪素の高い電池容量と低い体積膨張率を維持しつつ、初回充放電効率が高く、サイクル特性に優れた非水電解質二次電池用の負極材として有効な活物質としての珪素酸化物及びその製造方法、ならびにこの珪素酸化物を用いた非水電解質二次電池負極が用いられた非水電解質二次電池を提供することができる。 (もっと読む)


【課題】安全性の向上を図りつつ、放電容量を飛躍的に増大させることができる正極活物質及びこの正極活物質を用いた非水電解質二次電池を提供することを目的としている。
【解決手段】組成式LiMn1−xNiSiO(0<x≦0.25)で表されるリチウム遷移金属化合物が含まれていることを特徴とする。また、正極活物質を含む正極と、負極と、非水電解質とを備えた非水電解質二次電池において、上記正極活物質には、組成式LiMn1−xNiSiO(0<x≦0.25)で表されるリチウム遷移金属化合物が含まれていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 化学式が(HGe)4−xSiHであって、x=0、1、2または3である珪素−ゲルマニウム水素化合物を合成するための方法を提供する。
【解決手段】 該方法は、珪素−ゲルマニウム水素化合物が形成される条件下で、シラン・トリフレートとGeH配位子を有する化合物とを化合させるステップを含む。該GeH配位子を有する化合物は、KGeH、NaGeHおよびMRGeHであってMが第IV族元素でありRが有機配位子である物質からなる群から選択される。該シラン・トリフレートは、HSi(OSOCF4−xまたはHSi(OSO4−xであることができる。該方法は、水素化珪素が形成される条件下でシラン・トリフレートとSiH配位子を含む化合物とを化合させることにより、トリシラン(HSi)SiHおよびイソ−テトラシラン類似物(HSi)SiHを合成するために使用することができる。該シラン・トリフレートは、HSi(OSOCF4−xまたはHSi(OSO4−xであってx =1または2である物質を含むことができる。(HGe)2 SiHを合成するための方法は、(HGe)2 SiHが形成される条件下でHGeSiH(OSOCF)とKGeHとを化合させるステップを含む。 (もっと読む)


【課題】充放電時の体積変化による影響を緩和して、良好な充放電サイクル特性を発現することが可能なリチウムイオン二次電池用負極活物質を提供する。
【解決手段】少なくともシリコンと酸素とを構成元素中に含む物質からなるリチウムイオン二次電池用の負極活物質であって、厚みが30〜500nmであり、かつ、平均長径/厚みの比が10〜100である鱗片状の粉末からなり、酸素含有量が5〜38wt%であるようにした。 (もっと読む)


【課題】低エネルギー消費で硫黄ドープシリコン膜を製造する。
【解決手段】光重合性のケイ素化合物と環状硫黄を混合した混合物を用意する工程と、混合物に光照射処理を行ってケイ素化合物をラジカル化するとともに第1の加熱処理を行って環状硫黄をラジカル化し、ラジカル化したケイ素化合物を、ラジカル化した硫黄と結合させる工程と、を行って硫黄変成ケイ素化合物を製造する。混合物の環状硫黄とケイ素化合物の混合比は、混合物に含まれる硫黄原子の数がケイ素原子の数に対して1/100000以上1/3以下となる混合比にする。硫黄変性ケイ素化合物を含んだ溶液を不活性雰囲気で基板上に塗布した後に第2の加熱処理を行って、硫黄変性ケイ素化合物を分解するとともに硫黄変性ケイ素化合物に含まれるケイ素原子を他のケイ素原子または硫黄原子と結合させて硫黄ドープシリコン膜を製造する。 (もっと読む)


【課題】二硫化ケイ素を低エネルギー消費で製造する。
【解決手段】本発明の硫黄変性ケイ素化合物の製造方法は、光重合性のケイ素化合物と環状硫黄を混合した混合物に、光照射処理を行ってケイ素化合物をラジカル化するとともに第1の加熱処理を行って前記環状硫黄をラジカル化し、ラジカル化したケイ素化合物を、ラジカル化した硫黄と結合させる。この硫黄変性ケイ素化合物に不活性雰囲気で第2の加熱処理を行って硫黄変性ケイ素化合物を分解するともに、この硫黄変性ケイ素化合物に含まれるケイ素原子および硫黄原子を結合させる。 (もっと読む)


本発明は、表面の少なくとも一部が、塩基性のpHの水中において不溶性で且つ化学的に安定であるカチオン伝導性有機多価電解質の層で被覆されている、アルカリカチオンを伝導するセラミックの膜に関する。また、本発明は、アルカリ金属水酸化物の水溶液の形態である液体電解質と接触する固体電解質としての上記膜を備える電気化学装置に関する。 (もっと読む)


【課題】リチウムイオン二次電池の負極活物質として用いた場合に優れたサイクル特性を有し、バリアフィルムの蒸着材料として用いた場合にガスバリア性に優れた蒸着膜を形成できるSiOx(x<1)の製造方法を提供する。
【解決手段】SiOガスが発生する原料をプラズマ加熱により気化させてSiOガスとした後、珪素酸化物として析出させることを特徴とするSiOx(x<1)の製造方法である。SiOガスを析出する際は、析出基体を用いる、またはSiOガスに非酸化性ガスを混合することにより、冷却して行うのが好ましい。原料は、Si粉末とSiO2粉末および/またはSiO粉末とを混合して得られたものを用いるのが好ましい。得られた珪素酸化物は、X線回折測定において金属珪素および二酸化珪素に由来する回折ピークを示さない、非結晶質のSiOx(x<1)となる。 (もっと読む)


【課題】
本発明の課題は、ミクロ細孔細孔構造を有する四価のα−ヘテロポリオキソメタレートアニオン及び少なくとも1個以上の一価のカチオンからなる新規な結晶体を提供することを目的としている。
【解決手段】
本発明によれば、ミクロ細孔構造を有する四価のα−ヘテロポリオキソメタレートアニオン及び少なくとも1個以上の一価のカチオンからなる結晶体が得られる。 (もっと読む)


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