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Fターム[4G072JJ03]の内容

Fターム[4G072JJ03]に分類される特許

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【課題】廉価にゲッタリング効果を得つつ高品質化を図る。
【解決手段】溶融シリコンを坩堝内の下方から上方に向けて一方向に凝固させることにより生成させた多結晶シリコンインゴットであって、上端部および下端部における酸素濃度が、この上端部とこの下端部との間の中央部における酸素濃度より高い。また、上端部における酸素濃度が下端部における酸素濃度より高い。 (もっと読む)


【課題】ボロン含有量を制御することができる球状シリカ粒子の製造方法の提供。
【解決手段】原料シリコン粒子と酸素とを反応させて球状シリカ粒子の製造方法である。ボロン含有量がシリカの質量を基準として下限0ppm、上限30ppmに含まれる所定範囲に含まれる粗シリコン粒子中に含有するボロン量を制御する。ボロン含有量を小さくすることにより、樹脂との密着性を向上することができる。 (もっと読む)


【課題】帯状の基板を搬送しつつ連続的に活物質層の形成と、リチウムの付与を行なうにあたって、単一の真空容器内で差圧構造を設けて、両処理を安定して実施できる生産性に優れたリチウム二次電池用負極の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】真空中で、帯状の基板の表面上に、負極を形成するリチウム二次電池用製造装置は、活物質形成エリア10とリチウム付与エリア50の間にスリット部を設けて分離された差圧構造であり、基板4を搬送する搬送機構と、搬送機構によって保持されている基板の表面上に、蒸着可能領域5内で活物質層を形成するための活物質形成手段と、リチウム付与可能領域55内でリチウムを付与するためのリチウム付与手段と、活物質層を酸化するガスノズル22と、圧力を制御するガスノズル62とを収容する真空容器1と、を有する。 (もっと読む)


【課題】対向拡散CVDにより形成されるシリカ膜を備えたガス分離材の製造方法において、欠陥が存在する多孔質基材を用いても、良好な性能を有するシリカ膜を安定して形成することができるガス分離材の製造方法を提供すること。
【解決手段】多孔質基材12とシリカ膜とを備えるガス分離材を製造する方法が提供される。該方法は、多孔質基材12を用意する工程と、前記基材12の一方の面側12aにシリカ源含有ガス2として不活性ガスと共に供給される気化したシリカ源と、該基材12の他方の面側12bに供給される酸素含有ガス3とを反応させる化学蒸着法によって、該基材12にシリカ膜21を形成する工程と、前記シリカ膜21を形成する工程において排出されるガス組成をガスクロマトグラフィーにてモニタリングすることによって、前記シリカ膜21の形成の終了点を決定する工程を包含する。 (もっと読む)


【課題】金属級シリコン材料からボロンおよびその他の不純物を効率的に除去でき、且つ連続的な処理が可能で、且つコンパクトな装置構成で、高純度シリコンの量産が可能なシリコンの精製方法を提供する。
【解決手段】金属級シリコンまたはシリカ粉末1を、2400℃程度のオゾン含有酸素ガス雰囲気のプラズマ領域8に投入し、前記粉末に含まれるボロンを酸化して気化物として除去し、粉末1aとして回収し、ボロン除去後の粉末1aを、還元性雰囲気のプラズマ領域28に投入し、還元処理により酸素を除去して、シリコン粉末1bとして回収し、前記シリコン粉末を加熱して溶湯1cとなし、電磁石35の磁場中に前記溶湯を流すことで、金属不純物元素をトラップして除去する。さらに、金属不純物元素を除去したシリコンの溶湯1cを、遠心噴霧によりシリコンの粉末1dとなして回収する。 (もっと読む)


【課題】成形時の飛散や成形欠陥の発生を抑制することができる粉体を提供すること。
【解決手段】シリカとゲルマニウムとを含む粉体であって、ゲルマニウムの含有率が10ppm以上1000ppm以下であり、BET比表面積が10m/g以上400m/g以下であり、圧縮度が31%以下であり、かつ、30℃における熱伝導率が0.05W/m・K以下である、粉体。 (もっと読む)


【課題】粒径の制御を簡単に行うことができる金属酸化物粒子の製造方法の提供。
【解決手段】金属粉末と酸素とを反応して球状金属酸化物粒子を得る工程と得られた球状金属酸化物粒子を粉砕して所定粒径以上の粗粒を破砕する工程とを有する。金属粉末と酸素とを反応させることで球状の金属酸化物粒子が得られるが、その球状金属酸化物粒子に対して粉砕操作を行うことで、粗粒を選択的に破砕することが可能になり、速やかに粒径制御を行うことができる。球状金属酸化物粒子に粉砕操作を加えても、大部分の粒子には影響はなく、優先的に粗粒を破砕できる。従って、球状金属酸化物粒子に対して粉砕操作を加えることで大多数の粒子の粒子形状に影響を与えることなく粒径制御ができる。大多数の粒子の粒子形状を殆ど変化させないので球状金属酸化物粒子がもつ好ましい性質はそのまま有する金属酸化物粒子を得ることが可能になる。 (もっと読む)


【解決手段】不純物を含むフラックスを加熱溶融し、この溶融フラックス中に水蒸気及び酸素のいずれか一方又は両方を含む気体を吹き込むことにより、フラックス中の不純物を低減することを特徴とするフラックスの不純物除去方法。
【効果】冶金的手法による太陽電池用高純度Siの製造に用いるフラックス中の不純物、特にBを効果的に低減することができる。本発明により得られたフラックスは、含有するBが極めて少量あるいは実質的に含有しない。従って、これを冶金的手法による太陽電池用高純度Siの製造に用いることで、Si中のBを容易、迅速、かつ多量に除去することができる。こうしてBを除去したSiに、高真空下、局所高温加熱等によりPを揮発除去し、更に一方向凝固等により、金属不純物を低減し、極めて安価に純度6N程度の太陽電池に使用可能な高純度Siとすることができる。 (もっと読む)


【課題】ポリマーが熱により変質することを抑制してポリマーの表面に好適に成膜できる成膜方法及び成膜装置を提供する。
【解決手段】超臨界流体に酸化剤のオゾンガスと酸化物用原料のTEOSとを供給し、構造体1及びその周囲を200℃の温度で加熱することによって、酸化物であるSiO2を生成させ、このSiO2によって構造体1のマイクロ流路3の内壁全面(従ってポリマーであるPDMS膜9の表面)に酸化物層5であるSiO2層を形成する。これにより、従来に比べて低い温度で酸化物層5を形成できるので、ポリマーが変質する等の問題が生じないという顕著な効果を奏する。また、ポリマー表面を隙間無く覆う様に酸化物層5を形成できるので、親水性やガス透過防止性を高めることができるという利点もある。 (もっと読む)


【課題】エネルギー効率に優れ、ナノ粒子を低コストで製造可能なナノ粒子の製造方法およびその製造方法に好適なナノ粒子製造装置を提供する。
【解決手段】ナノ粒子の原料となる原料ガスおよび非反応性のプラズマ生成ガスの混合ガスをプラズマ生成手段(11)に供給しプラズマジェットを生成する工程と、冷却可能な壁面を備え、圧力調整可能な密封可能なチャンバー(14)の内部を非反応性雰囲気あるいは酸素ガスを含む雰囲気で満たし、プラズマジェットを噴出させ、急冷することによりナノ粒子を生成させる工程とを有することを特徴とするナノ粒子の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、平均粒径がサブミクロン以下の金属酸化物超微粉末をエポキシ樹脂に充填した際、極めて流動性の高いスラリー組成物を提供する。
【解決手段】 体積平均粒径(A)が0.04〜0.40μm、粒径分布標準偏差(B)が下記式(1)で表され、粉末の孤立シラノール(孤立OH)基の濃度が1.5〜4.0個/nm2である金属酸化物超微粉末である。

B≦A×1/2 ・・・・・式(1)
[測定方法]
水分気化装置/VA‐122型に金属酸化物超微粉末を0.3g入れ、加熱昇温し、発生した水分をカールフィッシャー電量滴定法にて測定したときに、温度200℃までに発生した水分を「物理吸着水分」、200℃をこえ550℃までに発生した水分を「水素結合OH基由来の水分」、550℃をこえ900℃にまでに発生した水分を「孤立OH基由来の水分」、と定義し、測定された水分量とBET比表面積値から、単位面積当たりの孤立OH基量を算出した。 (もっと読む)


【課題】異物による成膜不良を抑制し良好な成膜を実現する成膜方法を提供する。
【解決手段】長尺の基材100を連続的に搬送しながら、プラズマ反応を用いて当該基材100の成膜面100aに連続的に薄膜層を形成する成膜方法であって、基材100の搬送経路に沿って、有機ケイ素化合物と酸素とを含む成膜ガスの放電プラズマを、プラズマ強度が主として有機ケイ素化合物の完全酸化反応を生じる強度である第1の空間と、主として有機ケイ素化合物の不完全酸化反応を生じる強度である第2の空間と、が交互に連続するように生じさせ、第1の空間および第2の空間と重なるように基材100を搬送し、第1の空間または第2の空間を通過した後に、表面が基材100より柔らかい搬送ロール22,23で成膜面100aを保持しながら、基材100を搬送する。 (もっと読む)


【課題】シリカガラス合成用バーナからの火炎と別の火炎を形成することにより、浮遊シリカ微粒子のインゴット合成面(溶融シリカ付着面)への付着を抑制し、脈理及び内部欠陥が抑制された合成シリカガラスを製造する合成シリカガラス製造装置を提供する。
【解決手段】シリカガラス合成用のバーナ4は、少なくとも原料ガスを導出するバーナ内筒管4aと、少なくとも可燃性あるいは支燃性ガスを導出するバーナ外筒管4bを備え、前記バーナ外筒管4bからのガスの導出によって、バーナ内筒管の外周面に沿って下方向に向かう第1の火炎流F1が形成され、炉は、耐火物製の円筒状の側壁部10と、前記側壁部の上部を閉塞する耐火物製の天井部11とから構成され、前記天井部11には複数のガス導出孔12が設けられると共に、前記ガス導出孔12からのガスの導出によって、ガス導出孔12から垂直下方向に向かう第2の火炎流F2が形成される。 (もっと読む)


【課題】シリコン加工プロセスで発生し、シリコンスラッジ中のシリコン粉の安定的な高純度化が図れ、バッチ間でのシリコン粉の均一な高純度化も可能なシリコンスラッジの洗浄方法を提供する。
【解決手段】シリコン加工プロセスで生じたシリコンスラッジ中のシリコン粉の酸素濃度を測定し、その値から洗浄槽内の全シリコン粉のSiO膜の総重量を求め、さらに全SiO膜の除去に必要な最小のHF量を算出し、この値以上のHF量のHF洗浄液を洗浄槽に投入しHF洗浄する。よって、シリコン加工プロセスで発生し、バッチでHF洗浄されるシリコンスラッジ中のシリコン粉の安定的な高純度化が図れる。また、バッチ間にわたるシリコン粉の均一純度化も実現できる。 (もっと読む)




【課題】極めて高いバリア性能、UVカット性、密着性に優れるバリア性フィルムを提供し、それを用いた有機光電変換素子や有機EL素子の様な有機電子デバイスを提供する。
【解決手段】ガスバリア性フィルムとして、樹脂基板の両面上にガスバリア層が、それぞれ、紫外線カット層と、酸化珪素層および酸化窒化珪素層から選ばれる少なくとも1種の層とをこの順に設けてあることを特徴とするガスバリア性フィルム及び有機電子デバイス。 (もっと読む)


【課題】充放電時の体積変化による影響を緩和して、良好な充放電サイクル特性を発現することが可能なリチウムイオン二次電池用負極活物質を提供する。
【解決手段】少なくともシリコンと酸素とを構成元素中に含む物質からなるリチウムイオン二次電池用の負極活物質であって、厚みが30〜500nmであり、かつ、平均長径/厚みの比が10〜100である鱗片状の粉末からなり、酸素含有量が5〜38wt%であるようにした。 (もっと読む)


本発明は、シリコン融液の新規な粗脱炭法、及びシリコン、好ましくはソーラーシリコン又は半導体シリコンの製造のためのその使用に関する。 (もっと読む)


本発明は、ホウ素含有化合物に関して特定純度のハロゲン化ポリシランを純粋な化合物又は化合物の混合物として生成する方法である。本発明の一実施形態は、一般式HpSin-p(2n+2)-p(式中、n=1〜50、0≦p≦2n+1、X=F,Cl,Br,I)のハロゲン化ポリシランを、ハロゲン化ポリシランを含有、又は混合物中でハロゲン化ポリシランが形成されている混合物から、個別の化合物、又は化合物の混合物として生成する方法である。混合物は、ホウ素含有不純物を含有する。方法は、a)混合物を、少なくとも1ppbw(10億分の1重量部)のシロキサン形成酸化剤又はシロキサン自体と反応させる方法ステップであって、ホウ素含有不純物が、シロキサンと、ハロゲン化ポリシランとは異なる揮発性及び/又は溶解性を有する化合物を形成する方法ステップと、b)ハロゲン化ポリシランをこれらの化合物と分離する方法ステップとを含み、水が最高で1ppmw、シロキサンが最低で1ppbw存在する。 (もっと読む)


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