【課題】プラズマ発生領域の体積を大きくしたプラズマ発生装置の提供。
【解決手段】大気圧プラズマ発生装置１００であって、長手方向に伸び、プラズマを発生する柱状のプラズマ化領域Ｐを内包する絶縁体から成る筐体１０と、プラズマ化領域Ｐにプラズマ発生ガスを前記長手方向に対して垂直な方向から長手方向に一様に供給するガス導入部１２と、プラズマ化領域Ｐにおいて、前記長手方向に離間して配置された１対の電極２ａ，２ｂと、プラズマ化領域Ｐに接続され、そのプラズマ化領域Ｐで生成された前記プラズマを排出し、プラズマ化領域Ｐの長手方向に沿って配列され、前記プラズマ発生ガスの流れる方向に長く伸びた多数の孔から成る排出部２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ放電部を複数並べて任意の大きさの試料に対応できるように放電面積を拡大する場合であっても、単位あたりの電力コストを増加することなく、均一なプラズマ生成が可能なプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】 高周波信号回路１３及び高周波電力回路１１を有する高周波電源と筐体２１と放電電極２とを備えたプラズマ処理装置において、筐体２１内に設置された放電電極２と高周波電力回路１１とでプラズマモジュールを構成し、複数個並列接続されたプラズマモジュールに高周波信号回路１３からの周波数信号を入力する。 （もっと読む）

【課題】放電空間におけるプラズマの分布及び流れを好適化できるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】誘電体３の貫通孔９は、放電空間９ａと、放電空間９ａとは反対側を拡径させる傾斜面３ｅを内周面の一部とする導入空間９ｂとを含む。第１対向電極５Ａは、ｚ方向の正側から放電空間９ａに面し、放電空間９ａ側が誘電体３により覆われている。第２対向電極５Ｂは、第１対向電極５Ａと放電空間９ａを挟んで対向している。第１イオン風用電極７Ａは、第１対向電極５Ａ側の傾斜面３ｅに位置している。プラズマ発生体１は、第１対向電極５Ａ及び第２対向電極５Ｂの間に電圧が印加されることにより放電空間９ａにプラズマを発生可能であり、第１対向電極５Ａ及び第１イオン風用電極７Ａの間に電圧が印加されることにより導入空間９ｂから放電空間９ａへ流れるイオン風を発生可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プラズマを用いてシランガスを効果的に分解するための手段を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、プラズマを用いたシランガス除去装置に関する。本発明の一実施形態によるシランガス除去装置は、既設定された周波数の電磁波を発振する電磁波供給部と、前記電磁波供給部から供給された前記電磁波及び渦流ガスからプラズマを発生させる放電管と、前記放電管に前記渦流ガスを供給する渦流ガス供給部と、前記放電管で発生された前記プラズマとシランガスとの反応により二酸化珪素及び水が生成される反応炉と、前記放電管内に前記プラズマの発生のための初期電子を供給する点火部と、前記反応炉の上端に形成され、前記反応炉内部の前記プラズマに前記シランガスを供給するシランガス供給部と、前記反応炉で生成された前記二酸化珪素及び水を排出するガス排出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】誘電体の表面に汚れなどが付着した場合においても汚れを容易に除去することができる気流発生装置を提供する。
【解決手段】実施形態の気流発生装置１０は、固体からなる誘電体２０と、誘電体２０の表面に設けられた第１の電極３０と、第１の電極３０と誘電体２０を介して離間して設けられた第２の電極４０とを備え、第１の電極３０と第２の電極４０との間に電圧を印加して気流を発生させる。第１の電極３０側の誘電体２０の表面２０ａにおける水に対する接触角が８０度以上である。 （もっと読む）

【課題】電極剥がれや電極内での放電等を防止し、耐熱性に優れた放電電極および放電装置を提供することを目的とする。
【解決手段】従来の電極の部分を導電性の粉体５に替えることで、温度影響による電極剥がれを防止することができる。また、従来の誘電体バリアの部分を、セラミックあるいは石英で形成され、粉体５を収容可能に構成した筒６に替えることで、筒６と粉体５との間に隙間が生じにくいので、放電電圧が上昇しにくく、発熱しにくくなる。また、筒６がセラミックあるいは石英で形成されているので、耐熱性に優れ、ピンホールもなく、非常に長寿命が期待できる。その結果、電極剥がれや電極内での放電等を防止し、耐熱性に優れたプラズマ用電極１を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマによる劣化を回避しつつ点火機構を簡略化する。
【解決手段】一方の端部が閉塞板１１ｂで閉塞され、かつ他方の端部が開放端に形成された筒状の筐体１１と、閉塞板１１ｂの内面に筐体１１の筒長方向に沿って延出するように立設されると共に入力した高周波信号Ｓ１を放射する棒状の放射器１４とを備え、閉塞板１１ｂ側から開放端側に向かう気流を筐体１１内に発生させるように筐体１１内にガス供給部４によって放電用ガスＧが供給され、かつ放射器１４が高周波信号Ｓ１を放射している状態において、放射器１４の先端近傍から気流に乗って筐体１１の外方へ伸びるプラズマＰを発生させるプラズマ処理装置１であって、放射器１４との間で放電Ｄを発生させてプラズマＰを点火する点火導体５ａを有する点火機構５を備え、放電電極としての点火導体５ａの先端は、放射器１４の先端よりも気流の上流側に配設されている。 （もっと読む）

【課題】対向させた電極間で発生する放電を利用した水処理装置において、簡易な構成で、消費電力を抑えつつ、水処理能力の向上が可能な水処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被処理水の流入口２と流出口３を有する水処理槽４内に、複数の貫通孔を有する１対の対向させた電極で構成する電極部を、水面近傍に、かつ水面に対して平行に設置し、前記電極部に気泡を供給するための気泡供給手段５を有し、前記１対の電極６間に気泡供給手段５から供給された気泡を含む気液混合体を強制的に導入させる構成とすることにより、低い電圧でプラズマ放電を発生させることができ、安定した活性種を含んだ気体を供給できる。 （もっと読む）

【課題】粒径の均等性を向上させることが可能な造粒装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の造粒装置１００によれば、造粒容器６１の中心部、天井部、側部、底部そして中心部へと循環する循環ガス流に乗って粉体が造粒容器６１内を循環する。この過程で粉体がプラズマフレームＦ２によって加熱されて粉体同士が付着し、粒径が徐々に大きくなる。そして、所定の粒径以上に成長した大径粒体は、自重によって循環ガス流から離脱する。ここで、循環ガス流から離脱した大径粒体は、造粒容器６１の底部に貫通形成された環状孔８２を通って直ちに造粒容器６１の外部、即ち、回収容器１０へと排出されるから、所定の粒径以上に成長した大径粒体に、循環中の粉体又は粒体がさらに付着することが防がれる。これにより、大径粒体の過剰な大型化を抑えて、粒径の均等性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】効率的な誘導結合によるトロイダルプラズマ発生と金属含有フッ素ガス処理装置を提供する。
【解決手段】金属含有フッ素ガスを減少させるための装置は、金属含有フッ素ガスを閉じ込めるプラズマチャンバ２０と、プラズマチャンバ２０の一部分を取り囲む一次巻線１８および磁心１６を有する変圧器１２を備え、一次巻線１８に結合されたスイッチング電源２６がトロイダルプラズマを直接生成し、トロイダルプラズマが、変圧器１２の二次回路を完成させ、金属含有フッ素ガスと反応し、固体金属材料、固体金属酸化物材料又は固体金属窒化物材料の少なくとも１つを生成する。さらに、生成材料をプラズマチャンバから出力する出口と、出口と流体連通し収集するための交換可能な構成要素とを構成要素とを備える。 （もっと読む）

【課題】
従来技術では凝集しやすい微粒子を良好に水中へ分散させる方法と分散装置、さらにはこの分散法で製造された水中分散物を提供する。微粒子自身の表面特性等を変えながら水中における分散性能を高め、塩や樹脂、分散剤等の添加や、添加における検討の煩雑さを解消するような、新しい微粒子の分散プロセスを提供する。
【解決手段】
一対の電極のうち、一方は水中に浸す又は水面に接触させ、他方は水面上部の気中に配置して、水面と水面上部電極間に電圧を加えてプラズマを発生させる液面プラズマを用いることにより、水中へ微粒子を分散する。この分散方法により安定な分散状態が保持される水中分散液が製造できる。機械的分散処理を併用することで、微粒子の凝集物を解す能力を高め、より効率の良い分散が可能となる。 （もっと読む）

【課題】低温プラズマで生成するプラズマジェットを、簡易な構成により、効率良く発生させる沿面放電型プラズマジェット生成装置の提供。
【解決手段】円筒状アルミナセラミック４の内表面に線状の放電電極３を設け、かつ、その内部または外表面に面状の誘導電極５を設けた円筒型沿面放電素子２において、一方の端面（ガス流入口１）からガスを供給し他方の端面（噴出口６）から噴出させ、放電電極３と誘導電極５の間に高周波高電圧を印加して沿面放電を発生させプラズマ（沿面放電励起プラズマ）を生成することで噴出口６からプラズマジェットを噴出させる。 （もっと読む）

【課題】放電発生終了後の気体通路の目詰まりを防止できるとともに、不安定な放電現象をも防止できるプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、水を含む液体を収容する液体収容部３と、気体を収容する気体収容部４と、気体収容部４の気体を液体収容部３へ導く気体通路５ａを有し、液体収容部３と気体収容部４とを隔てる隔壁部５と、気体収容部４に配設された第１電極１０と、液体収容部３の液体と接触するように配設された第２電極１１と、気体通路５ａを介して気体収容部４の気体を液体収容部３へ圧送させる態様で、酸素を含む気体を気体収容部４に供給する気体供給部と、第１電極１０と第２電極１１との間に放電を発生させることにより、液体収容部３の液体内に圧送された気体をプラズマ化するプラズマ電源部と、気体通路５ａの付着物Ａを物理的に除去する付着物除去手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】使用者の誤使用や装置の誤動作に伴う非正常事象を回避することができるプラズマ発生装置及びこれを用いた洗浄浄化装置を提供する。
【解決手段】洗浄浄化装置４０は、プラズマ発生装置１の使用時に発生する非正常事象を検知し、その検知結果に基づいてプラズマ放電を制御する。 （もっと読む）

【課題】排気通路においてプラズマを生成するプラズマ生成装置において、プラズマ領域から活性種を拡散させて、活性種の効果が得られる範囲を拡大する。
【解決手段】プラズマ生成装置２０は、排気通路３０に露出し、近接した状態で間隔を隔てて配置された第１電極２３及び第２電極２４を有する電極部２１と、電極部２１に高周波を出力する高周波発生器２２と、第１電極２３と第２電極２４との間に電位差を付与するプラズマ側電源２９とを備えている。プラズマ生成装置２０は、高周波発生器２２が電極部２１へ高周波を出力して電極部２１の近傍にプラズマを生成し、電極部２１の近傍にプラズマが形成されている期間に、プラズマ側電源２９が第１電極２３と第２電極２４との間に電位差を付与する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ化が困難なガスのプラズマを容易に生成することができるプラズマ生成用ガスおよびプラズマ生成方法並びにこれにより生成された大気圧プラズマを提供する。
【解決手段】大気圧プラズマを生成するために用いられるプラズマ生成用ガスであって、プラズマとなることにより処理能力を有するとともに、プラズマ生成用ガス全体をプラズマ源に搬送するためのベースガス（キャリアーガス）としてのアルゴン（Ａｒ）と、前記大気圧プラズマの処理効果を向上する処理効果向上ガスとしての酸素ガスもしくは炭酸ガスとの混合ガスとした。 （もっと読む）

【課題】ＮＯ_２ガスを生成するプラズマ発生ノズルにおいて、電極交換を容易にする。
【解決手段】同心状に配置される内側電極３５および外側電極３６を有し、導波管６２を介して伝搬されるマイクロ波を内側電極３５で受信することで電極３５，３６間にグロー放電を発生させ、電極３５，３６間に供給される空気をプラズマ処理してＮＯ_２ガスを生成するプラズマ発生ノズル３１において、損耗する内側電極３５を交換可能にするために、該内側電極３５を、絶縁性を有する材料から成り、円筒状に形成される保持部材３７によって保持する。そして、保持部材３７の外周面と外側電極３６の内周面との間を、処理されたガスが漏れないようにＯリングなどの無端環状のシール部材３７３でシールするにあたって、そのシール部材３７３を保持部材３７側の周方向に形成した凹溝３７１１に嵌め込むようにする。したがって、保持部材３７ごとシール部材３７３を取り外せる。 （もっと読む）

【課題】放電プラズマによる気流誘起現象により高温下や含塵環境下においても安定して気流を発生させることができ、空気力学的特性の制御などを行うことが可能な気流発生装置、気流発生方法および気流発生ユニットを提供する。
【解決手段】気流発生装置４０は、固体からなる誘電体２０の表面と同一面に露出された一つの電極２１と、電極２１から誘電体２０の表面と水平な方向にずらして電極２１と離間され、かつ誘電体内に埋設された一つの電極２２と、電極２１と電極２２との間に、（１）交番電圧の印加、または（２）断続的な電圧の印加および／または電圧値を調整しながらの電圧の印加が可能な放電用電源２４とを備える。電極２１と電極２２との間における誘電体バリア放電により、誘電体２０の表面に沿って、流れる方向が所定の時間間隔で反転して振動する気流を発生させる。 （もっと読む）

【課題】被処理体以外の部位への成膜を抑制した大気圧プラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置は、誘電体内にアンテナとアースが形成された面放電型の誘電体バリア放電方式のプラズマ源において、被処理体を前記プラズマ源に略接触させ、被処理体に対してプラズマ源を設置した面とは反対の面にプラズマを生成するようにした。 （もっと読む）

【課題】
各種の汚染物質等を含む被処理液体を、効率良く、かつ、低コストで処理して浄化できる小型で簡便な構造を有する液体処理装置を提供する。
【解決手段】
電圧印加電極と接地電極とを有する気体放電部と、これに一体的に直結した微細気泡発生部と、特定の気体又は複数種類の気体を混合して成る混合気体を前記気体放電部に導入する気体供給手段とを備え、前記気体放電部は両電極間における大気圧下での気体放電により気体をプラズマ等化させて活性化ガスを発生させ、該活性化ガスを失活させぬよう直ちに前記微細気泡発生部に自吸させ、活性化ガスを微細気泡化して被処理液体中に供給することにより、活性化ガス中のプラズマ等と被処理液体中の被処理物質とを効率的に反応させて除去できる液体処理装置。 （もっと読む）