【課題】使用者の誤使用や装置の誤動作に伴う非正常事象を回避することができるプラズマ発生装置及びこれを用いた洗浄浄化装置を提供する。
【解決手段】洗浄浄化装置４０は、プラズマ発生装置１の使用時に発生する非正常事象を検知し、その検知結果に基づいてプラズマ放電を制御する。 （もっと読む）

【課題】反応容器内の金属カルボニルを効果的に除去すること。
【解決手段】スラリーが収容された反応容器３０内に、一酸化炭素ガスおよび水素ガスを含む合成ガスを供給することにより炭化水素化合物を合成した後、反応容器３０の運転停止を行う方法であって、反応容器３０内への合成ガスの供給を停止する停止工程と、停止工程の後、反応容器３０からスラリーを排出するスラリー排出工程と、スラリー排出工程の後、反応容器３０内に金属カルボニルの分解温度以上の蒸気を供給し、反応容器３０内の気体を排出する蒸気供給工程と、蒸気供給工程の際、反応容器３０から排出される気体中の一酸化炭素ガスの量を検出する一酸化炭素ガス検出工程と、を有し、蒸気供給工程は、一酸化炭素ガスの検出量が、連続して下降し続けて予め決められた基準値以下になったときに蒸気の供給を停止する反応容器の運転停止方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】原料粒子を不純物の混合なく効率的に１μｍ以下まで微粒化でき、しかも均一で高品質な微粒子製品が得られる微粒化装置の提供。
【解決手段】微粒化装置において、原料粒子を含むスラリーを収容する原料タンクと、該原料タンクに対して直列循環回路で接続され、スラリー中で回転力を与えられたビーズによって原料粒子を挟み込んで粉砕するビーズミルと、前記原料タンクに対して直列循環回路で接続され、加圧されたスラリーをノズルによって高速噴射するジェットミルと、を備えているものとした。 （もっと読む）

【課題】
微小構造体の製造方法およびマイクロリアクターに関して、液体同士が接触により比較的短時間に反応や固化する様な液体の組み合わせや、３種類以上の液体を用いて微小構造体を製造する場合において、製造歩留まり良く、所望の粒子径サイズで、かつ粒子径サイズのばらつきが小さい微小構造体を製造する方法を提供する。

【解決手段】
本発明の微小構造体の製造方法は、メイン流路と複数のサブ流路を備えたマイクロリアクターを用いて微小構造体を製造する方法において、
メインの流路に液体を供給する工程と；
メイン流路に出口を有する複数のサブ流路に異なる液体を供給する工程と；
複数のサブ流路の出口からメイン流路に供給される液体が、メイン流体中で実質上交点をもつ方向に供給され、層流状態で接触させる。

（もっと読む）

【課題】あるチャンネルにおいて抵抗値（配管抵抗値）が変化しても、他のチャンネルに流れる流体の流量を一定に保つ化学反応装置を実現すること。
【解決手段】マイクロリアクタを含み流体を供給する送液部と並列に接続される複数のチャンネルを有し、これらのマイクロリアクタで流体に化学反応を生じさせる化学反応装置において、前記送液部とバイパス流路を介して接続され、このバイパス流路の圧力を一定に保つ圧力制御部とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

例えば陽電子放出断層撮影法（ＰＥＴ）による、迅速、効率的かつ緻密な方法によるイメージングのための放射性化合物の全自動合成のための方法及び装置が開示される。詳細には、本発明の様々な実施形態は、反応器を通って無制限に気体流が流れるマイクロ流体デバイス上で、ターゲット水から出発して従来の化学システムより短い期間内に精製されたＰＥＴ放射性トレーサを産生する、全放射合成サイクルの自動独立型ハンドフリー操作を提供する。従って、本発明の１つの態様は、反応室と、前記反応室に接続された１つ以上のフローチャネルと、前記反応室に接続された１つ以上のベントと、前記反応室の内外への流量制御を実行するための１つ以上の一体型バルブとを含んでなる、放射標識化化合物を放射合成するためのマイクロ流体チップに関する。 （もっと読む）

【課題】作業者が機器モデル及びプラントモデルの変更箇所や変更による影響を意識することなく、プラントモデル開発を行うことができるプラントモデル開発システムを提供することである。
【解決手段】機器モデル４Ａとプラントモデル３Ａとシミュレーション結果９Ａとを管理する履歴管理手段２５と、変更前の機器モデル４Ａと変更後の機器モデル４Ｂ、変更前のプラントモデル４Ａと変更後のプラントモデル４Ｂとを比較し変更データを抽出する変更データ抽出手段１３と、シミュレーション結果９Ｂと変更データ１４とを統合し作業者に変更データ１４とシミュレーション結果９Ｂとの関連情報を提供するデータ統合手段１１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】窒素を作動ガスとして使用する大気圧プラズマを用いて、窒素酸化物を副生することなく処理対象ガスを熱分解することのできるガス処理装置を提供する。
【解決手段】大気圧プラズマＰおよび大気圧プラズマＰに向けて供給される処理対象ガスＦを囲繞し、その内部にて処理対象ガスＦの熱分解を行う反応器２２を有し、窒素ガスを作動ガスＧとして使用するプラズマ分解機１２に対して、プラズマ分解機１２から排出された処理対象ガスＦと作動ガスＧとを含む排ガスＲに酸素および水分が混入しない状態で、排ガスＲを少なくとも窒素酸化物が生成しない温度まで冷却する冷却部１３を設けることにより、上記課題を解決したガス処理装置１０とすることができる。 （もっと読む）

【課題】照射雰囲気における空気循環を効果的に行うことができる光照射装置を提供すること。
【解決手段】紫外線照射装置は、ランプユニットと、ワークを載置するためのステージ２０と、ステージ２０をランプユニットに対して走査させる走査機構とを備えている。載置面２１には排気口２５が配設されている。排気口２５は吸引ポンプに連通されており、載置面２１上のワークに紫外線が照射される状態において、照射雰囲気の空気を強制排気する。 （もっと読む）

【課題】反応器内の圧力を高精度で一定に保ち、適用範囲の広い反応装置を得る。
【解決手段】原料を保存する原料タンク２と、原料タンク２と流路接続され原料を送液する高圧ポンプ３と、高圧ポンプ３の下流に設置され原料が加圧されて供給される反応器１と、反応器１を加熱して反応を促進する加熱槽１１と、生成物を流入させ回収する生成物タンク７と、を備える反応装置において、加熱槽１１と生成物タンク７との間に設けられた注入口と、注入液を注入口から注入する注入ポンプ６と、を備え、注入液の流量により生成物タンク７へ流出する圧力を減圧する。 （もっと読む）

【課題】 臭気成分を含む空気の廃棄物焼却炉内への閉じ込めを確実にする。
【解決手段】 廃棄物貯留部内圧力保持システムは、誘引送風機１４と、第１流量計１５と、第２流量計１６と、比較部１８と、制御部１９とを含む。比較部１８は、定格運転時にごみピット３内から焼却炉本体２に供給されるべき燃焼用空気の定格押込流量Ｑ０と、第１流量計１５によって測定された燃焼用空気の測定流量Ｑ１との差ΔＱ１を求める。制御部１９は、第２流量計１６によって測定される、誘引送風機１４によって誘引される空気の流量Ｑ２が比較部１８で求めた流量差ΔＱ１となるように、誘引送風機１４の動作を制御する。これによって、ごみピット３から排出される空気の流量が、燃焼用空気の流量の変動にかかわらず一定になり、これによってごみピット３内の圧力を一定に保持することができ、臭気成分を含む空気の焼却炉１内への閉じ込めが確実となる。 （もっと読む）

【課題】物質の流動条件に限定されずに、かつ、操作幅が広く、効率的に、移動する物質に対し連続的に作用力を与え続けてその分離、濃縮、混合、偏向等の各種操作を連続的に行うことができる光学的物質操作装置。
【解決手段】流動する流体内の分散微粒子を光圧により操作する光学的物質操作装置であって、対象物面５上を流動する流体に対して同時に複数の線状集光領域を形成する光学系を備え、それぞれの線状集光領域を形成する光路中に、対象物面上での線状集光領域の向きを調節する手段ＣＬ１、ＣＬ２と、線状集光領域の位置を調節する手段Ｍ１、Ｍ２とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】粉状あるいは粒子状の被反応物を反応ガスと接触させる連続バッチ的反応プロセスにおけるサイクルタイムを短縮した高生産性の気相反応方法及びを装置を提供する。
【解決手段】把持体２に支持した粉状あるいは粒子状の被反応物を反応室３０に装填し、該反応室３０に反応ガスを導入して加熱下に気相反応を行い、該反応室３０から前記把持体２と共に反応生成物を取り出す一連の操作を、新たな被反応物を順次供給しながら連続バッチ的に繰り返す気相反応方法と装置において、反応室３０に開閉可能なゲート扉３０１ａを介して隔離された予備加熱室２０を設け、反応室３０で行う気相反応工程と平行して、予備加熱室２０で前記新たな被反応物を昇温処理することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大気圧プラズマにて被処理物を間欠的に処理する場合にもガスの使用量を必要最小限に抑制しながら安定して処理を行えるようにする。
【解決手段】所定の空間にガスを供給し、前記所定の空間に高周波電圧を印加して大気圧近傍でプラズマを発生させ、プラズマにて被処理物を処理する大気圧プラズマ処理方法において、処理開始認識手段５からの信号にて処理開始を決定し、ガスの流量を増加させるとともにプラズマを点火して被処理物２をプラズマ処理し、処理終了認識手段６からの信号にて被処理物２に対する処理終了を決定し、ガスの流量を減少させるとともにプラズマ１１を消灯しかつ微量のガスを流し続けて前記所定の空間内の雰囲気を保持するようにした。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、気相堆積チャンバ内の製造プロセス中に基板汚染を減少させる処理プロセスを提供する。処理プロセスは、気相堆積プロセス、例えば、原子層堆積（ＡＬＤ）プロセスの前に、間に、後に行うことができる。ＡＬＤプロセスの一例において、中間処理ステップと所定数のＡＬＤサイクルを含有するプロセスサイクルは、堆積物質が所望の厚さを有するまで繰り返す。チャンバと基板は、処理プロセスの間、不活性ガス、酸化ガス、窒化ガス、還元ガス、又はそれらのプラズマにさらすことができる。ある例において、処理ガスは、オゾン、水、アンモニア、窒素、アルゴン、又は水素を含有するのがよい。一例において、バッチプロセスチャンバ内で酸化ハフニウム物質を堆積させる方法は、前処理ステップと、ＡＬＤプロセス中の中間ステップと、後処理ステップとを含む。 （もっと読む）

複数のフロースルー式の管に熱伝導可能に連結されたヒータを備える一体化されたデバイスを提供する。複数のフロースルー式の管のそれぞれの周りをワイヤメッシュヒータで包み、メッシュと管との間に熱界面を作成する。ワイヤメッシュの各端部は、電気コンタクトに接続する。電気コンタクトは、好ましくは、電源との電気的接続を容易にするために、一体化されたデバイスの外部に配設される。メッシュを介して電流が流れると、熱が発生する。熱は、熱界面を介して、メッシュからフロースルー式の各管に伝導される。フロースルー式の管は、試料調製モジュールに流体的に接続してもよい。試料調製モジュール、フロースルー式の管及びヒータは、様々な用途のために、自動化された試料調製及び熱化学反応を提供する単一のデバイスに一体化される。
（もっと読む）

【課題】 電子線照射装置の運転状態を制御することによって、搬送装置上の被照射物の特性変化を防止できる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】 電子源４から引き出される電子を、加速電源２６から出力した加速電圧Ｖａによって加速して電子線５２として電子線照射領域５６に取り出す電子線加速装置２を備える。搬送装置３０は、被照射物５０を、電子線照射領域５６内で搬送する。Ｘ線測定部３２は、被照射物５０に電子線５２が照射されることによって発生する制動Ｘ線を検出し、その強度を測定する。Ｘ線量計測部は、加速電圧Ｖａが出力され、かつ搬送装置３０が停止した待機状態時における制動Ｘ線の強度を、単位時間当たりのＸ線量に変換する。制御部は、単位時間当たりのＸ線量の積算値と所定の閾値とを比較して、前者が後者以上のとき加速電源２６の出力を停止する。 （もっと読む）

材料の大粒子（例えば、１００マイクロメートルより大きい）は、２００ｎｍ未満の寸法を有する小粒子を発生させるために加工される。前述の加工の少なくとも一部は、低温の状態下で行われ、低温の状態下の材料の物理的特性に基づく加工である。 （もっと読む）

複数のリアクタ（１２４ａ〜１２４ｄ）を並列動作させることにより所望の生成物を生産する並列化学製品生産システム（１１０）を提供すること。生産の拡大を促進するため、それぞれのリアクタ（１２４ａ〜１２４ｄ）の流体特性は、生成物を生産する際の条件を決定するために使用される試験リアクタの特性と同じである。一実施形態では、生産システム（１１０）は、少なくとも１つのリアクタ（１２４ａ〜１２４ｄ）が整備および使用のためバックアップとして常にオフラインであるように構成される。センサ（５４８ａ、５４８ｂ）が任意のリアクタ（１２４ａ〜１２４ｄ）内の最適よりも低い状態を検出した場合、リアクタ（１２４ａ〜１２４ｄ）は、オフラインにされ、連続的生産の維持のため以前に指定されていたバックアップリアクタ（１２４ａ〜１２４ｄ）がオンラインにされている間に整備を受ける。他の態様は、等しい流体分配を促進するためにリアクタ（２３４）を同心円状構成に配列することを伴う。
（もっと読む）

【課題】 従来の放電により揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を分解する揮発性有機化合物処理装置では、吸着したＶＯＣを短時間に全量分解する必要があるため、放電電流ひいては電源容量を大きくする必要が有り、装置コストが高くなった。また、ＶＯＣを放電で処理する際に、大量の有害なＮＯｘを発生する。
【解決手段】 処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体１Ｃと、吸着体１Ｃの一部が触れるように放電を発生させる複数の電極の対１Ａ，１Ｄと、この電極の対に電圧を印加することでどの電極の対１Ａ，１Ｄで放電を発生させるかを制御する放電制御機構３とを備え、電極の対１Ａ，１Ｄが複数のグループに分けられており、異なる吸着体１Ｃの部分が順番に放電に触れるように、放電制御機構３が電極の対１Ａ，１Ｄのグループごとに電圧を印加する。 （もっと読む）