物理的、化学的プロセス及び装置 (50,066) | 装置−形状、型式 (3,726)

容器型、チャンバー型、ドーム型 (1,305)
管型 (853)
照射型 (677)
プラズマ発生型 (499)
形状の特定（ピラミッド型等） (40)
その他 (352)