【課題】本発明は、プラズマを用いてシランガスを効果的に分解するための手段を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、プラズマを用いたシランガス除去装置に関する。本発明の一実施形態によるシランガス除去装置は、既設定された周波数の電磁波を発振する電磁波供給部と、前記電磁波供給部から供給された前記電磁波及び渦流ガスからプラズマを発生させる放電管と、前記放電管に前記渦流ガスを供給する渦流ガス供給部と、前記放電管で発生された前記プラズマとシランガスとの反応により二酸化珪素及び水が生成される反応炉と、前記放電管内に前記プラズマの発生のための初期電子を供給する点火部と、前記反応炉の上端に形成され、前記反応炉内部の前記プラズマに前記シランガスを供給するシランガス供給部と、前記反応炉で生成された前記二酸化珪素及び水を排出するガス排出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工程チャンバと真空ポンプの間に位置し、低圧プラズマを生成して工程チャンバから排出される汚染物質を除去するプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】プラズマ反応器３１０は、内部にプラズマ生成空間を形成する少なくとも１つの誘電体３０と、誘電体３０の少なくとも一端に連結する接地電極４１，４２と、誘電体３０の外周面に固定され、交流電源部６０と連結して交流駆動電圧が印加される少なくとも１つの駆動電極５０と、を含み、接地電極４１，４２は、プラズマ反応器３１０の長さ方向に沿って非均一直径を有する。 （もっと読む）

【課題】誘電体の表面に汚れなどが付着した場合においても汚れを容易に除去することができる気流発生装置を提供する。
【解決手段】実施形態の気流発生装置１０は、固体からなる誘電体２０と、誘電体２０の表面に設けられた第１の電極３０と、第１の電極３０と誘電体２０を介して離間して設けられた第２の電極４０とを備え、第１の電極３０と第２の電極４０との間に電圧を印加して気流を発生させる。第１の電極３０側の誘電体２０の表面２０ａにおける水に対する接触角が８０度以上である。 （もっと読む）

【課題】大気圧下で長時間プラズマを生成することができるプラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置は、第１導電体と、第２導電体と、第１導電体と第２導電体との間に備えられた少なくとも１層の絶縁層とを備えたプラズマ生成部を有し、第１導電体と第２導電体との間に電圧を印加することによってプラズマを生成するプラズマ生成装置であって、プラズマ生成部は、第１導電体と第２導電体とは絶縁層を介して互いに接触する接触部を有するとともに、接触部の周囲における、第１導電体と絶縁層との間、第２導電体と絶縁層との間、絶縁層同士の間のいずれか１つ以上に、プラズマを生成するための流体に晒された隙間を有し、絶縁層はセラミック層からなる。このプラズマ生成装置は、絶縁層をセラミック層とするため、長時間プラズマを生成させることができる。 （もっと読む）

【課題】電極剥がれや電極内での放電等を防止し、耐熱性に優れた放電電極および放電装置を提供することを目的とする。
【解決手段】従来の電極の部分を導電性の粉体５に替えることで、温度影響による電極剥がれを防止することができる。また、従来の誘電体バリアの部分を、セラミックあるいは石英で形成され、粉体５を収容可能に構成した筒６に替えることで、筒６と粉体５との間に隙間が生じにくいので、放電電圧が上昇しにくく、発熱しにくくなる。また、筒６がセラミックあるいは石英で形成されているので、耐熱性に優れ、ピンホールもなく、非常に長寿命が期待できる。その結果、電極剥がれや電極内での放電等を防止し、耐熱性に優れたプラズマ用電極１を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマによる劣化を回避しつつ点火機構を簡略化する。
【解決手段】一方の端部が閉塞板１１ｂで閉塞され、かつ他方の端部が開放端に形成された筒状の筐体１１と、閉塞板１１ｂの内面に筐体１１の筒長方向に沿って延出するように立設されると共に入力した高周波信号Ｓ１を放射する棒状の放射器１４とを備え、閉塞板１１ｂ側から開放端側に向かう気流を筐体１１内に発生させるように筐体１１内にガス供給部４によって放電用ガスＧが供給され、かつ放射器１４が高周波信号Ｓ１を放射している状態において、放射器１４の先端近傍から気流に乗って筐体１１の外方へ伸びるプラズマＰを発生させるプラズマ処理装置１であって、放射器１４との間で放電Ｄを発生させてプラズマＰを点火する点火導体５ａを有する点火機構５を備え、放電電極としての点火導体５ａの先端は、放射器１４の先端よりも気流の上流側に配設されている。 （もっと読む）

【課題】対向させた電極間で発生する放電を利用した水処理装置において、簡易な構成で、消費電力を抑えつつ、水処理能力の向上が可能な水処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被処理水の流入口２と流出口３を有する水処理槽４内に、複数の貫通孔を有する１対の対向させた電極で構成する電極部を、水面近傍に、かつ水面に対して平行に設置し、前記電極部に気泡を供給するための気泡供給手段５を有し、前記１対の電極６間に気泡供給手段５から供給された気泡を含む気液混合体を強制的に導入させる構成とすることにより、低い電圧でプラズマ放電を発生させることができ、安定した活性種を含んだ気体を供給できる。 （もっと読む）

【課題】
従来技術では凝集しやすい微粒子を良好に水中へ分散させる方法と分散装置、さらにはこの分散法で製造された水中分散物を提供する。微粒子自身の表面特性等を変えながら水中における分散性能を高め、塩や樹脂、分散剤等の添加や、添加における検討の煩雑さを解消するような、新しい微粒子の分散プロセスを提供する。
【解決手段】
一対の電極のうち、一方は水中に浸す又は水面に接触させ、他方は水面上部の気中に配置して、水面と水面上部電極間に電圧を加えてプラズマを発生させる液面プラズマを用いることにより、水中へ微粒子を分散する。この分散方法により安定な分散状態が保持される水中分散液が製造できる。機械的分散処理を併用することで、微粒子の凝集物を解す能力を高め、より効率の良い分散が可能となる。 （もっと読む）

【課題】物品に付着しているよごれなどの有機物を大気中に飛散させることなく分解または除去でき、かつ物品の損傷が抑えられる表面処理方法、物品の損傷を抑えながら、物品表面をエッチングする表面処理方法、および表面を高度に洗浄し、損傷がほとんどない物品や表面をエッチングしながら、損傷のない物品を提供する。
【解決手段】水を含む液体中の水蒸気気泡内に発生したプラズマを、該液体中において、水に対する接触角が９０度以下である材料に付着している有機物に接触させて、該有機物を材料から除去する表面処理方法；水を含む液体中の水蒸気気泡内に発生したプラズマを、前記液体中において、水に対する接触角が９０度以下である材料に接触させて、該材料を破壊せずに、該材料の表面をエッチングするエッチング方法。 （もっと読む）

【課題】使用者の誤使用や装置の誤動作に伴う非正常事象を回避することができるプラズマ発生装置及びこれを用いた洗浄浄化装置を提供する。
【解決手段】洗浄浄化装置４０は、プラズマ発生装置１の使用時に発生する非正常事象を検知し、その検知結果に基づいてプラズマ放電を制御する。 （もっと読む）

【課題】排気通路においてプラズマを生成するプラズマ生成装置において、プラズマ領域から活性種を拡散させて、活性種の効果が得られる範囲を拡大する。
【解決手段】プラズマ生成装置２０は、排気通路３０に露出し、近接した状態で間隔を隔てて配置された第１電極２３及び第２電極２４を有する電極部２１と、電極部２１に高周波を出力する高周波発生器２２と、第１電極２３と第２電極２４との間に電位差を付与するプラズマ側電源２９とを備えている。プラズマ生成装置２０は、高周波発生器２２が電極部２１へ高周波を出力して電極部２１の近傍にプラズマを生成し、電極部２１の近傍にプラズマが形成されている期間に、プラズマ側電源２９が第１電極２３と第２電極２４との間に電位差を付与する。 （もっと読む）

【課題】ＮＯ_２ガスを生成するプラズマ発生ノズルにおいて、電極交換を容易にする。
【解決手段】同心状に配置される内側電極３５および外側電極３６を有し、導波管６２を介して伝搬されるマイクロ波を内側電極３５で受信することで電極３５，３６間にグロー放電を発生させ、電極３５，３６間に供給される空気をプラズマ処理してＮＯ_２ガスを生成するプラズマ発生ノズル３１において、損耗する内側電極３５を交換可能にするために、該内側電極３５を、絶縁性を有する材料から成り、円筒状に形成される保持部材３７によって保持する。そして、保持部材３７の外周面と外側電極３６の内周面との間を、処理されたガスが漏れないようにＯリングなどの無端環状のシール部材３７３でシールするにあたって、そのシール部材３７３を保持部材３７側の周方向に形成した凹溝３７１１に嵌め込むようにする。したがって、保持部材３７ごとシール部材３７３を取り外せる。 （もっと読む）

【課題】放電プラズマによる気流誘起現象により高温下や含塵環境下においても安定して気流を発生させることができ、空気力学的特性の制御などを行うことが可能な気流発生装置、気流発生方法および気流発生ユニットを提供する。
【解決手段】気流発生装置４０は、固体からなる誘電体２０の表面と同一面に露出された一つの電極２１と、電極２１から誘電体２０の表面と水平な方向にずらして電極２１と離間され、かつ誘電体内に埋設された一つの電極２２と、電極２１と電極２２との間に、（１）交番電圧の印加、または（２）断続的な電圧の印加および／または電圧値を調整しながらの電圧の印加が可能な放電用電源２４とを備える。電極２１と電極２２との間における誘電体バリア放電により、誘電体２０の表面に沿って、流れる方向が所定の時間間隔で反転して振動する気流を発生させる。 （もっと読む）

【課題】被処理体以外の部位への成膜を抑制した大気圧プラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置は、誘電体内にアンテナとアースが形成された面放電型の誘電体バリア放電方式のプラズマ源において、被処理体を前記プラズマ源に略接触させ、被処理体に対してプラズマ源を設置した面とは反対の面にプラズマを生成するようにした。 （もっと読む）

【課題】
各種の汚染物質等を含む被処理液体を、効率良く、かつ、低コストで処理して浄化できる小型で簡便な構造を有する液体処理装置を提供する。
【解決手段】
電圧印加電極と接地電極とを有する気体放電部と、これに一体的に直結した微細気泡発生部と、特定の気体又は複数種類の気体を混合して成る混合気体を前記気体放電部に導入する気体供給手段とを備え、前記気体放電部は両電極間における大気圧下での気体放電により気体をプラズマ等化させて活性化ガスを発生させ、該活性化ガスを失活させぬよう直ちに前記微細気泡発生部に自吸させ、活性化ガスを微細気泡化して被処理液体中に供給することにより、活性化ガス中のプラズマ等と被処理液体中の被処理物質とを効率的に反応させて除去できる液体処理装置。 （もっと読む）

【課題】 維持管理が容易で、装置のランニングコストおよび維持コストの低減を図ることができるガス処理装置を提供することである。
【解決手段】 ガス処理装置は、放電によって非平衡プラズマを発生させて、有害物質を含むガスを処理するプラズマ反応部と、前記プラズマ反応部を経て処理されたガスを第１処理水と気液接触させて、前記処理されたガス中の水溶性の有害物質を第１処理水中に回収する回収部と、前記水溶性の有害物質が回収された第１処理水に加圧下で所定の気体を供給して、微細気泡を含有させて第２処理水を得る処理部と、前記微細気泡を含有する第２処理水を貯留し、前記第２処理水を大気圧下に曝して、第２処理水中の微細気泡の消滅に伴って前記水溶性の有害物質を分解処理し、懸濁物を含有する第２処理水を、第１処理水と懸濁物とに分離する分離部と、前記分離部で分離された第１処理水を前記回収部に供給する供給部とを含む。 （もっと読む）

【課題】放電発生終了後の気体通路の目詰まりを防止し、目詰まりによる不安定放電現象を防止することのできるプラズマ発生装置を得る。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、水を含む液体６を収容する液体収容部３と、気体を収容する気体収容部４と、気体収容部中の気体を液体収容部へ導く気体通路５ａが形成され、液体収容部と気体収容部とを隔てる隔壁部３を有している。また、気体収容部に配設された第１電極１０と、液体収容部中の液体と接触するように配設した第２電極１１とを備えている。更に、気体を気体収容部に供給する気体供給部９と、プラズマ電源部１３と、液体収容部内の液体を排水後に、気体通路に液体が残らないようにする排水促進手段である突起形状部１４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、少量から大量の粉体を均一に大気圧グロープラズマ処理して、その表面に有用な官能基を付与するプラズマ処理装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、中心電極２と、中心電極２と所定の空隙部５を介して配置された筒状の周辺電極３とを有する放電容器１と、中心電極２及び周辺電極３との間に連設された複数の仕切部１６と、中心電極２表面若しくは周辺電極３表面の少なくとも一方に設けられた誘電体４と、放電容器１の一端側に設けられ、空隙部５に流体を注入可能に構成された流体注入手段と、放電容器１の他端側に設けられ、空隙部５から流体を排出可能に構成された流体排出手段と、中心電極２と周辺電極３との間に交流またはパルス電圧を印加した状態で、中心電極を回転中心として放電容器を回転せしめる回転手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】電極と誘電体の間における接合強度や誘電体の絶縁耐力に優れ、十分な気流発生効果を発揮することができる気流発生装置を提供する。
【解決手段】気流発生装置１１は、第１の誘電層３１および第２の誘電層３２の異なる２つの誘電層を積層して構成され、第１の誘電層３１および第２の誘電層３２の少なくとも一方が可撓性材料からなる誘電体と、第１の誘電層３１の表面に設けられた第１の電極２３と、第２の誘電層３２の、第１の誘電層側とは異なる側の表面に設けられた第２の電極２４とを備える。そして、第１の電極２３と第２の電極２４との間に電圧を印加して、第１の誘電層３１の表面に接する気体の一部をプラズマ化することにより気流を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 基板とシート部材とによって構成される試料操作素子に対し、その操作構造での所望の領域を選択的に親水化処理することが可能な試料操作素子の表面処理方法、及び処理装置を提供する。
【解決手段】 下部基板１２と、上部シート部材１４とを有する試料操作素子１０を載置するステージ２０と、素子１０にレーザ光Ｌを供給するレーザ光源３０と、素子１０に対し、シート部材１４側からまたは基板１２側から所定の照射光軸Ａｘに沿って、シート部材と基板との間に形成された操作構造内にビームウエストが位置する集光条件でレーザ光Ｌを照射する集光光学系３５とによって表面処理装置１Ａを構成する。そして、試料操作素子１０の操作構造内において、レーザ発生プラズマにより、シート部材１４で操作構造を構成している凹状構造部の内側表面を親水化処理する。 （もっと読む）