【課題】放電空間におけるプラズマの分布及び流れを好適化できるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】誘電体３の貫通孔９は、放電空間９ａと、放電空間９ａとは反対側を拡径させる傾斜面３ｅを内周面の一部とする導入空間９ｂとを含む。第１対向電極５Ａは、ｚ方向の正側から放電空間９ａに面し、放電空間９ａ側が誘電体３により覆われている。第２対向電極５Ｂは、第１対向電極５Ａと放電空間９ａを挟んで対向している。第１イオン風用電極７Ａは、第１対向電極５Ａ側の傾斜面３ｅに位置している。プラズマ発生体１は、第１対向電極５Ａ及び第２対向電極５Ｂの間に電圧が印加されることにより放電空間９ａにプラズマを発生可能であり、第１対向電極５Ａ及び第１イオン風用電極７Ａの間に電圧が印加されることにより導入空間９ｂから放電空間９ａへ流れるイオン風を発生可能である。 （もっと読む）

【課題】装置構成が簡易で、水が流通している場合にのみプラズマによる滅菌作用を発現して流水中の雑菌を死滅させることができると共に、高いエネルギー効率を実現することができる水滅菌装置を提供する。
【解決手段】水の流路２１内に配置され、水流によって回転する水車２２の運動エネルギーを電気エネルギーに変換する発電装置２３と、該発電装置２３によって発電された電力を用いてプラズマを生成するプラズマ発生装置２４とを有し、プラズマ発生装置２４で生成したＯラジカル及びＯＨラジカル又はその一方を用いて被処理水２５に含まれている雑菌を死滅させる。 （もっと読む）

【課題】ラジカルを効率よく大量に発生させることのできるプラズマ発生装置、当該プラズマ発生装置を用いた洗浄浄化装置および小型電器機器を得る。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、気体収容部５に配設された第１電極１２と、少なくとも第１電極１２と対向する側の部分が液体収容部４中の液体１７と接触するように配設した第２電極１３と、を備えている。そして、第１電極１２と第２電極１３との間に放電を発生させることで、液体収容部４中の液体１７内における気体の領域においてプラズマを生成し、液体１７に含まれる水および気体に含まれる酸素からヒドロキシラジカルを生成する。電圧制御部６０は、プラズマ電源部１５が印加する電圧を液体１７の状態に応じて制御する。 （もっと読む）

【課題】より安定してラジカルを生成することのできるプラズマ発生装置、当該プラズマ発生装置を用いた洗浄浄化装置および小型電器機器を得る。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、水を含む液体を収容する液体収容部４と、気体を収容する気体収容部５と、気体収容部５中の気体を液体収容部４へ導く気体通路３ａが形成され、液体収容部４と気体収容部５とを隔てる隔壁部３と、気体収容部５に配設された第１電極１２と、少なくとも第１電極１２と対になる側の部分が液体収容部４中の液体１７と接触するように配設した第２電極１３と、を備えている。そして、気体通路３ａに微細化手段を設け、気泡を微細化するようにした。 （もっと読む）

【課題】誘電体バリア放電方式の放電部の耐久性を向上させる。
【解決手段】プラズマ処理装置は、誘電体バリア放電方式のプラズマ源の近傍に、コロナ放電方式のプラズマ源を設置し、コロナ放電によって生成されるプラズマを補助プラズマとして用いて、誘電体バリア放電によって生成される主プラズマの放電維持電圧を低下させる。 （もっと読む）

【課題】
揮発性有機ガス等の有害ガスを含むガスを、プラズマと触媒とを併用して、低温で浄化する方法および装置を提供する。
【解決手段】
触媒微粒子を担持したシートまたは繊維構造体からなるフィルターをプラズマ反応器に装填することにより、低い印加電圧でプラズマの発生が可能となり、触媒微粒子とプラズマとの相乗作用により、有害ガス等を含むガス中の有害ガス等を効率よく分解することを可能とした。具体的には、浄化方法は、触媒微粒子が担持された、シートまたは繊維構造体からなるフィルターが装填され、電圧の印加によりプラズマを発生する低温プラズマ反応層内に、揮発性有機ガス等の有害ガスを含む空気を通過させて、揮発性有機ガス等の有害ガスを分解することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 少なくとも一部に通気性を有する処理対象物の当該通気性部分の内部にまでプラズマ処理を施すことができるとともに、コストを削減することができ、さらには、あらゆる処理対象物に対して様々なプラズマ処理を簡便に行うことが可能なプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置ならびにプラズマ処理された処理対象物を提供すること。
【解決手段】 少なくともその一部が通気性を有する処理対象物１の内部にプラズマを透過させることにより所定のプラズマ処理を施すためのプラズマ処理装置２であって、プラズマを生成するプラズマ生成手段３と、前記プラズマを前記処理対象物１の内部に透過させるプラズマ透過手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異常放電の発生を抑えつつ、ガス処理能力の低下を補いながらガス処理を継続し、未処理のガスが残らないようにする。
【解決手段】異常放電検知部１６Ａおよび１６Ｂを設ける。制御部１７は、異常放電検知部１６Ａからガス処理ユニットＧＵ１での異常放電を知らせる検知信号Ｓ１Ａを受けて、ガス処理ユニットＧＵ２での異常放電が発生していないことを確認のうえ、ガス処理ユニットＧＵ１への高電圧Ｖ１の電圧値を下げ、ガス処理ユニットＧＵ２への高電圧Ｖ２の電圧値を上げる。異常放電検知部１６Ｂからガス処理ユニットＧＵ２での異常放電を知らせる検知信号Ｓ１Ｂを受けて、ガス処理ユニットＧＵ１での異常放電が発生していないことを確認のうえ、ガス処理ユニットＧＵ１への高電圧Ｖ１の電圧値を上げ、ガス処理ユニットＧＵ２への高電圧Ｖ２の電圧値を下げる。 （もっと読む）

【課題】隣接するガス処理ユニット間の空間でもプラズマを発生させ、全体のガス処理能力を更に高める。
【解決手段】ガス処理ユニットＧＵ１の第１の電極８−１と第２の電極９−１との間に、電極８−１をグランド電極、電極９−１を高圧電極として、高電圧電源５からの高電圧を印加する。また、ガス処理ユニットＧＵ２の第１の電極８−２と第２の電極９−２との間に、電極８−２を高圧電極、電極９−２をグランド電極として、高電圧電源５からの高電圧を印加する。これにより、対向する電極間に電位差が生じ、隣接するガス処理ユニット間の空間でもプラズマが発生して（エリアＡＲ１，ＡＲ２でもプラズマが発生する）、ガス処理が行われるようになる。 （もっと読む）

【課題】平行平板型ドライエッチング装置において被処理基板上におけるプラズマ密度の分布特性を向上させること。
【解決手段】 このドライエッチング装置では、上部電極１８の周囲で環状突出部材５０が上部電極１８に対して被処理基板Ｗを載置する下部電極２０側へ突出して段差ｄを形成することで、上部電極１８の周辺部付近において電界が補強され、プラズマ密度が高められる。この電界の補強ひいてはプラズマ密度の増強の度合いは、環状突出部材５０の突出量ｄを変えることで可変調整できる。 （もっと読む）

【課題】処理対象の排気ガスを効果的に分解処理でき、装置全体を経済的に製作できる複合型排気ガス処理装置を提供する。
【解決手段】処理対象の排気ガス３のガス流入部１とガス排出部２間に、少なくとも排気ガス３に極性を持たせる高電圧パルス形ガス処理部１０を前段に設置し、この後段に排気ガス３を吸着して酸化分解する触媒形ガス処理部２０を設置して複合型排気ガス処理装置を構成し、排気ガス３を別工程で処理している。高電圧パルス形ガス処理部１０は、線電極１１及び外部電極１２を有し、線電極１１は高電圧パルス電源１３と接続すると共に外部電極１２は接地し、の二つの電極間で高電圧パルス放電を発生させ、排気ガスに極性を持たせる。触媒形ガス処理部２０は、排気ガス流路の部分に複数枚の光触媒部２２を配置し、光触媒部２２に接続して直流を印加する直流電源２４と、光触媒を活性化させる紫外線灯２５を有している。 （もっと読む）

【課題】電極切断後の放電特性の低下を抑制することが可能な放電反応器を提供する。
【解決手段】被放電空間と、該被放電空間を介して対向するように配置された第１金属電極及び第２金属電極とを備え、第１金属電極は、第２金属電極に面する放電部、及び、電源からの電流を放電部へと導く複数の通電部を有する、放電反応器とする。 （もっと読む）

【課題】アーク放電への移行を抑制することが可能な放電反応器を提供する。
【解決手段】被放電空間と、該被放電空間を介して対向するように配置された第１金属電極及び第２金属電極とを備え、第１金属電極及び第２金属電極のうち、長手方向の剛性が低い方の金属電極は長手方向の剛性が高い方の金属電極よりも、被放電空間に面した表面の幅が広い、放電反応器とする。 （もっと読む）

【課題】 プラズマがガス噴出孔を通じて電極のさらに内部に入り込み、電極支持部材をスパッタすることによる金属汚染を防止し、かつ寿命の長い電極を提供すること。
【解決手段】 本発明の電極は、一以上のガス通路孔２３ａを有する上部板２２ａと、一以上のガス噴出孔２３ｂを有する下部板２２ｂとを有し、かつ上部板２２ａと下部板２２ｂを上下に分割可能な構成とすると共に、上部板２２ａのガス通路孔２３ａ及び下部板２２ｂのガス噴出孔２３ｂの一方又は両方を、その一部又は全部を電極面２２ｓに対して斜めに設けるか、又はその一部を電極面２２ｓに対して平行に設ける。 （もっと読む）

【課題】排ガス中の炭素を主成分とする微粒子を捕捉し、捕捉した微粒子を酸化または酸化分解により酸素と結合した無害の低分子ガスにして、浄化対象ガスを浄化することができるガス浄化装置およびガス浄化方法を提供する。
【解決手段】ガス浄化装置１０は、炭素を主成分とする微粒子である粒子状物質（以下、ＰＭという）含む浄化対象ガスＥＧが導入されるガス流路２０を備えている。このガス流路２０には、ＰＭを帯電させるためのプラズマを発生する機構を備えたプラズマ発生部３０と、ＰＭを酸化反応させて分解する機構を備えた酸化分解処理部４０とを備えている。すなわち、ガス流路２０の一部は、プラズマ発生部３０および酸化分解処理部４０で構成されている。 （もっと読む）

【課題】このプラズマ反応器は，誘電体と柵状電極から成るプラズマ反応構造体を用いて，放電空間でプラズマ放電を所定の場所で所定の等間隔に安定して発生させ，しかも柵状電極の加工を容易にして製造コストを安価にする。
【解決手段】このプラズマ反応器は，柵状電極１，２を複数の柵６とそれらを連繋する導電体７から形成し，互いに対向する柵状電極１，２の柵６を互いに異なった方向の延ばして交差させる。柵状電極１，２間に誘電体３を挿入して形成したプラズマ反応構造体５を複数並列に配設してガスＧが通過できる放電空間１０を１層以上形成する。柵状電極１，２と誘電体３間，又は柵状電極１，２を覆った誘電体３間の放電空間１０にガスＧが通過させて柵状電極１，２に電圧をかけてプラズマ放電を発生させ，ガスＧを反応させる。 （もっと読む）

【課題】現場に設置する際、現場の設備の上流／下流の方向を意識する必要をなくす。
【解決手段】風向センサ１３を設け、この風向センサ１３が検出する処理対象ガスＧＳの流れ方向を示す信号Ｓ１を制御部１２へ送る。制御部１２は、風向センサ１３によって検出される処理対象ガスＧＳの流れ方向に基づいて、上流側に位置するハニカム構造体群２Ａよりも下流側に位置するハニカム構造体群２Ｂに印加される高電圧の値を高くするように、高電圧源１１からの高電圧Ｖ１，Ｖ２の出力状況を制御する。 （もっと読む）

【課題】プラズマの発生に影響を与える処理対象ガスの複数種類の環境要素の変化に対して、ガス処理能力を適切に調整する。
【解決手段】ハニカム構造体４の上流側に風速センサ２１と湿度センサ２２と温度センサ２３を設け、風速センサ２１が検出する処理対象ガスＧＳの風速、湿度センサ２２が検出する処理対象ガスＧＳの湿度、温度センサ２３が検出する処理対象ガスＧＳの温度を制御部ＣＮＴへ与える。制御部ＣＮＴにおいて、処理対象ガスＧＳの風速，湿度，温度に基づいて風速，湿度，温度毎に現在のプラズマの発生状況を判断し、この風速，湿度，温度毎の現在のプラズマの発生状況の判断結果を総合的に判断し、この総合的な判断結果に基づいて高電圧印加部２０からのハニカム構造体４の電極８と電極９との間への高電圧を制御する（印加時間や休止期間を制御する）。 （もっと読む）

【課題】ガス流対向面の表面積を大とし、更なるガス処理能力の向上を図る。
【解決手段】各ハニカム構造体４に角穴４ｄを複数設ける。これにより、各ハニカム構造体４の処理対象ガスＧＳの通過方向に面する上流側の面（最上流の面）４ｂ１、各ハニカム構造体４の処理対象ガスＧＳの通過方向に面する角穴４ｄの下流側の面４ｂ２では、プラズマが発生せず、処理対象ガスＧＳの流れに接すると共に、処理対象ガスＧＳの通過方向への流体圧を受けることから、この面４ｂ１，４ｂ２がガス流対向面となって、処理対象ガスＧＳ中の水分がハニカム構造体４内に入り込み、ハニカム構造体４でのプラズマ発生を活性化させる。 （もっと読む）

【課題】異常放電の発生を抑えつつ、処理対象ガスの処理を継続し、未処理のガスが残らないようにする。
【解決手段】高電圧印加部２０を設ける。ハニカム構造体４の第１の電極８を高電圧印加部２０の正電圧供給端子Ｔ１に接続する。ハニカム構造体４の第２の電極９を高電圧印加部２０の負電圧供給端子Ｔ２に接続する。制御部ＣＮＴよりスイッチング用集積回路ＩＣ１，ＩＣ２に対して駆動パルスＰＳ１，ＰＳ２を出力し、第１の電極８に接地電位から正方向に立ち上がる正電圧＋Ｖ１を、第２の電極９に接地電位から負方向に立ち下がる負電圧−Ｖ２を、交互に切り換えて印加する。異常放電検知部２１を設け、第１の電極８と第２の電極９との間の異常放電の発生を検知した場合、その異常放電の発生量に応じて、第１の電極８と第２の電極９への高電圧の休止期間を自動調整する。 （もっと読む）