【課題】放射導体の先端から筒長方向に沿って延びる状態でプラズマを発生させる。
【解決手段】一方の端部が閉塞板１１ｂによって閉塞されると共に他方の端部に噴出口２５が形成された筒体１１ａを有する筐体１１と、閉塞板１１ｂの内面に筐体１１の筒長方向に沿って延出するように立設されると共に入力した高周波信号Ｓ１を放射する棒状の放射器１４とを備え、ガス供給部４によって筐体１１内に放電用ガスＧが供給され、かつ放射器１４が高周波信号Ｓ１を放射している状態において、放射器１４の先端近傍から噴出口２５を介して筐体１１の外方に延びるプラズマＰを発生させるプラズマ処理装置１であって、筐体１１の内面には、ガス供給部４から供給される放電用ガスＧを筐体１１内に互いに異なる方向で放出するガス放出口２２が複数形成されている。 （もっと読む）

【課題】放射導体の先端近傍を内包する空間内での放電用ガスの流れをより均一にする。
【解決手段】筒体１１ａの一方の端部が閉塞板１１ｂで閉塞されて筒体１１ａの他方の端部側が開放端に形成された筐体１１と、閉塞板１１ｂに立設された放射器１４とを備え、筐体１１の内部には、閉塞板１１ｂ側の内部空間ＳＢ１と、放射器１４の先端近傍を内包して筒長方向に沿って延び、かつ内部空間ＳＢ１に供給された放電用ガスＧを筒長方向に沿って放射器１４の先端近傍を経由して筐体１１の他方の端部から外方へ放出する内部空間ＳＢ２と、筒体１１ａに設けられたガス放出口２２ｃから放出された放電用ガスＧを筒長方向に沿って内部空間ＳＢ１に誘導する誘導流路ＳＡとが形成されて、放電用ガスＧの供給状態において、内部空間ＳＢ２から放出される放電用ガスＧの気流に乗って放射器１４の先端近傍から筐体１１の開放端を越えて伸びるプラズマＰを発生させる。 （もっと読む）

【課題】粒径の均等性を向上させることが可能な造粒装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の造粒装置１００によれば、造粒容器６１の中心部、天井部、側部、底部そして中心部へと循環する循環ガス流に乗って粉体が造粒容器６１内を循環する。この過程で粉体がプラズマフレームＦ２によって加熱されて粉体同士が付着し、粒径が徐々に大きくなる。そして、所定の粒径以上に成長した大径粒体は、自重によって循環ガス流から離脱する。ここで、循環ガス流から離脱した大径粒体は、造粒容器６１の底部に貫通形成された環状孔８２を通って直ちに造粒容器６１の外部、即ち、回収容器１０へと排出されるから、所定の粒径以上に成長した大径粒体に、循環中の粉体又は粒体がさらに付着することが防がれる。これにより、大径粒体の過剰な大型化を抑えて、粒径の均等性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】低温プラズマで生成するプラズマジェットを、簡易な構成により、効率良く発生させる沿面放電型プラズマジェット生成装置の提供。
【解決手段】円筒状アルミナセラミック４の内表面に線状の放電電極３を設け、かつ、その内部または外表面に面状の誘導電極５を設けた円筒型沿面放電素子２において、一方の端面（ガス流入口１）からガスを供給し他方の端面（噴出口６）から噴出させ、放電電極３と誘導電極５の間に高周波高電圧を印加して沿面放電を発生させプラズマ（沿面放電励起プラズマ）を生成することで噴出口６からプラズマジェットを噴出させる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ化が困難なガスのプラズマを容易に生成することができるプラズマ生成用ガスおよびプラズマ生成方法並びにこれにより生成された大気圧プラズマを提供する。
【解決手段】大気圧プラズマを生成するために用いられるプラズマ生成用ガスであって、プラズマとなることにより処理能力を有するとともに、プラズマ生成用ガス全体をプラズマ源に搬送するためのベースガス（キャリアーガス）としてのアルゴン（Ａｒ）と、前記大気圧プラズマの処理効果を向上する処理効果向上ガスとしての酸素ガスもしくは炭酸ガスとの混合ガスとした。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率に優れ、ナノ粒子を低コストで製造可能なナノ粒子の製造方法およびその製造方法に好適なナノ粒子製造装置を提供する。
【解決手段】ナノ粒子の原料となる原料ガスおよび非反応性のプラズマ生成ガスの混合ガスをプラズマ生成手段（１１）に供給しプラズマジェットを生成する工程と、冷却可能な壁面を備え、圧力調整可能な密封可能なチャンバー（１４）の内部を非反応性雰囲気あるいは酸素ガスを含む雰囲気で満たし、プラズマジェットを噴出させ、急冷することによりナノ粒子を生成させる工程とを有することを特徴とするナノ粒子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】特定の生成物や副次生成物の生成量を低減可能とされた被処理物の処理方法及び処理装置、さらには、特定の生成物が生成するように制御可能とされた被処理物の処理方法及び処理装置を提供すること。
【解決手段】本発明の被処理物の処理方法は、温度変化することにより成分状態が変化する気体を含む被処理物が活性化状態にある時に、前記被処理物が特定の成分に変化させられる温度領域以下に前記被処理物を急冷することによって、前記特定の成分が存在する温度領域の保持時間を短くして前記被処理物の成分状態を変化させる処理を施すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】粒径が小さく、粒径のばらつきが小さい微粒子を製造することができる製造装置および微粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】微粒子の製造装置は、微粒子製造用の原料を熱プラズマ炎中に間歇的に供給する原料供給手段と、内部に熱プラズマ炎が発生されるものであり、原料供給手段により間歇的に供給される原料を熱プラズマ炎で蒸発させて気相状態の混合物とするプラズマトーチと、プラズマトーチの内部に熱プラズマ炎を発生させるプラズマ発生手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プラズマトーチを利用した微粒子の生成に関する技術において、トーチ全体の大きさを小さくでき、エネルギー効率が高く、さらに原料材料を均一に加熱することができる、微粒子生成装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る微粒子生成装置１００は、直流プラズマトーチ５０と、直流プラズマトーチ５０から離隔して対向配置された対向電極１０と、材料気化反応室３５を側面側から囲繞する壁面部１１とを、備える。直流プラズマトーチ５０は、リング状の磁石３と、円筒形状であり、磁石３が円筒の空洞内部に配置され、磁石と所定の距離だけ離隔している移行型プラズマ用電極１と、直流プラズマトーチ５０の略中央部に設けられた原料材料通路部２５とを、備えている。 （もっと読む）

【目的】電極とワークとの間で放電が起き難くする。
【解決手段】放電空間４２Ｂとプラズマ出力口１６との間に設けられたプラズマ流出通路の構成要素である個別通路８１Ｂに関して、Ｘ部分８１ＢＸ、Ｚ部分８１ＢＺのＸ部分８１ＢＸＸの接続部Ｍより放電空間側の部分８１ＢＺO、Ｘ部分８１ＢＸＸ、拡散器８２Ｂ、スリット８６等により主通路が構成され、Ｚ方向部分８１ＢＺの接続部Ｍより放電空間とは反対側の部分８１ＢＺＰにより分岐通路が構成される。アース板９０は、分岐通路８１ＢＺＰを塞ぐ状態で設けられる。分岐通路８１ＢＺＰと主通路の部分８１ＢＺＯとは同一直線上に位置するため、アース板９０との間で放電が起き、ワークＷとの間では起き難くすることができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、耐摩耗性の高いセラミックビーズが得られ、かつ、粒径の小さいセラミックビーズであっても効率よく回収できるセラミックビーズの製造方法を提供する。
【解決手段】
高電圧型の直流（ＤＣ）プラズマガンを用いて層流の熱プラズマを発生させ、当該熱プラズマに、予熱したセラミック原料を概ね直交した粉末供給口から投入して溶融後、冷却固化する方法であって、捕集手段にガスを吹き込んで、該熱プラズマを通過したセラミック原料を捕集することを特徴とするセラミックビーズの製造方法。セラミックビーズは、排気された捕集手段、又は／及び冷却水を流した捕集手段で捕集することが好ましい。 （もっと読む）

ａ）前記供給物が前記プラズマ中に導入され、酸素ガスの供給が前記少なくとも一種のプラズマ形成ガス、および／または前記プラズマもしくは前記プラズマの近傍にて達成され、それにより原子への分解が誘発されたガスが得られる工程；ｂ）反応囲壁室中において、原子への分解が誘発された前記ガスを熱破壊する第一運転が行われる工程；ｃ）前記第一熱破壊運転を経た前記ガスを空気および／または酸素と混合することにより、前記ガスを熱破壊する第二運転が行われる工程；ｄ）前記混合からの前記ガスの少なくとも一部を冷却することにより、再結合が達成される工程；ｅ）前記ガスが排出される工程。
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【課題】ＤＣプラズマと高周波プラズマを組合わせたり、２段高周波プラズマ等の複雑なプロセスを用いることなく、より簡便な方法により平滑な表面のセラミックビーズが得られるセラミックビーズの製造方法およびセラミックスビーズを提供する。
【解決手段】高電圧型の直流（ＤＣ）プラズマガンを用いた層流を形成した熱プラズマ中に予熱したセラミック原料を投入し、冷却固化した後、セラミックビーズを捕集する。
セラミック原料をキャリアガスで送りながら、耐熱性の管を通した炉を通過させることにより予熱した原料粉末を熱プラズマに投入し、熱プラズマに対して６０°以上の排出角でセラミックスビーズが排出される条件でプラズマ処理することが好ましい。これにより、ビーズ表面が平滑で、クラック欠陥やビーズ内部の空洞欠陥が少ない良好なセラミックビーズが得られる。 （もっと読む）

【課題】構造化粒子を含有する複合材料の製造方法を提供する。
【解決手段】乾燥前駆体粉末、前駆体液、液の前駆体蒸気および／又は前駆体ガス状の第一前駆体を提供する工程、高強度場ゾーンを有するプラズマを用意する工程、およびプラズマの高強度場ゾーンに前記第一前駆体を通す工程、を含み、前記第一前駆体がプラズマの高強度場ゾーンを通るときに、前記第一前駆体の少なくとも一部が分解され、第二前駆体を有するエアロゾルがプラズマの高強度場ゾーンの下流で用意されそして分解した第一材料が第二前駆体上に凝縮されて構造化粒子を形成する、前記方法。 （もっと読む）

【課題】処理すべき処理対象ガス量に応じて省スペース化することのできる排ガス除害装置を提供する。
【解決手段】本発明の排ガス除害装置１０は、ハロゲン化合物を含む処理対象ガスＦを囲繞し、その内部における高温の熱分解領域にて処理対象ガスＦの熱分解を行い、熱分解した熱分解排ガスＧを熱分解排ガス排出孔３４から排出する反応炉１２と、反応炉１２が挿設されているとともに反応炉１２から排出された熱分解排ガスＧを外部へ排出する排気孔４４が設けられており、熱分解排ガスＧを排気孔４４まで導くガス流路４６が内部に形成された装置本体１４とを備えており、ガス流路４６には、熱分解排ガスＧに含まれるハロゲン物質と反応してハロゲンを熱分解排ガスＧから除去する反応材Ｘが充填されていることを特徴とする。 （もっと読む）

ナノ粉末の生成および材料処理のためのプロセスおよび装置が、本明細書で説明されている。プラズマを発生させるためにプラズマトーチを備えるトーチ本体と、プラズマ放電を受け取るためにトーチ本体と流体連結し、さらに急冷部と流体連結している反応炉部と、反応炉部と熱的に連結している少なくとも1つの加熱要素とを備え、その少なくとも1つの加熱要素が反応炉部内の温度を選択的に調節すること可能にするプラズマ反応炉が、本明細書で説明されている。
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【課題】プラズマによる放射器および絶縁管の変質やエッチングを防止する。
【解決手段】上端部が閉塞板１１ｂで閉塞され、下端部が開放端に形成された筒状の筐体３１と、閉塞板１１ｂの内面に立設された筒状の放射器１４と、不活性ガスＧ１を筐体３１内を経由して開放端まで搬送して筐体３１の外部に放出させる絶縁管１１ｃとを備え、筐体３１は内部に供給された反応性ガスＧ２を開放端から外部に放出して開放端の前方に反応性ガス雰囲気を形成する反応性ガス供給路として構成され、放射器１４が供給された高周波信号Ｓ１を放射して、絶縁管１１ｃ内にプラズマ化した不活性ガスＧ１による一次プラズマＰ１を発生させる。一次プラズマＰ１は、絶縁管１１ｃの先端部から反応性ガス雰囲気中に放出されて反応性ガスＧ２をプラズマ化させ、処理対象体６をプラズマ処理するための二次プラズマ等Ｐ２を発生させる。 （もっと読む）

【課題】溶射層を薄く形成するとともに、密着性を向上できる非金属部材からなるシート材を提供するとともに、その溶射方法を提供する。
【解決手段】シート材１０に、プラズマ溶射機で加熱・溶融した粉末状の銅の粒子１３を吹き付ける。シート材１０が、布材の場合、銅の粒子１３の大きさを約０．０５Φｍｍ程度にするとともに、プラズマ溶射ガン２の先端からシート材１０との距離を、２００〜５００ｍｍの範囲に設定し、プラズマ溶射ガン２のトラバーススピードを毎秒５００〜９００ｍｍとする。一方、シート材１０の溶射面には冷却空気２９を吹き付けて、銅の粒子１３がシート材１０に付着する際のシート材１０の温度を、シート材１０が布材や紙材の場合に１５０℃以下、シート材１０が樹脂材の場合に、１００℃以下となるようにする。 （もっと読む）

【課題】表面下損傷を生じさせないで取扱い困難な材料を造形して仕上げる作製装置及び方法を提供する。
【解決手段】この装置及び方法は、例えば融合状態にあるシリカと単結晶シリコン、炭化ケイ素及び他の材料のサブアパーチュアポリッシャとして大気圧混合ガスプラズマ放出物を用いる。一例では、加工物の材料をフッ素原子との反応により原子レベルで除去する。この例では、これら反応性化学種は、希ガスプラズマによって、ホースアルゴンマトリックスに添加された微量成分としてのフルオロカーボン又は他のフッ素含有ガスから作られる。反応生成物は、加工物の表面から流れ、新たな材料を縮合及び新たに生じた表面上への再付着が生じることなくエッチング剤に露出させる気相化合物である。放出物により計算された経路に沿って加工物を横切ってプラズマを移動させることにより、所定の表面の生成を可能にする反応性化学種の安定且つ予測可能な分布が得られる。 （もっと読む）

【課題】従来は困難であった微細でかつ粒度分布幅の狭いナノ粒子を高効率に生成可能とする微粒子の製造方法、並びにこの方法の実施に用い得る微粒子の製造装置を提供する。
【解決手段】微粒子製造用原料としての一種以上の粒子を分散させて熱プラズマ炎中に供給し、前記微粒子製造用原料粒子を蒸発させ気相状態の混合物とし、この混合物を冷却して、微粒子を製造する方法において、前記熱プラズマ炎の発生装置として変調誘導熱プラズマ装置を用い、この変調誘導熱プラズマ装置のコイル電流の振幅変調を所定時間間隔で繰り返させる。 （もっと読む）