【課題】装置を構成している部材等の損傷及び被処理物の処理ムラを抑止することができる表面処理装置を提供する。
【解決手段】表面処理装置１００は、希釈ガスを供給する希釈ガス供給装置１と、フッ素ガスを供給するフッ素ガス供給装置２と、前記希釈ガスと、前記フッ素ガスとを混合して混合ガスを生成させる混合器５と、前記混合ガスに被処理物を接触させる反応器６とを備えた表面処理装置１００であって、前記希釈ガスを加熱する加熱手段８をさらに備えている。 （もっと読む）