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Fターム[4G075ED13]の内容

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Fターム[4G075ED13]に分類される特許

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【課題】被処理物の品質低下を抑制すること。
【解決手段】相対向する放電電極と対向電極との間に電圧を印加して放電を発生させることにより、前記放電電極と前記対向電極との間に位置する被処理物の表面を改質する表面処理装置であって、前記放電電極と前記被処理物との間に、前記被処理物の表面のうち表面改質しない非処理領域を形成するための、遮蔽物が設けられること、を特徴とする表面処理装置。 (もっと読む)


【課題】低コスト化を図れる導膜製造装置、製造した電気機械変換素子、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第1のアライメント調整工程では着弾位置251をカメラ205で捕捉し着弾位置251がカメラ205の撮影撮影基準位置252に一致するように基板又は液滴吐出ヘッド201を相対的に移動する。第2のアライメント調整工程ではレーザレッドによってレーザ光を照射して照射跡を形成し照射跡をカメラ205で捕捉し照射跡がカメラ205の撮影撮影基準位置252に一致するように基板又はレーザヘッドを相対的に移動する。第3のアライメント調整工程では基板上に予め形成されているアライメントマークを撮像手段205で撮影したアライメントマークの形状に基づいて基板の向きを検知して基板の向きの調整を行いアライメントマークを撮像手段205の撮影基準位置に一致するように基板を移動することで基板の組付け位置の調整を行う。 (もっと読む)


【課題】異なる種類の溶液、微粒子または気体を精度良く噴霧することができ、厚さが均一な交互吸着膜を成膜できる噴霧装置を提供する。
【解決手段】噴霧部1では、同様の構成をした3つのノズル(アニオン溶液を噴霧するアニオン用ノズル13、カチオン溶液を噴霧するカチオン用ノズル11、リンス溶液を噴霧するリンス用ノズル12)が同一の水平方向に向いてノズル配置部14に配置されている。これらのノズル間の間隔に関する間隔情報に従って各ノズル夫々に応じて補正された経路でノズル配置部14を移動させながら、各ノズルが対応する溶液を噴霧する。 (もっと読む)


【課題】紫外線照射装置の清掃部の清掃能力を長時間に亘って維持することが可能な紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】実施形態の紫外線照射装置100は、内部に被処理水Aを満たすことが可能な処理槽1と、被処理水Aに面するように設けられる紫外線透過部31と、光取出口24を備え、紫外線を光取出口24から出光させて、紫外線透過部31を介して、被処理水Aに照射する紫外線照射ユニット2と、清掃部51と移動機構52を有し、移動機構52により紫外線透過部31の被処理水A側の表面を清掃部51で清掃可能な清掃機構5と、清掃開始前及び終了後の清掃部51と光取出口24とを最短距離で結んだ直線B上に、少なくとも一部が介在するように配置された第1の遮光部41aと、を具備する。 (もっと読む)


【課題】クッション作用に優れたエネルギー回収装置を提供する。
【解決手段】シリンダー20内で端部に設けた内径縮小部24側に筒状部材28を軸方向に所定範囲で移動自在とし、コイルバネ32で筒状部材28を内径縮小部24から離れてピストン30側に向けて弾性付勢する。筒状部材28に内径縮小部24側に向けて同軸芯上に先端の径が小さいるテーパ部34を突設し、このテーパ部34の先端部を内径縮小部24内に挿入し得るようにする。筒状部材28がピストン30に押されて内径縮小部24に近づくと、テーパ部34と内径縮小部24の間dが小さくなり、流路面積を縮小させる絞り流路が形成される。筒状部材28と内径縮小部24の対向する両端面の間に形成された封水室36内の流体が、絞り流路を経て連通孔26側に流出する。流路抵抗の増大によりピストン30にブレーキが掛かりクッションとして作用する。 (もっと読む)


【課題】放電発生終了後の気体通路の目詰まりを防止できるとともに、不安定な放電現象をも防止できるプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】プラズマ発生装置1は、水を含む液体を収容する液体収容部3と、気体を収容する気体収容部4と、気体収容部4の気体を液体収容部3へ導く気体通路5aを有し、液体収容部3と気体収容部4とを隔てる隔壁部5と、気体収容部4に配設された第1電極10と、液体収容部3の液体と接触するように配設された第2電極11と、気体通路5aを介して気体収容部4の気体を液体収容部3へ圧送させる態様で、酸素を含む気体を気体収容部4に供給する気体供給部と、第1電極10と第2電極11との間に放電を発生させることにより、液体収容部3の液体内に圧送された気体をプラズマ化するプラズマ電源部と、気体通路5aの付着物Aを物理的に除去する付着物除去手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】装置の大型化を抑制し、被照射面に凹部や凸部があったとしても、当該凹部や凸部に対応する被照射面に光を十分に照射することができるようにすること。
【解決手段】光照射装置10は、接着シートASの接着剤層により形成される被照射面S1に光を照射する装置である。被照射面S1は、第1照射面SAと、この第1照射面SAに設けられた凸部からなる第2照射面SBとを有する。光照射装置10は、接着シートASを支持する支持手段11と、被照射面S1に対向して所定波長の光を照射可能な発光ダイオード27を有する発光手段12と、接着シートASと発光手段12とを相対移動させる移動手段13とを備えている。発光手段12は、発光ダイオード27の中心CTと被照射面S1上の焦点FCとを通る光軸AXを第1照射面SAに対して斜め方向に設定可能に設けられ、第2照射面SBでの光照射量の増大を図ることができる。 (もっと読む)


【課題】SiCやGaN等の難加工性物質の加工速度を向上できる光触媒反応型化学的加工方法を提供する。
【解決手段】光触媒薄膜1を被加工物3の表面14に接触若しくは極接近させると共に、その間に酸性水溶液からなる反応処理液5を介在させ、光触媒薄膜1に光照射して生成した活性種を用いて被加工物3の表面14を加工する光触媒反応型化学的加工方法において、反応処理液5のpHが4.88以下となるような条件下で被加工物3の表面14を加工する方法である。 (もっと読む)


【課題】稼働率を向上させる電子線照射システムを提供する。
【解決手段】電子線照射システム200は、第1電子線照射装置100aと第1搬送ラインとを含んで構成される電子線照射ユニット200aと、第2電子線照射装置100bと第2搬送ラインとを含んで構成される電子線照射ユニット200bと、第1搬送ラインの第1搬出部312から第2搬送ラインの第2搬入部350に被照射物を送出するユニット間搬送部210と、第1照射領域R1を通過した被照射物の搬送先を、第1搬出口312aおよびユニット間搬送部のいずれか一方に切り換える搬送先切換部214と、を備え、搬送先切換部が第1照射領域を通過した被照射物の搬送先をユニット間搬送部に切り換えたとき、第1照射領域を通過するときの被照射物における照射面と、第2照射領域を通過するときの被照射物における該照射面と、を異ならせる。 (もっと読む)


【課題】各サンプルに均一に超音波を照射する超音波照射装置を提供する。
【解決手段】超音波照射装置10は、処理槽12と、超音波振動子14と、互いに分離した状態で溶液を溜めることの可能な複数の容器Wを有するプレートPを処理槽12内で移動させる移動部16とを備え、超音波振動子14が超音波を発生させるときに移動部16はプレートPを移動させる。 (もっと読む)


【課題】 装置の小型化を図りながら、エキシマランプの高電圧側電極とケーシングとの間での外部放電を防止して所期の紫外線照射処理を確実に行うことのできる光処理装置を提供すること。
【解決手段】 この光処理装置は、光取出窓を有するランプ収容室が内部に形成された金属製のケーシングと、このケーシングにおける前記ランプ収容室内に配置された、高電圧側電極およびアース側電極の一対の電極が放電容器の外表面に対向して配置されてなるエキシマランプとを具えた光放射ユニットを具えてなり、
前記エキシマランプは、放電容器の管壁の肉厚をT〔mm〕とするとき、前記高電圧側電極が、前記ランプ収容室の高さ方向の中央位置を中心に±1.5Tの範囲内に位置された状態で、配置されている。 (もっと読む)


【課題】ラジカルを均一に拡散させることのできるプラズマ発生装置、当該プラズマ発生装置を用いた洗浄浄化装置および小型電器機器を得る。
【解決手段】プラズマ発生装置1は、気体収容部5に配設された第1電極12と、少なくとも第1電極12と対向する側の部分が液体収容部4中の液体17と接触するように配設した第2電極13と、を備えている。そして、第1電極12と第2電極13との間に放電を発生させることで、液体収容部4中の液体17内における気体の領域においてプラズマを生成し、液体17に含まれる水および気体に含まれる酸素からヒドロキシラジカルを生成する。気体拡散部70は、気体通路3aから圧送された気体を液体17内において拡散させる。 (もっと読む)


【課題】原料及び合成反応物質の性状変化に対応し、合成反応場において、反応を完結させることができる反応装置を供する。
【解決手段】隔壁22に対し対向し密閉された第1および第2の室27A,27Bと、第1および第2の室の容積を個別に拡縮させるための第1および第2の駆動機構23A,23Bと、隔壁に設けられ第1および第2の室へ連通し、第1および第2の室の少なくとも一方に噴流を発生させるオリフィス28とを備える。 (もっと読む)


【課題】チップ上で液滴を移動させることにより、効率的な熱サイクルを当該液滴に施すことのできる熱サイクル装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる熱サイクル装置は、液滴を載置する載置面を有するチップを装着する装着部と、装着部を、所定方向に往復移動させる移動機構と、所定方向に温度分布を有するようにチップの載置面を温度制御する温度制御部と、を備え、移動機構は、装着部に印加される加速度および液滴の質量との積が、載置面に液滴が載置された際の静止摩擦力よりも大きくなるように、装着部を移動させる。 (もっと読む)


【課題】紫外線を反射させる平板状の反射板を用いながらランプの温度上昇を抑える。
【解決手段】ランプハウス11内に、マグネトロン131,132が発生するマイクロ波に基づき紫外線を発光することが可能な放電媒体が封入された無電極ランプ12が配置される。ランプハウス11内のマグネトロン131,132および無電極ランプ12は、ファンを主体とする冷却機構20を用いて冷却する。無電極ランプ12は、平板状の反射板211,212の空隙24a,24bを介して流入される冷却機構20の冷却風により冷却される。反射板211,212には、空隙24a,24bに流入される冷却風の流速を速める冷却制御部材25a,25bを形成した。これにより、平板状の反射板211,212を用いながら、信頼性上の適温であるされるランプ温度850℃以下の実現が可能となる。 (もっと読む)


【課題】
種々の触媒試作品の中から、数十〜数百時間の長期評価、触媒充填量を数百グラム〜キログラムオーダーに増やしたミゼットプラント評価に値するサンプルを抽出する一次スクリーニングを如何に行うための多機能型触媒評価装置に関する技術を確立する。
【解決手段】
流通反応系および循環反応系を反応中に簡単に切り替え、同じ触媒について反応形式が異なる計測を繰り返し行う。さらにまた、循環反応系には効率的な流体循環と、触媒粉などによる汚染時に洗浄が簡単に出来る逆止弁を備える。 (もっと読む)


【課題】 加工作用力の制御性が高く、安定した加工強度を有する粉末粒子の整形設備及び方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、粉末粒子の整形設備に関し、外部圧力の変化に応じて多種の形態に変換することが可能な密閉チェンバーを有し、前記密閉チェンバーは、形態の変換中にその内部に充填された粉末粒子を押圧し移動させるものであることを特徴とする。更に粉末粒子整形方法に関し、整形される粉末を、密閉チェンバーを満たすように充填するa工程と、多種の形態に変化するように密閉チェンバーに対して変動する外部圧力を加え、前記粉末粒子を押圧して移動させ且つ摩擦させるb工程とを含有することを特徴とする。本発明は、粉末粒子への整形加工力の制御性が高く、加工強度が安定的であり、各種の粉体の整形及び粉砕に適し、分散した塊りの粉砕及びその更なる整形処理にも好適である。 (もっと読む)


【目的】放電電極部を処理ガスから保護し、酸化を防止して、寿命を長くする。
【解決手段】電極22〜25を電極カバー22P〜25Pで覆い、放電開口22HL,HR〜25HL,HR(22HL、25HRは閉塞されている)を設ける。また、放電開口22HL,HR〜25HL,HRの上流側で、90°位相がずれた位置に保護ガス流入口22Q〜25Qを設ける。保護ガス流入口22Q〜25Qから流入させられた保護ガスは、放電電極部22S〜25Sの周辺を流れて放電空間に流出させられる。放電電極部22S〜25Sに保護ガスが供給されるため、放電電極部22S〜25Sが処理ガスに接触し難くすることができる。そのため、放電電極部22S〜25Sの酸化を抑制し、寿命を長くすることができる。 (もっと読む)


【目的】電極とワークとの間で放電が起き難くする。
【解決手段】放電空間42Bとプラズマ出力口16との間に設けられたプラズマ流出通路の構成要素である個別通路81Bに関して、X部分81BX、Z部分81BZのX部分81BXXの接続部Mより放電空間側の部分81BZO、X部分81BXX、拡散器82B、スリット86等により主通路が構成され、Z方向部分81BZの接続部Mより放電空間とは反対側の部分81BZPにより分岐通路が構成される。アース板90は、分岐通路81BZPを塞ぐ状態で設けられる。分岐通路81BZPと主通路の部分81BZOとは同一直線上に位置するため、アース板90との間で放電が起き、ワークWとの間では起き難くすることができる。 (もっと読む)


【課題】 装置本体にトレイを用いずに化学反応カートリッジを装置内部に送り込むことができる化学反応カートリッジの挿入機構を実現することを目的にする。
【解決手段】 挿入された化学反応カートリッジ1を、モータ5により回転駆動される歯車4と咬み合うラック3の直線運動に基づいて、筐体6内部へ引き込む化学反応カートリッジの挿入機構において、筐体6内に固定され化学反応カートリッジ1を直線運動の方向に導くローディングガイド8を備え、ラック3が化学反応カートリッジ1の表面に設けられたことを特徴とする。 (もっと読む)


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