【課題】２種類以上の性質の異なる表面状態を有する基板およびマイクロチップ並びにそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に金属パターンまたは金属酸化物パターンが形成され、上記金属パターンまたは上記金属酸化物パターン上に表面処理膜を形成することにより、２種類以上の性質の異なる表面状態を有する基板およびマイクロチップを提供する。 （もっと読む）

【課題】結晶異方性エッチングにより安定的に流路を形成する流路デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明によると、第１の幅を有する第１領域と、第１の幅より広い第２の幅を有する第２領域と、一端が第１領域に接続し、他端が第２領域に接続する接続領域と、を含む流路を備えた流路デバイスの製造方法であって、一主面が｛１１０｝面であるシリコン基板を準備し、シリコン基板の一主面上に｛１１０｝面と｛１１１｝面の交線に沿った第１の端部と、交線に直交し＜１１１＞方向に延びる第２の端部と、を含むマスクパターンを形成し、マスクパターンを介して結晶異方性エッチングを行うことにより、シリコン基板の一主面に前記流路を形成すること、を含み、第２領域の両側にそれぞれ配置された第２の端部は、互いに第１領域との距離が異なるように形成されることを特徴とする流路デバイスの製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのパケットに対して汚染なしに化学的または物理的処理を行うためのマイクロ流体デバイスおよび方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体デバイス１において、該デバイスが、軸Ｘを有するマイクロチャネル２、および下記の少なくとも１つを含むパケット操作手段を含むところのデバイス、発電ユニット９、および上記発電ユニット９に連結されかつ、上記マイクロチャネルの少なくとも一部分の内部に、上記マイクロチャネルの軸Ｘと実質的に共線的である電場を作るように構成された電極アッセンブリ３、ここで、上記発電ユニット９は、マイクロチャネルにおいて少なくとも１つのパケットを変形させるまたは少なくとも２つのパケットを互いの方に移動させるような振幅および周波数を有する電場を発生させることができる。 （もっと読む）

【課題】 金属細片を半導体表面にパターン化しなくとも、光照射により発生したキャリアを効率的に利用する手段の提供。
【解決手段】 第一の半導体と第二の半導体とが接合し、第一の半導体側の接合界面に二次元ホールガス層が形成されたヘテロ接合半導体を含むデバイスであって、第二の半導体の厚さが３０ｎｍ以下であるエネルギー変換デバイス。 （もっと読む）

【課題】分解過程のガス濃度の変化に対応して、最適な配合割合の触媒を採用させることにより、ガスの分解効率を高めたガス分解装置を提供する。
【解決手段】固体電解質層１０１と、この固体電解質層の一側に設けられる第１の電極層１０２と、他側に設けられる第２の電極層１０５とを備える複数のガス分解素子１００ａ，１００ｂ，１００ｃを含んで構成されるガス分解装置であって、上記第１の電極層又は／及び第２の電極層に含まれる触媒の組成が、上記ガス分解素子によって異なるように構成されているとともに、上記複数のガス分解素子に、ガスを順次作用させて分解するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】誘電体の表面に汚れなどが付着した場合においても汚れを容易に除去することができる気流発生装置を提供する。
【解決手段】実施形態の気流発生装置１０は、固体からなる誘電体２０と、誘電体２０の表面に設けられた第１の電極３０と、第１の電極３０と誘電体２０を介して離間して設けられた第２の電極４０とを備え、第１の電極３０と第２の電極４０との間に電圧を印加して気流を発生させる。第１の電極３０側の誘電体２０の表面２０ａにおける水に対する接触角が８０度以上である。 （もっと読む）

【課題】大気圧下で長時間プラズマを生成することができるプラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置は、第１導電体と、第２導電体と、第１導電体と第２導電体との間に備えられた少なくとも１層の絶縁層とを備えたプラズマ生成部を有し、第１導電体と第２導電体との間に電圧を印加することによってプラズマを生成するプラズマ生成装置であって、プラズマ生成部は、第１導電体と第２導電体とは絶縁層を介して互いに接触する接触部を有するとともに、接触部の周囲における、第１導電体と絶縁層との間、第２導電体と絶縁層との間、絶縁層同士の間のいずれか１つ以上に、プラズマを生成するための流体に晒された隙間を有し、絶縁層はセラミック層からなる。このプラズマ生成装置は、絶縁層をセラミック層とするため、長時間プラズマを生成させることができる。 （もっと読む）

【課題】噴射造粒法での微粒子製造方法において、微粒子成分含有液の吐出を安定性の高い状態で維持し、狭い粒径分布を有する微粒子を得る微粒子製造方法および微粒子製造装置を提供する。
【解決手段】液滴が固化するとトナーとなるトナー成分液１４が導入される液柱共鳴液室及び該液柱共鳴液室内のトナー成分液１４に振動を付与する振動発生手段を有する液滴吐出手段２と、液滴吐出手段２から吐出された液滴２１を固化する乾燥捕集ユニット６０と、を備え、液滴吐出手段２は、前記振動発生手段により前記液柱共鳴液室内のトナー成分液１４に振動を付与して液柱共鳴による定在波を形成し、該定在波の腹となる領域に形成された前記吐出孔からトナー成分液１４を液滴として連続的に吐出する液滴吐出動作モードと、前記液滴吐出動作の前に、前記振動発生手段により前記吐出孔におけるトナー成分液１４の液表面を振動させる微駆動動作モードを有する。 （もっと読む）

【課題】液体中にマイクロ粒子を発生させるマイクロ粒子発生装置を提供する。
【解決手段】液体を貯蔵する液体槽と、前記液体槽に連通し、前記液体槽に貯蔵された液体とは性質の異なる液体が注入される圧力槽と、前記液体槽と前記圧力槽との連通部に設けられ、多数の貫通孔を有する多孔のノズルと、前記多孔のノズルに密着され、所定の周波数と振幅で前記多孔のノズルへ振動を与える超音波振動素子を有しする振動源と、前記圧力槽に注入された液体に所定の圧力を加える圧力ポンプと、を備え、前記圧力槽に注入された液体に前記圧力ポンプが圧力を加えると共に、振動が与えられた前記多孔のノズルの貫通孔から前記液体槽へ液体の微粒子を噴射させることで、前記液体槽に貯蔵された液体と反応させ、前記液体槽にマイクロ粒子を発生させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 随伴ガスを効率よく分解することができる酸素イオン伝導体およびそれを備える電気化学セルならびに電気化学装置を提供する。
【解決手段】 イオン伝導部と電子伝導部とが隣接して配置されてなり、イオン伝導部は酸化カルシウム，酸化ガリウムおよび希土類酸化物の少なくとも１種を安定化剤とする酸化ジルコニウムを含んでなり、電子伝導部は、チタン，バナジウム，マンガン,鉄およ
びコバルトの少なくともいずれか１種が固溶したランタンクロマイト系のペロブスカイト酸化物を含んでなる酸素イオン伝導体である。さらには酸素イオン伝導体を備える電気化学セルならびに電気化学装置である。 （もっと読む）

【課題】複雑で設計の自由度が高く、粒子構造に応じた機能を発現可能な階層構造の粒子集合体、及び、該粒子集合体を簡便かつ安価な方法で製造可能とする階層構造の粒子集合体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の階層構造の粒子集合体は、基板と、該基板上に形成したテンプレートと、該テンプレート上に形成されたナノ構造体とを備える階層構造の粒子集合体であり、前記テンプレートは、球状粒子が規則的に配列された球状粒子層が前記基板側から前記ナノ構造体側に向けて少なくとも２層積層されて形成され、前記球状粒子の粒径サイズは、前記球状粒子層間で異なり、前記基板側から前記ナノ構造体側に向けて小さく、前記ナノ構造体は、前記テンプレートの最表層を形成する前記球状粒子層における個々の前記球状粒子上に配され、前記球状粒子の粒径サイズよりも小さな粒径のナノ粒子で形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シングルモードの空胴共振器を使用したマイクロ波装置に関し、被処理液の流量を多くして均一に効率良く処理可能にする。
【解決手段】被処理液とは異なる誘電率を有すると共に被処理液の流れを乱す障害手段６３を収容してあり、照射室内に生じる電界方向に対し軸線を沿わせて、空胴共振器の照射室に設置される流通管６０を提案する。この流通管をマイクロ波装置の照射室に設置すると、被処理液を流す流通管内において電界分布が一様ではなくなり、被処理液に吸収されるマイクロ波が抑制され、Ｑの低下が抑えられて同調が外れにくくなるので、被処理液の流量を増やすことができる。 （もっと読む）

【課題】例えば、フィッシャートロプシュ反応を実行するに当って、温度の精密な制御が可能な単一の装置又はアセンブリ内に統合された複数のマイクロチャネルユニットを提供する。
【解決手段】対向するシムシートの間に、矩形断面の触媒を収容することが可能な一連のマイクロチャネルを形成する波形インサート１５４と波形インサートと熱的に連通した第２の組のマイクロチャネル１５８とを含み、これを構成単位として複数積層して一つのハウジング内に格納する。 （もっと読む）

【課題】 密度が高く、酸素イオン伝導性および電子伝導性がともに高い酸素イオン伝導体およびこれを用いた電気化学装置を提供する。
【解決手段】 ランタンクロマイト系のペロブスカイト型酸化物と、酸化カルシウム，酸化ガドリニウムおよび希土類酸化物の少なくとも１種を安定化剤として含む酸化ジルコニウムと、を含み、チタン，バナジウム，マンガン,鉄およびコバルトの少なくともいず
れか１種が前記ペロブスカイト型酸化物に固溶している酸素イオン伝導体である。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも短波長の光を透過させ、紫外線による劣化を防ぐ。
【解決手段】 水晶からなり所定のパターンで形成された流路が形成された第一のプレートと、水晶からなり第一のプレートと接合される第二のプレートと、第一のプレートの流路が形成された面と第二のプレートの流路と対向させる面とに１ｎｍ以下の厚みで設けられる接合材と、を備え、第一のプレートに設けられた接合材と第二のプレートとに設けられた接合材とが原子拡散接合法により接合されて構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流動するガスを効率よく加熱することができるとともに、熱分解させることができ、さらに、単独であるいは他のガス分解装置と組み合わせて用いることができる多孔質発熱体、多孔質発熱素子及びガス分解素子を提供する。
【解決手段】連続気孔１ｂを有する金属多孔質体からなる多孔質発熱体１であって、
少なくとも表面に、Ｎｉ−Ｗ合金層１０ａを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】 随伴ガスを効率よく分解することができる電気化学セルおよびそれを備える電気化学装置を提供する。
【解決手段】 本発明の電気化学セルは、第１電極と、該第１電極を覆うように設けられイオン伝導部と電子伝導部とが隣接して設けられてなる導電層と、該導電層を覆うように設けられた第２電極とを備えることにより、効率よく随伴ガスを分解することができる。また、上記電気化学セルを複数個備えることにより、効率よく随伴ガスを分解することができる電気化学装置とすることができる。 （もっと読む）

【課題】従来技術の欠点を解消すること。
【解決手段】チャンバ内には導電性材料からなる少なくとも４つの加熱素子または加熱素子の群が配置されており、各加熱素子または加熱素子の群は、電気エネルギー網の別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能なサブシステムに接続されており、かつ直接的な電流通過によって加熱可能であり、別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能な加熱素子または別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能な加熱素子の群は、温度、加熱電力、電流、電圧、抵抗またはこの装置により影響される加熱素子のプロセス量からなる群からのパラメタの少なくとも１つの同じ値または異なる値に閉ループおよび／または開ループ制御可能であり、少なくとも４つの閉ループおよび／または開ループ制御可能なサブシステムがアースに対してガルバニック絶縁されている、腐食性ガスの温度処理装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】高い酸素発生電位と酸化能力を有し、かつ、耐久性に優れた電解用電極及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】金属基体の表面に耐食中間層と、耐食中間層の表面に触媒層とを有する電解用電極において、触媒層が、酸化スズ及び酸化アンチモンを含有する層と、酸化スズ及び酸化アンチモンが含有する層の表面に二酸化鉛層とからなることを特徴とする電解用電極及びその製造方法。本発明の電解用電極は、高い酸素発生電位と酸化能力を有し、かつ、耐久性に優れるため、各種用途に利用できる。 （もっと読む）