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Fターム[4G075FC04]の内容

物理的、化学的プロセス及び装置 (50,066) | 装置8(機能、物性) (2,254) | 透明、半透明、光透過体 (286)

Fターム[4G075FC04]に分類される特許

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【課題】従来から用いられているマイクロポンプとマイクロミキサーには次のような課題がある。機械的あるいは流体力学的な方法は、流路内の構造が複雑で目詰まりしやすく、製造コストが高く、デッドボリュームが多い。また、電気的方法は流路の構造がシンプルではあるが、医用やバイオで重要な生理食塩水濃度の液体で動作しなかった。
【解決手段】電極間ギャップが鉛直に設置された電極対に交流電圧を印加し、電極間ギャップに沿って反重力方向への流体の流れを発生させて上記課題を解決する。特に、電極間ギャップに沿って鉛直方向へマイクロ流路11を形成することによりマイクロポンプ43,44が実現でき、電極間ギャップに直交する水平方向へマイクロ流路11を形成することによりマイクロミキサー41が実現できる。 (もっと読む)


【課題】光が微小流路を流れる流体に一様に効率的に照射され複数の条件下における光化学反応を同時に生じさせることを可能とする光化学反応装置を実現すること。
【解決手段】微小流路を流れる流体に光を照射して光化学反応を生じさせる光化学反応装置において、出力光を出射する光源と、この出力光を複数に分岐して出射する光分岐手段と、触媒が塗布され流体が流れる微小流路を有し、前記光分岐手段で複数に分岐された出力光がそれぞれこれらの微小流路の全体に一様に照射される複数の反応容器とを備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 廃棄処理に際して環境汚染の問題が生じることなく、安価な紫外線光源を実現するとともに、高い点灯性を得て実用化を可能とする。
【解決手段】 紫外線光源1に封入された放電ガス3の成分が、窒素ガス(N),アルゴン(Ar),ヘリウム等であり、NとArとの混合比が0.1:99.9〜30:70、内部圧力が100〜1000Paである。この紫外線光源1は、化学反応促進装置10においては、被反応物21そのものの中に投入される。マグネトロン発振器11から出力されたマイクロ波は、被反応物21と紫外線光源1に照射される。この照射を受けて紫外線光源1は、被反応物21の中に位置して紫外線を放出し、これを被反応物21に照射する。これら紫外線とマイクロ波の照射により、被反応物21の化学反応が促進される。 (もっと読む)


【課題】 高品質で効率性及び経済性に優れた高機能化・多機能化のために任意な平面パターンの一層微細な溝からなる流路が緻密に高集積化され積層されるマイクロチップ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のマイクロチップは、複数の基板2が積層され相互に接合された積層体1と、積層体1の基板2に相互に連通するように形成され所定位置に配置された適宜数量の流入口3、4及び流出口5と、各基板2の接合面に相互に対向して鏡面対称状に形成され、流入口3、4と流出口5とを繋ぐ所定の平面パターンの微細溝からなる片面流路10a、10bが、各基板2の接合により突き合わされて構成された閉断面流路10とを備え、前記積層体1には、各基板2の接合時に対向する片面流路10a、10bの正確な位置合せを行なう位置決め機構が設けられている。 (もっと読む)


【課題】廃電線等の複合材や廃油等の混合物を処理して有用物と不要物とを分離するための物質の分離方法、及び物質分離装置を提供する。
【解決手段】物質分離装置1は廃電線等の複合材や廃油等の混合物を処理するためのものであり、収容槽2と、過熱蒸気発生装置(過熱蒸気発生手段)3とを備える。過熱蒸気発生装置3で作られた過熱蒸気は、過熱蒸気導入部53へ送られ、複数の過熱蒸気導入配管56から処理対象の複合材等に向かって噴射される。複合材等が廃電線等の金属と熱可塑性プラスチック又は合成ゴムとを含むものである場合には、過熱蒸気の作用により、複合材中の熱可塑性プラスチック又は合成ゴムは熱分解ガス化する。一方、複合材中の金属は酸化されることなくそのまま回収可能である。 (もっと読む)


【課題】蓋部材の流路部材に対する押圧力を均一化することにより、流路構造体の流路から流体が漏出することを防止する。
【解決手段】流路構造体1では、流路部材3および蓋部材4の周囲の付勢部6により、第1押圧部材2および第2押圧部材5が、流路部材3および蓋部材4を間に挟んで互いに近づく方向に付勢されることにより、流路10を形成する溝311が設けられた流路部材3の上面31に蓋部材4が押圧される。流路構造体1では、第2押圧部材5の当接部53が蓋部材4の外周縁よりも内側のほぼ全域に亘って蓋部材4に当接し、外周部54が蓋部材4の外周縁と積層方向に関して離間する。これにより、蓋部材4の外周縁近傍に押圧力が集中することを防止して第2押圧部材5の撓みを抑制し、蓋部材4の流路部材3に対する押圧力を均一化することができる。その結果、流路構造体1の流路10から試薬流体が漏出することを確実に防止することができる。 (もっと読む)


【課題】 可視光や紫外光等によって影響を受けることなく、試料に照射された電子線エネルギーを正確に測定することのできる電子線照射システムを提供する。
【解決手段】 電子線照射システムにおいては、チャンバ2に収容された試料4に電子線Eを照射し、その試料4に照射された電子線エネルギーを、電子線検出器7によって測定する。このとき、電子線検出器7の検出面7aを、導電性遮光膜7bで覆うことにより、当該電子線検出器7にて電子線Eを検出する際に、チャンバ2内における可視光や紫外光等から影響を受けることを防止する。これによって、試料4に照射された電子線エネルギーを正確に測定することができる。 (もっと読む)


本発明の局面は、少なくとも第一の面が少なくとも一つの開放マイクロチャネル構造を有する平坦な基板と、第一の面が該平坦な基板の該第一の面に取り付けられたふた形成シート材料であって、該少なくとも一つのマイクロチャネル構造の少なくとも一部分を覆うふた形成シート材料とを含み、該ふた形成シート材料が、該基板と該ふた形成シート材料との間の間隔を制御するための粒子を含む結合材料によって該平坦な基板に取り付けられている、マイクロ流体アセンブリを含む。本発明の他の局面は、詳細な説明、図面および請求の範囲に反映されている。

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【課題】温度制御が可能で且つ小型化が可能なプラズマ発生体、反応装置及び光源装置を提供する。
【解決手段】プラズマ発生体1は、放電空間5A,5B,5Cにプラズマを発生させる電極15A,15B,15C,15Dと、電極15A,15B,15C,15Dが固定され、電極15A,15B,15C,15Dに沿って流体を流動させ、プラズマ発生体1の温度制御を可能ならしめる流路17を有し、一体的に形成された誘電体としての基体3とを備える。 (もっと読む)


【課題】放電空間を形成する部材の耐久性を向上できるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】プラズマ発生体1は、放電空間5を有し、一体的に形成された誘電体としての基体3と、基体3に固定され、放電空間5内でプラズマを発生させる電極15とを備える。 (もっと読む)


【課題】マスク表面に亘るエッチング速度の極めて均一な分布を実現するプラズマリアクタを提供する。
【解決手段】プラズマリアクタは、円筒形側壁と、側壁の上にある天井と、側壁の上端上に支持され、天井を支持し、外面と内面とを備えたリングとを備えた真空チャンバを含む。複数の通路が外面から内面へとリング内を半径方向に延び、リングの円周に沿って間隔をあけて配置されている。チャンバ外部に在る外部ガス流導管装置はチャンバの円周に沿って延び、処理ガス供給源に結合されている。チャンバ外部に在る複数のガス流バルブは導管に沿って間隔をあけて配置された各々の位置でもって外部導管に結合され、その各々は(a)リングの外面の複数の通路の各々に結合された制御されたガス出口ポートと、(b)バルブ制御入口とを有する。ガスバルブ構成コントローラは各バルブのバルブ制御入口を制御する。 (もっと読む)


【課題】220nm以下の波長域を含む紫外線が放射される短波長紫外線放電灯において、被処理物の処理効率の低下を防止し、人体に安全で、運転操作の信頼性に優れた短波長紫外線放電灯及びそれを使用した紫外線照射処理装置を提供する。
【解決手段】短波長紫外線放電灯100の管体31の外を引き回されるリード線60が、フッ素樹脂押し出し成形絶縁体で被覆された絶縁導体上に金属製の外装部材を有する。紫外線照射処理装置は、この短波長紫外線放電灯100を、220nm以下の波長域に透光性を有する透光管に内挿してなる。 (もっと読む)


【課題】 UV照射チャンバーをクリーニングする方法を提供する。
【解決手段】 UV照射チャンバーをクリーニングする方法は、(i)UV照射チャンバーに設けられた光透過窓を透過したUV光で基板を照射することを完了した後に、UV照射チャンバー外でクリーニングガスのラジカル種を発生させる工程と、(ii)UV照射チャンバーの外部からUV照射チャンバー内へラジカル種を導入することによって、光透過窓をクリーニングする工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】高純度のガスを300〜1200℃の温度に汚染なしに加熱するための方法を提供する
【解決手段】高純度のガスを0.1〜10barの圧力(絶対圧)で、ガスを汚染しない高純度の固形物を介して案内し、この場合、該固形物が、高純度の容器内に位置しており、該容器の壁が、赤外線放射に対して85%よりも過度に多く透過性である材料から成っており、容器に赤外線放射によって照射し、これによって、固形物を加熱し、該固形物が、ガスを加熱するようにした。 (もっと読む)


【課題】微細流動システムの制御装置と微細流動システムの制御方法、及び微細流動システムを提供する。
【解決手段】微細流動システムに第1−第3の制御信号を出力する中央制御部700と、回転板を回転させる回転手段と、中央制御部700が出力した第1の制御信号によって回転手段の動作を制御する回転手段制御部710と、回転板上を移動する移動手段と、中央制御部700の第2の制御信号によって移動手段の位置を制御する位置制御部720と、移動手段によって微細流動構造物上の所定の位置に移動される放射エネルギー源であって、微細流動構造物上の所定の位置に電磁気波を照射する放射エネルギー源と、中央制御部700の第3制御信号によって前記放射エネルギー源から出力されるエネルギーを制御する放射エネルギー源制御部730と、を備える微細流動システムの制御装置である。 (もっと読む)


【課題】平坦な基板または基板上に各種の素子が設けられて表面が凹凸を有する基板に容易に流路を形成することができる微小流路の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に第1の液体を付与して描画する工程、前記第1の液体を硬化させて凸部からなる第1の硬化物を得る工程、前記第1の硬化物を覆って第2の液体を付与する工程、第2の液体を硬化させて第2の硬化物を得る工程、前記第2の硬化物と基板上の第1の硬化物を分離して第2の硬化物中に凹部を形成する工程、前記基板から第1の硬化物を除去する工程、前記第1の硬化物を除去した基板上に第2の硬化物を設置して前記凹部からなる流路を形成する工程を有する微小流路の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 基板の大型化に好適に対応できると共にランニングコストを低減でき、基板表面の処理を確実に行うことができる、エキシマランプ装置を提供すること。
【解決手段】 本発明に係るエキシマランプ装置は、エキシマランプが収納されたランプハウスと、ランプハウス内に配置されてエキシマランプに対して平行かつ交互に位置されたガス噴出口が設けられてなるガス供給用配管と、ガス供給用配管に水蒸気を含む不活性気体を導入するガス供給手段とを具備し、前記ガス供給手段により絶対湿度が所定に制御された不活性気体が前記ガス供給用配管に供給されることを特徴とする。また前記絶対湿度は重量絶対湿度に換算して0.5〜6.5g/kgであるのがよい。 (もっと読む)


【課題】弁閉鎖ユニット及びそれを備えた反応装置を提供する。
【解決手段】常温で固体の相転移物質及び相転移物質内に分散され、外部からの電磁波の照射による電磁気波エネルギーを吸収して発熱する複数の微細発熱粒子を含んでなる充填物が充填された充填物チャンバと、充填物チャンバとチャンネルを連結する連結通路と、充填物に電磁波を照射するための外部エネルギー源と、を備えており、外部エネルギー源からの電磁波の照射によって発熱した複数の微細発熱粒子は、相転移物質を溶融及び膨脹させることによって充填物を膨張させ、膨張した充填物は、連結通路を通ってチャンネルに流入してチャンネルを閉鎖することを特徴とする弁閉鎖ユニット及びそれを備えた反応装置である。 (もっと読む)


基板上の超親水性被膜は、防反射性及び防曇性であることができる。該被膜は、長期間にわたって防反射性及び防曇性を維持することができる。該被膜は、反対電荷の無機ナノ粒子を含むことができ、かつ有機ポリマーを実質的に含まなくてもよい。 (もっと読む)


【課題】高強度の紫外線を長時間にわたって正確にモニタリングすることが可能な紫外線モニタリングシステム及び紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】この紫外線モニタリングシステム4は、電力を供給する電源装置11と、電源装置11から電力を得ることにより紫外線を照射する紫外線源12と、受光した紫外線の強度に応じた量の電荷を生成する検知部としてのダイヤモンド層22を有し、そのダイヤモンド層22で生成された電荷から上記紫外線の強度に応じた電気信号を出力する紫外線センサ13と、その電気信号に基づいて電源装置11の電力供給を制御することにより、紫外線源12の紫外線の出力を制御する制御部14とを備えている。 (もっと読む)


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