【課題】本発明は、プラズマを用いてシランガスを効果的に分解するための手段を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、プラズマを用いたシランガス除去装置に関する。本発明の一実施形態によるシランガス除去装置は、既設定された周波数の電磁波を発振する電磁波供給部と、前記電磁波供給部から供給された前記電磁波及び渦流ガスからプラズマを発生させる放電管と、前記放電管に前記渦流ガスを供給する渦流ガス供給部と、前記放電管で発生された前記プラズマとシランガスとの反応により二酸化珪素及び水が生成される反応炉と、前記放電管内に前記プラズマの発生のための初期電子を供給する点火部と、前記反応炉の上端に形成され、前記反応炉内部の前記プラズマに前記シランガスを供給するシランガス供給部と、前記反応炉で生成された前記二酸化珪素及び水を排出するガス排出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】断熱構造を持つマイクロ流体デバイスを提供する。
【解決手段】半導体基板と、半導体基板内の少なくとも１つのマイクロリアクタ１０５と、半導体基板内でマイクロリアクタに接続された１つ以上のマイクロ流体チャネル１０１と、マイクロ流体チャネルを封止するための、半導体基板に接合されたカバー層と、マイクロリアクタ及びマイクロ流体チャネルを包囲する基板貫通トレンチ１００とを備えたマイクロ流体デバイス１０４であって、基板貫通トレンチは空隙であるか、または断熱材料で充填されている、マイクロ流体デバイス （もっと読む）

【課題】マイクロ流路と同一の基体に配置した抵抗体を加熱し、抵抗体の抵抗値変化によって、マイクロ流路内の温度を制御するマイクロ流体デバイスにおいて、流路内の流体に温度分布が生じてしまうこと。
【解決手段】基体内部に設けられた流体を流通させる流路と、前記流路内の流体を主として加熱するための第一の抵抗体とが配置されたマイクロ流体デバイスにおいて、前記第一の抵抗体と異なる位置に配置された、前記流路内の流体を補助的に加熱するための第二の抵抗体を複数個配置する。このマイクロ流体デバイスを動作させるマイクロ流体装置は、前記流路内の流体の温度と前記第一の抵抗体の抵抗値との関係式と、前記第一の抵抗体に投入する熱エネルギーと前記第二の抵抗体に投入する熱エネルギーとの比の固定値と、記憶し、前記関係式と前記固定値とに従い、前記流路内の流体の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】水を含む溶媒の超臨界又は亜臨界環境での反応において、繰り返して使用できる耐久性と、耐食性とを両立できる反応装置を提供すること。
【解決手段】反応装置は、反応対象の材料が接触する反応器（例えば、オートクレーブ容器１１）と、前記反応器の表面を被覆するとともに、未被覆部分の代表寸法が３０ｎｍ以下の銀又は金の皮膜と、を含む。このような構成により、超臨界又は亜臨界環境での反応において、反応器は、繰り返して使用できる耐久性と、耐食性とを両立できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、少量から大量の粉体を均一に大気圧グロープラズマ処理して、その表面に有用な官能基を付与するプラズマ処理装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、中心電極２と、中心電極２と所定の空隙部５を介して配置された筒状の周辺電極３とを有する放電容器１と、中心電極２及び周辺電極３との間に連設された複数の仕切部１６と、中心電極２表面若しくは周辺電極３表面の少なくとも一方に設けられた誘電体４と、放電容器１の一端側に設けられ、空隙部５に流体を注入可能に構成された流体注入手段と、放電容器１の他端側に設けられ、空隙部５から流体を排出可能に構成された流体排出手段と、中心電極２と周辺電極３との間に交流またはパルス電圧を印加した状態で、中心電極を回転中心として放電容器を回転せしめる回転手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】流体を低圧用途に分配するための低圧の吸着体ベースの流体貯留および分配容器を使用する際における流体利用率を最大にする改良された方法の提供。
【解決手段】容器内にナノ多孔質炭素吸着体２０を保持する流体貯留および分配装置１０で、１つの実施態様は脱硫用途、別の実施態様は塩素ガスなどの貯留である。配置構成では複数の多孔質炭素物品が移動しないように拘束するために位置安定化構造が用いられる。制御された方法で酸素と反応するシランを貯留するために炭素吸着体を使用する赤外線放射デバイスについて、吸着体の抵抗および／または誘導加熱によって炭素吸着体が残留流体を脱着する配置構成は、炭素吸着体を膨張剤と接触させ、続いて炭素吸着体を加圧したガス状浸透剤と接触させて、膨張剤および浸透剤を除去することにより、多孔質炭素吸着体の充填能力を増加させる方法。 （もっと読む）

【課題】内部で異常な温度上昇を生じたとしても、底抜けを防止することができる反応容器を提供する。
【解決手段】内部で反応を生じさせる円筒状の容器本体１１１を備える反応容器１００において、容器本体１１１の外周を包囲する保温材１１２と、容器本体１１１と保温材１１２との間を容器本体１１１の周方向及び軸方向で複数に区切るように当該間に複数形成された区画室１１３ａ〜１１３ｄとを備え、容器本体１１１の周方向に隣り合う区画室１１３ａ〜１１３ｄの容器本体１１１の軸方向の間隔Ｈ１〜Ｈ４を互いに異ならせることにより、容器本体１１１の周方向の温度を不均一に分布させるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光化学反応におけるレーザ光の利用効率を高めることの可能な光化学反応装置、及び光化学反応装置を用いた同位体濃縮方法を提供することを課題とする。
【解決手段】プロセスガスが供給され、レーザ光によりプロセスガスを光化学反応させる光透過性反応用容器２１と、光透過性反応用容器２１の外側に、光透過性反応用容器２１を囲むように配置され、レーザ光を反射する金属ミラー１９と、光透過性反応用容器２１、金属ミラー１９、及び極低温液体１２を収容可能な構成とされ、極低温液体１２により、金属ミラー１９の温度を極低温に保持するクライオスタット１１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】２種以上の流体を均一に混合できるマイクロミキサーを提供する。
【解決手段】混合流体を得る混合器（１）と混合器（１）の出口に接続され混合流体を更に混合する混合器（２）とを有する流体混合装置であり、混合器（１）は第一の流体が流通する微小管状流路１と、第二の流体が流通する微小管状流路２と、第一の流体と第二の流体とが混合する混合部を有し、混合器（２）は混合流体が流通する微小管状流路３を有し、微小管状流路３の出口部における混合流体の断面積は、入り口部における混合流体の断面積よりも小さく、混合器（１）の混合部に接し、微小管状流路１内を流通する流体断面積と、微小管状流路２内を流通する流体断面積の断面積との合計面積に対する混合器（２）の出口部に接し、微小管状流路３内を流通する流体断面積の比が１／２〜１／１００である。 （もっと読む）

【課題】筒状ＭＥＡ内を流れるガスの温度を高めて分解効率をより高めることができるとともに、外部配管やこれを接続する接続部材、及びこれらの間に設けられるシール構造が熱により損傷するのを防止し、さらに製造コストを低減させることを課題とする。
【解決手段】筒状の固体電解質層１と、この固体電解質層の内周部に積層形成された第１の電極層２と、上記固体電解質層の外周部に積層形成された第２の電極層５とを有する筒状ＭＥＡを用いて構成されるガス分解装置１００であって、上記筒状ＭＥＡを収容して加熱する加熱容器と、上記筒状ＭＥＡに連続して設けられるとともに上記加熱容器から突出する突出部と、上記突出部の開口端部に設けられた接続部材と、軸を上下方向に配向した姿勢で上記筒状ＭＥＡを保持する保持手段８２とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】ランニングコストを抑えながら大きな処理能力を得ることができると共に、筒状ＭＥＡ内を流れるガスの分解効率をより向上させることのできるガス分解素子及びそのガス分解素子を備える発電装置の提供を課題とする。
【解決手段】筒状の固体電解質層１と、この固体電解質層１の内周部に積層形成された第１の電極層２と、この固体電解質層１の外周部に積層形成された第２の電極層５とを有する筒状ＭＥＡ７を備え、上記筒状ＭＥＡ７の内側には分解に供せられる第１のガスを流す第１のガス流路を備えると共に上記筒状ＭＥＡ７の外側に第２のガスを流す第２のガス流路を備えたガス分解素子であって、上記筒状ＭＥＡ７の内側に備えられる第１のガス流路に、流れてくる第１のガスと接触して分解を促進するガス分解促進手段７１を配置してある。 （もっと読む）

【課題】反応物質の量を減らすために微量の反応物質を取り扱うことができ、かつガス状の反応物質を効率よく捕集することで放射性同位元素標識化合物の収率を向上することができるＲＩ化合物合成装置を提供すること。
【解決手段】流体通路３０内に設けられた原料保持部３４に伝熱部材４０が当接する構成とし、伝熱部材４０の内部に設けられた冷却部４２及び加熱部４４によって、伝熱部材４０を介して原料保持部３４を冷却及び加熱する。原料保持部３４が冷却されることで、原料保持部３４に進入する［^１１Ｃ］ヨウ化メチルガスの保持が効率良く行われる。また、［^１１Ｃ］ヨウ化メチルガスとスピペロンを混合し反応させるときは、原料保持部３４を加熱することで、合成反応に適した温度に調整され、反応効率が向上する。その結果、［^１１Ｃ］メチルスピペロンの収率が向上する。 （もっと読む）

【課題】廃プラスチック、廃木材、生ゴミ、古紙、粘着性の汚泥等の廃棄物を効率よく焼却することができる熱分解装置を提供する。
【解決手段】本発明の熱分解装置は、廃棄物を熱分解する有底筒状の処理室と、処理室の底板に配置し、廃棄物に磁気を作用する磁気作用手段と、処理室の底板上で磁気作用手段の周囲に敷設する断熱材層Ｉと、処理室の側面に配置する空気導入管とを備える。磁気作用手段は、Ｎ極とＳ極とが鉛直方向を向くように配置する磁石と、磁石を被覆する断熱材層ＩＩと、磁石により磁気誘導されるようにその磁石の上方にその磁石に近接して配置する常磁性の板状体とを備える。 （もっと読む）

【課題】 高温工業プロセスにおける改良されたリアクター装置および関連するプロセスにおけるその使用方法の提供。
【解決手段】 少なくとも１つのフランジ付接続部を含む高温工業プロセス用装置であって、少なくとも１つのフランジ付接続部の少なくとも１つのフランジが、少なくとも１つのフランジに連結した少なくとも１つのサポートラグにより機械的損傷から保護されている装置。 （もっと読む）

【課題】簡易且つ低コストに微細流路を形成することができ、プレートの接合面の加工精度も要求されず、材料選択の幅が広く、十分な耐圧強度も維持しつつ、流路長を長くとることができ、コンパクト化が実現できるマイクロリアクターの流路デバイス及びこれを備えた加熱反応装置を提供せんとする。
【解決手段】流路デバイス１は、金属製のデバイス本体１０に形成される内部空間１０ｓに、金属管２０を渦巻き状に屈曲変形させて構成される渦巻き管体２Ａ，２Ｂを装着して反応流路とした。加熱反応装置Ｓは、流路デバイス１と、該流路デバイス１に接続される導入管３１及び排出管３２と、流路デバイス１の外面に接触した状態で周囲を囲む金属製の加熱ブロック４と、加熱ブロック４の周囲を囲む断熱壁５と、該加熱ブロック４に付設される発熱手段６と、該加熱ブロックに外気又は冷風を当てて冷却するための送風手段７とを少なくとも備える。 （もっと読む）

【課題】 高温工業プロセスにおける改良されたリアクター装置および関連するプロセスにおけるその使用方法の提供。
【解決手段】 少なくとも１つのフランジ付接続部を含む高温工業プロセス用装置であって、少なくとも１つのフランジ付接続部の少なくとも１つのフランジが、少なくとも１つのフランジに連結した少なくとも１つのサポートラグにより機械的損傷から保護されている装置。 （もっと読む）

【課題】 電気化学反応を用いることでランニングコストを抑えながら、小型の装置で、大きな処理能力を得ることができる、ガス分解素子、なかでもとくにアンモニアを提供することを目的とする。
【解決手段】 このガス分解素子は、内面側のアノード２と、外面側のカソード５と、該アノード、カソードによって挟まれる固体電解質１とで構成される、筒状ＭＥＡ７と、筒状ＭＥＡの内面側に装入され、第１電極に接する多孔質金属体１１ｓと、多孔質金属体１１ｓの導電性軸をなすように挿通された中心導電棒１１ｋとを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】誘導加熱コイルの変形や露出を防止し、また反応釜の保温効果を高めることのできる防爆構造誘導加熱装置を提供する。
【解決手段】反応釜２と、反応釜を加熱するための誘導加熱モジュール３と、防爆装置４と、を備え、誘導加熱モジュールは、冷却用気体９を流通可能な金属管を反応釜の外周に取り巻いてコイル状に形成した誘導加熱コイル１０を具備し、金属管にガラス繊維チューブ１１を被せ、さらに耐熱材（耐熱セメント１２）によりモールドして形成した。 （もっと読む）

【課題】内容物に効率よくマイクロ波を照射することができる化学反応装置を提供する。
【解決手段】直列に連続した複数の室を有し、内容物が、上方に未充填空間を有した状態で水平方向に流れる横型のフロー式のリアクター１３と、マイクロ波を発生するマイクロ波発生器１４と、マイクロ波発生器１４の発生したマイクロ波を、リアクター１３の未充填空間に伝送する１以上の導波管１５と、を備える。このようにして、より広い表面積にマイクロ波を照射することができ、マイクロ波の照射効率が高くなる。 （もっと読む）

【課題】１つ以上の態様において、工業廃液、例えば、半導体及び液晶表示装置の製造プロセスで生成される廃液を処理するのに用いる熱反応器装置を提供する。
【解決手段】コントローラと、コントローラにより制御されるように用いられる反応チャンバ３２と、反応チャンバへの管と、反応チャンバ内の管の第１の端部に配置されたパイロット１６と、反応チャンバ外の管の第２の端部に配置され、コントローラに結合され、コントローラにパイロットが点灯したかどうかの指示を与えるように用いられるセンサと、管の開閉のために操作可能なアクチュエータとを含むシステムを有する。本発明の数多くのその他の態様が開示されている。 （もっと読む）