【課題】細孔の周囲を囲む細孔壁の材料が膜厚方向に任意に制御されたナノ多孔質薄膜、およびその製造方法を提供することにある。
【解決手段】本発明によるナノ多孔質構造を有するナノ多孔質薄膜は、膜厚方向に沿って複数の層領域を有し、前記複数の層領域は、第一の細孔を有する第一の層領域と第二の細孔を有する第二の層領域とを含み、前記第一の細孔と前記第二の細孔は貫通し、前記第一の層領域と前記第二の層領域とを構成する材料が異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電気化学特性に優れた複合膜構造体及び燃料電池、並びにそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】水素透過性金属膜１と固体電解質膜２とからなる複合膜構造体であって、固体電解質膜２は、水素透過性金属膜１の熱酸化処理した表面上に塗布法により形成されたものであり、２価のアルカリ土類金属をＡサイトに配し、４価のセリウム及び４価のジルコニウムのうち少なくとも一方をＢサイトに配するペロブスカイト型酸化物を基本構造とし且つ４価のＢサイト元素の一部を３価の希土類元素で置換した結晶構造を有する化合物からなり、固体電解質膜２は、アルカリ土類金属と、セリウム及びジルコニウムのうち少なくとも一方と、希土類元素と、を含む有機金属酸塩溶液を塗布して第１固体電解質前駆体膜を形成し、前記第１固体電解質前駆体膜を急速昇温熱処理により結晶化させることにより形成した第１固体電解質膜２１を備える。 （もっと読む）

【課題】耐食性に優れた皮膜を環境への負荷が小さく、且つ簡便な方法で製造することができる皮膜の製造方法を提供する。
【解決手段】フッ化チタン塩を含む溶液とマグネシウム又はマグネシウム合金で構成される基材とを接触させることにより基材の表面に酸化チタンとフッ化マグネシウムの皮膜を生成させる。 （もっと読む）

【課題】低コストで形成可能であると共に低抵抗の導電体基板、導電体基板の製造方法、デバイス及び電子機器を提供すること。
【解決手段】基板と、前記基板上に設けられ、結晶成長を制御するシード層と、前記シード層上に設けられ、酸化スズ系透明導電体の結晶からなる導電層とを備える。 （もっと読む）

【課題】超平滑な、膜の深部まで完全に酸化膜となっており、粒径が揃っており、ターゲット基板表面に対して低ダメージでコーティング可能で、ストイキオメトリックな希土類酸化物膜を作製する技術を提供する。
【解決手段】第１の真空度に保持された第１の反応室内で、原子ビーム照射手段により原子状酸素ビームを発生させ、第２の真空度に保持された第２の反応室内で、アークプラズマ発生手段により希土類金属をビーム状に発生させターゲットに蒸着させる工程と同時に、原子状酸素ビームを第１の反応室からオリフィス通路を通して第２の反応室の前記ターゲットに照射させる工程を備え、ターゲット表面に、光の干渉を生じる平滑性を有し、膜の厚さ方向全体にストイキオメトリックな希土類酸化物膜を形成させる。 （もっと読む）

【課題】従来困難とされてきた高品質の酸化物を低温域の条件下で位置選択的乃至は空間選択的に形成できる手法を確立する。
【解決手段】波長１９０ｎｍ以下の光３を、マスク２を被覆した被酸化固体材料１に対して照射する。そして、被酸化固体材料１の露光した部分に、高品質の酸化物４に改質する。また、光３を集光レンズ５を介して被酸化固体材料１に集光照射することで、被酸化固体材料１に対して酸化物４を位置選択的に形成する。 （もっと読む）

【課題】貴金属ナノ粒子が高密度で分散しており、貴金属ナノ粒子間の距離が短く、及び／又は、貴金属ナノ粒子の径が小さい貴金属ナノ粒子分散薄膜及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】貴金属を含む貴金属ナノ粒子と、前記貴金属ナノ粒子より電気比抵抗が高い無機材料とを備え、前記貴金属ナノ粒子の面内数密度は、４．０×１０⁴個／μｍ²以上３．０×１０⁶個／μｍ²以下である貴金属ナノ粒子分散薄膜、及び、パルスレーザーアブレーションを用いて基板上に貴金属ナノ粒子と無機材料からなる薄膜を形成するアブレーション工程を備えた貴金属ナノ粒子分散薄膜の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ガラスやシリコン基板上に結晶化したＹ_２Ｏ_３を含む薄膜形成を可能にし、性能が高い蛍光体薄膜材料の製造方法を提供する。
【解決手段】
基板上に形成されたY、Dy, Sm, Gd, Ho, Eu, Tm, Tb, Er, Ce Pr, Yb, La, Nd, Luからなる群れより選ばれる少なくとも一種類の希土類金属元素を含む有機金属薄膜または金属酸化物膜を、250〜600℃の温度に保持し、波長200nm以下の紫外光を照射しつつ、結晶化を行うことを特徴とする結晶化金属酸化物薄膜の製造方法。 （もっと読む）

【課題】均一な粒径を有する機能性酸化物ナノ粒子を簡便に合成可能な技術を提供する。
【解決手段】ナノ粒子合成装置１は、紫外線レーザー光源２と、レーザー光反射鏡３と、反応容器４と、反応容器４中に投入された金属塩の溶媒溶液５と、を備えている。反応容器４には、金属塩を溶媒に溶かした溶液が納められている。溶媒の適性は、紫外線領域における吸収性能に依存する。硝酸セリウムについては、溶媒としてアルコールを必要としない。但し、塩の種類（例えば鉄系）によってはアルコール溶媒が必要となる。図４は、Ｘ線回折図形を用いてセリウム酸化物の粒径、格子定数、収率のレーザー出力依存性を計算した結果である。これより、粒径２ｎｍのセリウム酸化物ナノ粒子が合成され、レーザー出力の増大に伴って粒径を維持したまま収率が向上していくことが分かる。また、格子定数及び粒径は出力にほとんど依存せず一定であることが分かる。 （もっと読む）

【課題】層間絶縁膜平坦化、シャロートレンチ分離形成、金属埋め込み配線形成等のＣＭＰ技術において、酸化珪素膜、金属埋め込み膜等へ研磨傷を発生させずに短時間でＣＭＰが実施できる微粒子、研磨材、及びそれを用いた基板の研磨方法、半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】金属化合物を含有する溶液を微細に液滴化し、該液滴を３００℃以上で加熱処理することによって作製された結晶の歪が３％以下であることを特徴とする金属酸化物微粒子。 （もっと読む）

【課題】 基材表面上に金属酸化物膜を形成する金属酸化物膜の製造方法であって、基材が複雑な構造部を有する場合においても、簡便なプロセスで均一な金属酸化物膜を得ることが可能であり、さらに結晶性に優れた金属酸化物膜を得ることができる金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】 本発明は、基材表面に、金属源として金属塩または金属錯体が溶解した金属酸化物膜形成用溶液を接触させることにより金属酸化物膜を得る金属酸化物膜の製造方法であって、上記基材表面と上記金属酸化物膜形成用溶液とを接触させる際に、光を照射することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 廃セッコウボ−ドを破砕し、紙を分離した粉粒状の二水セッコウを水和硬化性の焼セッコウとする方法において、最短の時間で最も少ないエネルギ−で製造する。
【解決手段】 付着水分と結晶水を持つている二水セッコウは従来技術では、間接加熱方式などの伝導加熱において、脱水が終わらないとセッコウは分解温度に達しない為、加熱時間がかかり、また熱効率も５５〜６０％と低いものである。本発明は赤外線を放射吸収させて同時並行的に加熱する方法と、赤外線の受熱表面積を拡大させるため、スクリュ−又はバドル式コンベアを通して流動させながら加熱することにより、加熱時間６〜１０分熱量原単位約２００ｋｃａｌ／ｈｒ以下であり、理論熱量に近いエネルギ−で焼セッコウが出来るものである。 （もっと読む）

【課題】
環境負荷が少なく、取り扱いが容易であり、かつ比較的低コストにて物質を酸化することができる、亜酸化窒素（Ｎ_２Ｏ）を含む液中における物質の酸化方法および酸化装置を提供する。
【解決手段】
亜酸化窒素（Ｎ_２Ｏ）を含む溶液と物質を接触させ、該溶液に対して紫外光を照射することによって前記物質の酸化を行う物質の酸化方法であって、紫外光の照射時間により物質の酸化時間を制御することを特徴とする物質の酸化方法。 （もっと読む）