説明

Fターム[4G077CE03]の内容

結晶、結晶のための後処理 (61,211) | 液相成長−ゾーンメルティング (194) | フローティングゾーン法によるもの (127)

Fターム[4G077CE03]に分類される特許

1 - 20 / 127


【課題】 FZ単結晶シリコンは体積固有抵抗やライフ・タイム等、品質上はCZ単結晶シリコンに比べて優れているにも拘わらず、コストが「約5〜8倍」と高価なため、太陽電池用としては使用されていない。このため、本発明では太陽電池用に特化することにより、大幅なコスト・ダウンをはかる手段を提供することにより、FZ単結晶シリコンを使用し大幅に効率アップした太陽電池の普及に貢献する。
【解決手段】
単結晶製造のスムーズな引き上げのみを考慮した単純な製造機器により、成長スピードを2〜5mm/min、場合により8mm/minまであげる。
又、芯ドープには空洞部に特殊加工したドーピングマザーメタルを使用する等を行う。
亜鉛還元法によるシリコンについては、熔融が簡単で短時間融解で済み、吸い上げを含めても石英等とのコンタミネーションも極端に少なくなる。 (もっと読む)


【課題】 透過率が高く、高濃度に3価のTbイオンを含む磁気光学素子用酸化テルビウム結晶を提供する。
【解決手段】 組成式(Tb1−a(式中、MはEr、Tm、Yb、Lu、Scから選択される一種以上の元素、0.01≦a<0.3)で示される結晶系が立方晶系の結晶体であって、1.06μmと532nmにおける3mm長さあたりの直線透過率がいずれも70%以上であることを特徴とする、磁気光学素子用透光性酸化テルビウム結晶であり、製法としては、水冷した容器1の中に結晶育成用の原料2を充填し、原料の中央部を高温に加熱融解するが、水冷容器に接する原料2の外側部分の外皮2aは溶融せず、スカル状に焼結緻密化して坩堝として作用させ、原料2を充分溶融してから高周波パワーを減らし、容器1を下げて底から冷却して結晶化させるスカルメルト法が好適であるが、フローティングゾーン法を採用することもできる。 (もっと読む)


【課題】還元雰囲気や不活性ガス雰囲気下におけるドナー濃度の変化が抑えられたβ−Ga系基板の製造方法、及び還元雰囲気や不活性ガス雰囲気下において品質のばらつきの小さい高品質な結晶膜をエピタキシャル成長させることのできる結晶積層構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】IV族元素を含むβ−Ga系結晶からβ−Ga系基板を切り出す工程を含み、還元雰囲気及び不活性ガス雰囲気の少なくともいずれか一方を含む雰囲気下でのアニール処理が、前記β−Ga系基板を切り出す前の前記β−Ga系結晶、又は切り出された前記β−Ga系基板に施される、β−Ga系基板の製造方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】双晶化を効果的に抑えることのできるβ−Ga系単結晶の成長方法を提供する。
【解決手段】EFG(Edge-defined film-fed growth)法によるβ−Ga2O3系単結晶の製造において、β−Ga系単結晶をその(101)面に平行な方向に成長させ、(101)面内における<10−1>方向と成長方向とのなす角度φ(0°≦φ<90°)を90°未満とする。FZ(Floating Zone)法等の他の結晶成長方法を用いた場合であってもβ−Ga2O3系単結晶25の双晶化を効果的に抑えることができる。 (もっと読む)


【課題】 磁気転移温度より高い温度でも電気磁気効果を発現する電気磁気効果材料を提供する。
【解決手段】 磁性イオンを含むオケルマナイト構造を有する電気磁気効果材料を用いた電気磁気効果素子であって、前記電気磁気効果材料はAMXであって、AはCa,Sr,Baであり、XはGe,Siであり、Mは磁性イオンである電気磁気効果素子を提供する。 (もっと読む)


【課題】製造する単結晶の直径及び方位毎の適切な操業発振周波数を決定することにより、良好な抵抗率バラツキの単結晶を安定して製造する単結晶製造方法を提供する。
【解決手段】高周波発振器から高周波電圧が供給される誘導加熱コイルで原料結晶を部分的に加熱溶融して浮遊帯域を形成し、該浮遊帯域を移動させて単結晶を製造するFZ法(フローティングゾーン法又は浮遊帯溶融法)による単結晶製造方法であって、予め、前記製造する単結晶と同一直径及び同一方位を有する単結晶に関して、供給する高周波電圧の発振周波数を変化させた場合の発振周波数毎の抵抗率バラツキを調べ、該発振周波数と抵抗率バラツキの関係に応じて前記製造する単結晶の直径及び方位毎の操業発振周波数を決定し、該決定した操業発振周波数に合わせて前記高周波発振器の調整を行い、該調整した高周波発振器を使用して単結晶を製造することを特徴とする単結晶製造方法。 (もっと読む)


【課題】主成分として有害物質鉛元素を含まずに、強誘電性を示しかつ外部磁場によって分極の大きさを制御可能な新規なマンガン酸化物、およびそのメモリへの利用を提供する。
【解決手段】マンガン酸化物は、ペロブスカイト構造を有する、式(1)Sr1−xBaMnO(1≧x>0.4)・・・(1)で表されるマンガン酸化物である。単位格子1の対称中心には磁性イオンであるMnイオン3が存在する。単位格子1の対称中心をMnサイトとする。単位格子1が有する8個の頂点には、SrイオンおよびBaイオンのうちいずれか一方が存在している。単位格子1が有する頂点をSrサイト2とする。単位格子1が有する6面の面心には、Oイオン4が存在する。 (もっと読む)


【課題】発熱体からの汚染を防止し、さらに支持シャフトの温度上昇を抑制することで、支持シャフト材及び支持シャフトとハウジングとの間にあるシール材からの汚染を防止し、かつシール材の劣化を防ぎ、もって高品質な単結晶シリコンを製造する。
【解決手段】ハウジングの壁を貫通する回転可能な支持シャフト11の先端に、誘導加熱コイルによって誘導加熱可能な導電材を有する発熱リングが設けられるとともに、支持シャフト11に、これを回転させることにより、発熱リングを種結晶ホルダーと多結晶ホルダーとの間で誘導加熱コイルに接近させた加熱位置と、この加熱位置から離間した待機位置との間で往復移動させる操作手段が設けられ、ハウジングの壁と支持シャフト11との貫通部に、これらの気密を保持するシール材21Aが設けられ、支持シャフト11の内部には、冷却媒体を流通させる冷却流路14が形成されている。 (もっと読む)


【課題】FZ法(フローティングゾーン法または浮遊帯溶融法)により大口径の単結晶を製造する場合であっても、誘導加熱コイルのスリットにおいて生じる放電を効果的に防止できる絶縁部材及び該絶縁部材がスリットに挿入された誘導加熱コイルを有し、高い単結晶化率で安定して高品質の単結晶を製造することのできる単結晶製造装置並びに該単結晶製造装置を用いた単結晶製造方法を提供する。
【解決手段】FZ法による単結晶製造装置に具備される誘導加熱コイル7の両コイル端部13を互いに分離するスリット14に挿入され、該スリット14において生じる放電を防止するための絶縁部材16であって、少なくとも、該絶縁部材16の、前記スリット14に挿入された際に前記コイル端部13と対向する表面上に、1以上の溝17が形成されたものであることを特徴とする絶縁部材。 (もっと読む)


【課題】光通信、光集積回路基板に利用可能な光路長の温度依存性が小さい材料を提供する。
【解決手段】SrTiOにYAlOを添加した(Sr1−X,Y)(Ti1−X,Al)O複合酸化物材料は、0<X<0.50の範囲において光路長温度係数(OPD、ここでOPD=1/S・dS/dT=CTE + 1/n・dn/dTであって、Sが光路長、CTEが線熱膨張係数、nが屈折率、dn/dTが屈折率の温度係数である)が制御可能であり、特に0.04<X<0.50の範囲においてはその絶対値が6ppm/℃以下と光路長の温度依存性が極めて小さく、光通信用フィルター、光集積回路基板などに利用可能である。 (もっと読む)


【課題】製造される単結晶の中心部と外周部における温度差を小さくし、単結晶成長時における固液界面深さを小さくすることで有転位化の発生を抑止できる複巻誘導加熱コイル及び該複巻誘導加熱コイルを有する単結晶製造装置並びに該単結晶製造装置が用いられる単結晶製造方法を提供する。
【解決手段】FZ法において、原料結晶棒を加熱して浮遊帯域を形成するために用いられる複巻誘導加熱コイル7であって、外側に位置するコイル14の方が、内側に位置するコイル13よりも電気抵抗率が小さいものを有することを特徴とする複巻誘導加熱コイル7。 (もっと読む)


【課題】 高屈折率低分散の光学特性を有し、かつ着色を改善したLaAlO3結晶を含む光学材料およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 3ppm以上100ppm以下のFeを含有し、前記Feが2価のFeイオンからなり、3価のFeイオンを含まないペロブスカイト型LaAlO3結晶を含む光学材料。前記ペロブスカイト型LaAlO3結晶のESRスペクトルにおいて、g値が2.02に相当する箇所に信号ピークが無い。平均粒径が1μm以上10μm以下のLaAlO3粒子を型に充填し、不活性ガス雰囲気もしくは真空中で、1600以上1800℃以下の温度で焼成する工程を有する光学材料の製造方法。 (もっと読む)


【課題】本発明は、単結晶製造装置及び単結晶製造方法に係り、誘導加熱コイルのコイル上面側とコイル下面側とで最適な磁界を形成することにある。
【解決手段】上面側コイル24aと下面側コイル24bとにより構成され、シリコン単結晶32を成長させるべくシリコン原料棒12を加熱溶融する誘導加熱コイル24と、上面側コイル24a及び下面側コイル24bに、それぞれ独立した高周波電流を供給する電流供給手段と、を設ける。そして、誘導加熱コイル24の上面側コイル24a及び下面側コイル24bにそれぞれ独立した高周波電流を供給することにより、シリコン原料棒12を加熱溶融してシリコン単結晶32を成長させる。 (もっと読む)


【課題】FZ法(フローティングゾーン法または浮遊帯溶融法)による単結晶製造における単結晶の交互回転において、単結晶の回転量が1回転に満たない場合や、回転方向が反転する場合の結晶形状の悪化を低減し、結晶を安定して製造する方法を提供する。
【解決手段】誘導加熱コイルで原料結晶を部分的に加熱溶融して溶融帯を形成し、該溶融帯を移動させて単結晶を製造させる際に、成長中の単結晶の回転方向を、正転方向及び逆転方向とで交互に入れ換えて単結晶を成長させるFZ法の単結晶製造方法であって、前記単結晶の交互回転において、一度の回転における正転及び逆転の回転量が、共に予め定められた1回転以上の所定値となるように、単結晶の回転速度に応じてその回転時間を変化させることを特徴とする単結晶の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 シリコン単結晶のライフタイムを低下させることなく、さらには作業性も損なわれない照明器具及び該照明器具を用いてシリコン単結晶を保管する保管方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 少なくともシリコン単結晶を取り扱う場所に設けられる照明器具であって、該照明器具から発せられる照明光の600nm以上の波長における発光スペクトルの最大強度が、600nm未満の波長における発光スペクトルの最大強度の40%以下のものであることを特徴とする照明器具を提供する。 (もっと読む)


【課題】 副誘導加熱コイルの絶縁部材が主誘導加熱コイルの溝に入り込み、両コイルの絶縁が弱くなるか又は無くなり火花放電の発生、また副誘導加熱コイルとの接触における誘導加熱コイルの電流回路の異常による誘導加熱コイルと浮遊帯域への火花放電が発生するという問題が生じた。
【解決手段】 半導体棒の浮遊帯域周辺を囲繞するように配置され、コイル1巻きごとの間に溝を有する主誘導加熱コイルと、浮遊帯域を囲繞する内径空間を跨ぐように弧状部位を形成した副誘導加熱コイルとを有し、両コイルが内径空間の中心に向かって相対的に前後動することにより、浮遊帯域の内径空間が可変するように構成された半導体単結晶製造装置において、両コイルの間に絶縁部材が設けられ、該絶縁部材は板状であるかまたは2以上具備されることによって、常に全ての絶縁部材が溝の位置に同時にくることが無いように設けられたものであることを特徴とする半導体単結晶製造装置。 (もっと読む)


【課題】長手方向の抵抗率分布が同一な単結晶をより確実に製造できるシリコン単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】原料シリコン素材9を加熱して溶融帯11を形成し、溶融帯11にドーパントを供給しながら溶融帯11を凝固させて、直径が同一な直胴部10aと、直径が拡大又は縮小する直径拡縮部10b,10cとを有する単結晶10を製造するFZ法によるシリコン単結晶の製造方法であって、直胴部10aに対応する溶融帯11にドーパントを供給しながら直胴部10aを形成する直胴部形成工程と、直胴部形成工程の前及び/又は後に、直径拡縮部10b,10cに対応する溶融帯11にドーパントを供給しながら直径拡縮部10b,10cを形成する直径拡縮部形成工程と、を備え、直径拡縮部形成工程において、所定の変更条件に基づいて、直胴部形成工程におけるドーパントの供給条件に対して直径拡縮部形成工程におけるドーパントの供給条件を変更する。 (もっと読む)


【課題】調査されるべきシリコン中の不純物の測定を光ルミネッセンスもしくはFTIR又はその両方を用いて行うことを可能とするための、フロートゾーン法によるシリコン中の不純物濃度の希薄化を利用した測定方を提供する。
【解決手段】調査されるべきシリコンからゾーン引き上げによって単結晶ロッドを作成し、この単結晶ロッドを、少なくとも1回の希薄化工程で、規定の炭素濃度及びドーパント濃度を有する単結晶もしくは多結晶のシリコン製のスリーブ中に導入し、そして該ロッド及びスリーブからゾーン引き上げによって希薄化されたシリコン製の単結晶ロッドを作成し、その希薄化された単結晶ロッドをもとに、調査されるべきシリコン中の不純物の測定を光ルミネッセンスもしくはFTIR又はその両方を用いて行う、シリコン中の不純物の測定方法によって解決される。 (もっと読む)


【課題】冷却水路の酸化を抑制可能なFZ(浮遊帯域溶融)法によるシリコン単結晶製造装置、シリコン単結晶の製造方法及び誘導加熱コイルの加工方法を提供する。
【解決手段】FZ法によるシリコン単結晶の成長を行う反応炉と、反応炉内に収容され、シリコン単結晶の原料となる原料シリコン素材を保持する原料保持具と、反応炉内に収容され、原料シリコン素材を部分的に加熱して溶融帯を形成し、溶融帯を凝固させてシリコン単結晶の成長を行う誘導加熱コイル4と、を備え、誘導加熱コイル4は、誘導加熱コイル4を冷却する冷却水が流通し、冷却水による酸化を防止する被膜45が形成された冷却水路44を誘導加熱コイル4の内部に有する。 (もっと読む)


【課題】波長1.06μm域(0.9〜1.1μm)でのベルデ定数が大きく、かつ、高い透明性を有する、酸化テルビウムを含む酸化物を主成分として含有する磁気光学材料を提供すること、及び、加工機用ファイバーレーザに好適に使用される小型化した光アイソレータを提供すること。
【解決手段】下記式(I)で表される酸化物を99%以上含有することを特徴とする磁気光学材料。
(Tbx1-x23 (I)
(式(I)中、xは、0.4≦x≦1.0であり、Rは、スカンジウム、イットリウム、テルビウム以外のランタノイド元素群よりなる集合から選択された少なくとも1つの元素を含む。) (もっと読む)


1 - 20 / 127