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Fターム[4G077DA16]の内容

結晶、結晶のための後処理 (61,211) | 気相成長−蒸着、昇華 (1,206) | 基板への薄膜の蒸着 (751) | 各成分蒸気を基板に交互に供給するもの (1)

Fターム[4G077DA16]に分類される特許

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【課題】磁性を有するアルカリ土類金属窒化物、特にCaNとSrNを提供する。
【解決手段】α―Caを、β―Caに構造相転移する以上の温度に加熱する加熱ステップと、加熱ステップで得られたβ―Caに、磁性を有する構造をしたCaNとCaとに分解する以上の圧力を加える加圧ステップ、を有していることを特徴とする磁性を有する窒化カルシウムの製造方法。CaまたはSrをA、窒素をNと表記したときに、格子定数がANに近く、ANの磁性を破壊しない半導体、化合物半導体、絶縁体、金属から選択された材料からなる基板上に気体状のAとNとAと基板材料の元素等を1〜2層ずつ交互に積層させることを特徴とする磁性を有するアルカリ土類金属窒化物の製造方法。1〜2層ずつ交互に積層させるのは、プラズマを利用した打ち込みであることを特徴とする磁性を有するアルカリ土類金属窒化物の製造方法。 (もっと読む)


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