Fターム[4G077EE00]の内容
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Fターム[4G077EE00]に分類される特許
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窒化アルミニウム結晶の製造方法
【課題】安価で良質な窒化アルミニウム結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】Ga−Al合金融液4に窒素ガスを導入し、Ga−Al合金融液4中の種結晶基板3上に窒化アルミニウム結晶をエピタキシャル成長させる。窒化アルミニウム結晶の育成温度を1000℃以上1500℃以下の範囲とすることにより、GaNを金属Gaと窒素ガスに分解させる。
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