Fターム[4G077EG00]の内容
結晶、結晶のための後処理 (61,211) | 結晶成長共通−装置、治具 (3,794)
Fターム[4G077EG00]の下位に属するFターム
融液支持、収容手段(例;ルツボ) (779)
基板支持手段 (179)
液相エピタキシャルのための融液、基板支持体 (99)
種結晶の保持、固定手段 (175)
種結晶の引き上げ(下げ)、回転手段 (72)
基板、支持体の移送、搬入、搬出のための構成 (25)
基板、支持体の成長中の運動(回転、振動) (79)
加熱、冷却、保温装置 (807)
ガスの供給、排出、処理のための装置の構成 (473)
成長室、炉を構成する部材の形状、構造、材料 (795)
成長室に付属する室の構成(例;基板前処理室) (57)
炉、成長室、成長結晶の取扱いのための装置 (136)
連続成長(製造)のための装置の構成 (74)
その他 (44)
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