Fターム[4G077EH00]の内容
結晶、結晶のための後処理 (61,211) | 結晶成長共通−検知、制御 (1,189)
Fターム[4G077EH00]の下位に属するFターム
成長膜厚の検知、制御 (55)
蒸発源からの蒸発量、分子線量の検知、制御 (14)
結晶の直径の検知、制御 (102)
ドープ量の検知、制御 (50)
制御の方法 (907)
その他 (61)
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