【課題】 次世代光リソグラフィー技術用の光学材料として有用である、歪み（複屈折）が小さく、かつ透過率やコントラストの低下原因となる微小ボイド（濁りや曇りとして観察される）もほとんどないフッ化金属単結晶を効率よく製造する。
【解決手段】 融点がＸ_melt℃であるフッ化金属単結晶をＣＦ_４等のフッ素系ガス雰囲気下にアニールし、かつ、該フッ素系ガスのアニール炉内への導入を（Ｘ_melt−３００）℃以上、好ましくは（Ｘ_melt−２５０）℃以上、さらには（Ｘ_melt−２００）℃以上、特に（Ｘ_melt−１５０）℃以上の温度で行う。例えば、融点が１４２０℃であるフッ化カルシウム単結晶をアニールする場合、１１２０℃以上（好ましくは１１７０℃以上、さらには１２２０℃以上、特に１２７０℃以上）の温度でＣＦ_４等をアニール炉内に導入する。フッ素系ガスを導入するまでは、炉内を真空排気しておくと好ましい （もっと読む）