【課題】窒素の組成の均一性を向上可能な分子線結晶成長装置を提供する。
【解決手段】保持部材２１は、窒素源装置１７ａ、１７ｂおよび粒子ビーム源１５ａ、１５ｂを保持する。この保持部材２１の保持によって、窒素源装置１７ａ、１７ｂが窒素源装置１７ａ、１７ｂそれぞれに規定される供給軸Ｎａ、Ｎｂの方向に窒素フラックスＦａ、Ｆｂを提供できると共に、粒子ビーム源１５ａ、１５ｂが該粒子ビーム源１５ａ、１５ｂそれぞれに規定される供給軸Ｍａ、Ｍｂの方向にそれぞれの原料フラックスＧａ、Ｇｂを提供できる。分子線結晶成長装置１１では、粒子ビーム源１５ａ、１５ｂのための供給軸Ｍａ、Ｍｂは、基板ホルダ４１の第１の領域４１ａと交差しており、また複数の窒素源装置１７ａ、１７ｂのための供給軸Ｎａ、Ｎｂは、基板ホルダ４１の第１の領域４１ａと異なる第２の領域４１ｂと交差している。 （もっと読む）