【課題】冷却時における石英ガラスルツボの食い込みを抑制でき、石英ガラスルツボを破壊することなく、容易に取り外すことができ、更には珪化を抑制できる、特定の物性を有する炭素繊維強化炭素複合材からなる炭素繊維強化炭素複合円筒部材及び炭素繊維強化炭素複合円筒部材の製造方法、並びに炭素繊維強化炭素複合材ルツボ及びこのルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】溶融材料を収容する石英ガラスルツボを支持、保持するために用いられ、底部２２と、前記底部の上方に設けられた直胴部（円筒部材）２１とを有する炭素繊維強化炭素複合材ルツボ２０であって、少なくとも前記直胴部（円筒部材）が、引張弾性率が４００ＧＰａ以上９００ＧＰａ以下のピッチ系炭素繊維を用いた炭素繊維織布を含む炭素繊維強化炭素複合材から形成され、かつ常温から８００℃の温度域における直胴部の周方向の平均線熱膨張係数が、石英ガラスの平均線熱膨張係数以下である。 （もっと読む）

【課題】炭素短繊維の破断が少なく、導電性に優れた多孔質電極基材およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】炭素短繊維（Ａ）と、炭素繊維前駆体短繊維（ｂ１）およびフィブリル状炭素前駆体繊維（ｂ２）の少なくとも一方とを平面内において分散させた前駆体シートを製造する工程（１）と、前記前駆体シートの水分率を３０％以上３００％以下に調整する工程（２）と、ロール対を一対以上有する連続式加熱ロールプレス装置を用いて、前記前駆体シートを加熱加圧処理する工程（３）と、加熱加圧した前駆体シートを１０００℃以上の温度で炭素化処理する工程（４）とを有する多孔質電極基材の製造方法。および該製造方法で得られる多孔質電極基材。 （もっと読む）

【課題】 スパッタリングのターゲットとして用いられた場合に、スパッタリング装置内に水分等が含まれるのを抑制することにより、ＤＬＣ膜の諸特性を飛躍的に向上させることができる金属‐炭素複合材料を提供することを目的としている。
【解決手段】 炭素、バインダー、及び、金属又は金属化合物を混練、粉砕した後、粉砕物を成形して成形体を作製し、更に、この成形体を１３００℃以上で熱処理する工程を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】半導体材料あるいは太陽電池材料等の単結晶あるいは多結晶を製造する装置において溶融材料を収容するルツボを支持、保持するために用いられる炭素繊維強化炭素複合材ルツボであって、底部湾曲部において、皺あるいは重ね合わせの段差部分をなくし、耐久性を向上させた炭素繊維強化炭素複合材ルツボを提供する。
【解決手段】周縁部に湾曲部を有する底部３と、前記底部湾曲部から上方に延びる直胴部２とを有する炭素繊維強化炭素複合材ルツボ１であって、前記底部３と直胴部２が、炭素繊維の縦糸と横糸とを交互に織り上げた炭素繊維織布１１，１２，１３（１０）を複数枚、貼り合わせることにより形成されると共に、前記底部湾曲部に位置する炭素繊維織布の縦糸と横糸の軸線が、ルツボ周方向に対し斜め方向に形成されている。 （もっと読む）

【課題】単結晶引き上げクリーンルーム内での清浄度低下の防止を図る。
【解決手段】原料粉末をルツボ成形用のモールド１０内に成形し、その成形体１１をアーク溶融により加熱溶融して石英ガラスルツボを製造する方法であって、
アーク溶融をおこなう炭素電極１３として、石英ガラスの結晶化促進剤を含有する電極を用いて前記石英ガラスルツボ内側表面に結晶化促進剤含有層を形成する。 （もっと読む）

【課題】高温下であっても破損することがなく、かつ遠赤外線効果に優れる耐熱材の製造方法を提供する。
【解決手段】粘土、コンクリート、アスファルトのいずれかを２０〜８０重量％、７０〜９０メッシュのペタライトを８０〜２０重量％の割合で混練し第１混練物を生成し、炭素粒子と珪酸化合物の混練体と、第１混練物とを混練して第２混練物を生成し、該第２混練物を加圧成形し成形物を生成し、乾燥後の成形物を９５０℃〜１２５０℃の温度で焼成して耐熱材を生成する。 （もっと読む）

【課題】表層のＳｉＣとの熱膨張差によって生じる割れやクラックを防止でき、しかも急速な昇温にも耐えることができるよう熱的特性が改良されたシリコン単結晶引上用黒鉛ルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶引上用黒鉛ルツボ８は、下記条件を満たす黒鉛材料からなる。（イ）２９３〜６７３Ｋでの熱膨張係数が３．０〜４．０×１０^−６／Ｋ（ロ）２９３Ｋでの熱伝導率が１２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上（ハ）耐熱衝撃係数＝（引っ張り強度×熱伝導率）／（熱膨張係数×弾性係数）が８０ｋＷ／ｍ以上（ニ）かさ密度が１．７０Ｍｇ／ｃｍ^３以上（ホ）熱膨張係数の異方比が１．１以下であり、また、前記シリコン単結晶引上用黒鉛ルツボ８は、２分割または３分割ルツボであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】強度向上が可能となり、周方向に強い張力が働いたときにも形状が安定し、しかも、ほつれによる開口部の強度低下が生じない、シリコン単結晶引上げ装置用のＣ／Ｃ複合材製ルツボ保持部材を提供する。
【解決手段】炭素繊維からなるストランドを軸線Ｌに対して斜めに織り合わせて中空のメッシュ体１３を形成し、このメッシュ体１３の軸線方向の一方側１７を、一周部１９を境に内方又は外方へ折り返し他方側と重ねて二重の開口部２３を形成し、且つメッシュ体１３の炭素繊維間にマトリクスを充填した。メッシュ体１３は、軸線Ｌに対して傾斜する第一ストランドと、第一ストランドと同角度で逆方向に傾斜する第二ストランドとを有することが好ましい。また、メッシュ体１３は、軸線Ｌと同一面内で織り合わされる縦ストランドを含むものであってもよい。 （もっと読む）

【課題】充分な強度を確保しつつ、周方向に強い張力が働いたときにも形状の安定し、しかも、熱伝導性の良好なルツボ保持部材及びその製造方法を得る。
【解決手段】高温の溶融物を収容するルツボを保持するためのルツボ保持部材１００であって、ルツボ保持部材１００は、複数の炭素繊維からなるストランドを、軸線に対して斜めに配向するように織り合せて形成した、有底カゴ状のメッシュ体１３と、炭素繊維間に充填されたマトリックスと、メッシュ体１３の内周面に形成されルツボの外周面に密接する平滑面を有した炭素質層１５とで構成される。炭素質層１５は、炭素前駆体となる樹脂材に炭素骨材を含んで形成されることが好ましい。メッシュ体１３は、メッシュ体１３の軸線Ｌに対して所定の傾斜角度で配向する第一ストランドと、第一ストランドと同角度で逆方向に配向する第二ストランドとを有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】高純度かつ高強度の炭素繊維強化炭素複合材を提供すること。
【解決手段】易結晶性の炭素系材料であるコークス、黒鉛等の結晶性炭素系粉末を多量に含有し、その分炭素繊維、ガラス状炭素の含有量を少なくして、熱処理した後のＣ／Ｃコンポジットの結晶化度を高めることにより、Ｃ／Ｃコンポジットは連続気孔が形成されやすく、高純度化のためのガスが透過しやすくなる。従って、Ｃ／Ｃコンポジットの強度を充分に確保しつつ、Ｃ／Ｃコンポジット中に存在する不純物を純化ガスで除去することができ、結晶性炭素系粉末およびガラス状炭素を含むマトリックスと、炭素繊維と、を含み、硫黄の含有量が５質量ｐｐｍ以下である、半導体製造装置用の高純度炭素繊維強化炭素複合材を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】充分な強度を確保しつつ、周方向に強い張力が働いたときにも形状の安定した容器保持部材を提供する。
【解決手段】シリコン融液を収容する石英ルツボを保持するものであり、複数の炭素繊維からなるストランド２２を、中心軸Ｌに対して斜めに配向するように織り合せて形成した、有底カゴ状のメッシュ体２０と、炭素繊維間に充填されたマトリックスとで構成されている。メッシュ体２０は、メッシュ体２０の中心軸Ｌに対して所定の傾斜角度θで配向するストランド２２Ａ，２２Ｂ、及び、メッシュ体２０の中心軸Ｌと同一面内に配向する縦ストランド２２Ｃを有している。 （もっと読む）

【課題】充分な強度を確保しつつ、周方向に強い張力が働いたときにも形状の安定したルツボ保持部材を提供する。
【解決手段】シリコン融液を収容する石英ルツボを保持するものであり、上下開口した中空のメッシュ体２０からなる。メッシュ体２０は、複数の炭素繊維を束ねてなるストランド２２を織り合せて形成され、メッシュ体２０の中心軸Ｌに対して斜めに配向するストランド２２Ａ，２２Ｂを有している。ストランド２２を構成する炭素繊維間にはマトリックスが充填されている。 （もっと読む）

【課題】充分な強度を確保しつつ、周方向に強い張力が働いたときにも形状の安定した容器保持部材を提供する。
【解決手段】有底カゴ状のメッシュ体１０と、メッシュ体１０をコーティングするマトリックスとで構成されている。メッシュ体１０は、複数の炭素繊維を束ねてなるストランド１２を織り合せて形成され、メッシュ体１０の中心軸Ｌに対して斜めに配向するストランド１２Ａ，１２Ｂを有している。さらに、メッシュ体１０の中心軸と同一面内に配向する縦ストランド１２Ｃを含む。 （もっと読む）

【課題】イオン注入装置内部部品、例えば、フライトチューブ、各種スリット、電極、電極カバー、ガイドチューブ、ビームストップ等に使用される黒鉛部材から黒鉛粒子が脱落したり、該部材上に堆積した熱分解炭素が剥離したりするのを防止し、イオン注入装置内の発塵を低減する。
【解決手段】イオン注入装置用黒鉛部材の耐熱衝撃係数を５４〜９６ｋＷ／ｍにする。 （もっと読む）

【課題】熱分解炭素をＣＶＩ、ＣＶＤを連続的に行いＣ／Ｃ材に含浸、被覆し、優れた耐ＳｉＣ化を発揮できるＣ／Ｃ材、及びそれにより形成された単結晶引き上げ装置用部材を提供する。
【解決手段】Ｃ／Ｃ基材内部に予め、ピッチ又は樹脂を含浸し、緻密化した後、ＣＶＩ、ＣＶＤ処理を同一炉、同一工程で連続的に行うことにより、熱分解炭素の含浸層及び被覆層の密度差及び被覆層の平均面粗さを制御し、両層を連続的に形成することにより耐ＳｉＣ化を確実にする。 （もっと読む）

【課題】チョクラルスキー法による単結晶引き上げ装置の石英ルツボと石英ルツボが載置される炭素質ルツボとの間に介在させて、炭素質ルツボを保護するためにその内面を覆う中敷に使用する膨張黒鉛シートであって、その引張強度を向上する方法並びにそれを用いた単結晶引き上げ装置を提供する。
【解決手段】膨張黒鉛材料からなる基材１１の少なくとも片面に、炭素繊維からなる補強材１２を積層状に形成することにより、膨張黒鉛シート１０を作製する。 （もっと読む）

【課題】金属不純物でシリコンウエハの汚染を大幅に少なくすることが可能なガラス状炭素製プラズマエッチング用電極を提供する。
【解決手段】貫通孔内壁を含む全表面に付着した鉄付着量が、全表面積に対し、２μｇ／ｃｍ^２以下であるガラス状炭素製プラズマエッチング用電極。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有する高純度膨張黒鉛シートを用いたカーボンルツボの中敷及びその製造方法を提供する。
【解決手段】カーボンルツボの中敷は、かさ密度が０．７〜１．３ｇ/ｃｍ^３、厚みが０．２〜１．０ｍｍ及び不純物含有量が５ｐｐｍ以下であり、さらに線対称形状である膨張黒鉛シートを用いた可撓性を有するカーボンルツボの中敷である。また、前記膨張黒鉛シートは非線対称形状のものであってもよい。さらに、カーボンルツボの中敷の製造方法は、かさ密度が０．７〜１．３ｇ／ｃｍ^３及び厚みが０．２〜１．０ｍｍの膨張黒鉛シートを、線対称形状に加工した後に高純度化処理して、不純物含有量を５ｐｐｍ以下にする方法である。 （もっと読む）

【課題】シリンダ状の胴部のみならずボウル状の底部もフィラメントワインディング法で強化されたＣ／Ｃ複合材製の単結晶引き上げ用ルツボを提供する。
【解決手段】本発明は、フィラメントワインディングを、周方向強化層２３のみならず軸方向強化層２２，２６を組み合わせ、これらの組み合わせを２組以上とする炭素繊維強化炭素複合材製の単結晶引き上げ用ルツボである。軸方向強化層２２，２６は中心軸１６に対する巻き付け角が０°〜１０°のレベル巻き２６又はポーラ巻き２２の少なくとも一つで形成でき、周方向強化層２３は中心軸１６に対する巻き付け角が７０°〜９０°のパラレル巻き２３又はヘリカル巻きの少なくとも一つで形成できる。軸方向強化層２２，２６が底部の中心１７を覆うことで、孔無しの一体でＣ／Ｃ複合材製ルツボになる。 （もっと読む）

【課題】シリンダ状の胴部のみならずボウル状の底部もフィラメントワインディング法で強化されたＣ／Ｃ複合材製の単結晶引き上げ用ルツボを提供する。
【解決手段】本発明は、フィラメントワインディングを、周方向強化層２３のみならず軸方向強化層２２，２６を組み合わせ、これらの組み合わせを２組以上とする炭素繊維強化炭素複合材製の単結晶引き上げ用ルツボである。軸方向強化層２２，２６は中心軸１６に対する巻き付け角が０°〜１０°のレベル巻き２６又はポーラ巻き２２の少なくとも一つで形成でき、周方向強化層２３は中心軸１６に対する巻き付け角が７０°〜９０°のパラレル巻き２３又はヘリカル巻きの少なくとも一つで形成できる。軸方向強化層２２，２６が底部の中心１７を覆うことで、孔無しの一体でＣ／Ｃ複合材製ルツボになる。 （もっと読む）