【課題】微粒子状の触媒部からより安定してカーボンナノチューブを成長させることが可能なカーボンナノチューブの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板からなる基板１の一表面側にＳｉＯ_２膜からなる絶縁層２を形成し（図１（ａ））、その後、絶縁層２上に触媒金属材料からなる触媒金属薄膜３を形成する（図１（ｂ））。次に、触媒金属薄膜３を大気中で溶融させてから冷却することによって触媒金属薄膜３を複数の粒子状の触媒部３ａに細分化し（図１（ｃ））、その後、各触媒部３ａを加熱して当該各触媒部３ａをより小さなサイズの複数の微粒子状の触媒部３ｂに再細分化する（図１（ｄ））。続いて、熱ＣＶＤ法によって微粒子状の触媒部３ｂからカーボンナノチューブ４を成長させる。 （もっと読む）