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Fターム[4H003FA04]の内容

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【課題】半導体製造における大型のメタル等の洗浄において、プラズマエッチング残渣やアッシング残渣を十分に除去する高い洗浄力を発揮し、部材の剥離や変色を抑制し、さらには必要によりメタル材料の表面荒れをも抑制しうる半導体基板用洗浄組成物、これを用いた洗浄方法及び半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】洗浄組成物により、エッチング工程及び/又は前記アッシング工程において半導体基板上に形成されたプラズマエッチング残渣及び/又はアッシング残渣を洗浄除去する洗浄工程を含む半導体素子の製造方法であって、該洗浄組成物は、水と、塩基性有機化合物と、酸性有機化合物と、有機溶媒とを組み合わせて含有し、pHが1.5〜5.0に調整されたことを特徴とする半導体素子の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、銅配線を腐食させることなく、配線金属の腐食抑制の目的で添加されている防食剤などの有機残渣、および研磨された銅配線金属の銅の残渣の除去性に優れる銅および銅合金配線半導体用の洗浄剤を提供することを目的とする。
【解決手段】 銅または銅合金配線を形成する半導体製造工程中の化学的機械的研磨工程に続く洗浄工程において使用される洗浄剤であって、HLBが15〜35であって分子内に少なくとも1個の水酸基を有するアミン(A)、HLBが10〜30であって分子内に少なくとも1個の3級アミノ基を有しかつ水酸基を含まないアミン(B)、および水を必須成分とし、使用時のpHが7.5〜13.0であることを特徴とする銅配線半導体用洗浄剤を用いる。 (もっと読む)


【課題】低温での洗浄においても、良好な洗浄力を発揮できる食器洗浄機用洗剤を提供する。
【解決手段】(A)成分:B型粘度計を用いて60rpm、20℃で測定される37質量%水性液の粘度が900〜1100mPa・sであるアクリル酸/マレイン酸共重合体又はその塩と、(B)成分:B型粘度計を用いて60rpm、20℃で測定される37質量%水性液の粘度が1100mPa・s超1700mPa・s以下であるアクリル酸/マレイン酸共重合体又はその塩とを含有し、(A)成分/(B)成分で表される質量比が1〜6であることよりなる。 (もっと読む)


【課題】クレンジング化粧料のたれ落ちがなく、塗擦による肌への負担が少ない固形の油性クレンジング化粧料でありながら、メイクアップ化粧料とのなじみ性が良く、汚れ落ちに優れ、かつ洗浄後のさっぱり感に優れる固形状油性クレンジング化粧料を提供する。
【解決手段】下記(A)〜(C)成分を含有することを特徴とする固形状油性クレンジング化粧料。
(A)融点が60〜120℃である炭化水素油 化粧料全量中に5〜15質量%
(B)エステル油を液状油全量に対して35質量%以上含有する液状油
(C)HLB値が5〜13のノニオン性界面活性剤 化粧料全量中に5〜30質量% (もっと読む)


【課題】軽油等の油が染みこんだ土壌に対する洗浄力が高く、また洗浄液から油の回収が容易な土壌洗浄剤組成物の提供。
【解決手段】アシルタウリン型陰イオン界面活性剤およびアシルアミノ酸型陰イオン界面活性剤から選ばれる1種以上である界面活性剤(A)0.1〜5質量%と、下記式(1)で示されるモノマー(b1)と無水マレイン酸(b2)との共重合体の中和塩であって、(b1)と(b2)のモル比〔(b1):(b2)〕が7:3〜3:7であり、かつ重量平均分子量が5,000〜100,000である共重合体の中和塩(B)0.1〜5質量%と、水(C)90〜99.8質量%とからなり、(A)成分と(B)成分の質量比〔(A)/(B)〕が1/1〜20/1である土壌洗浄剤組成物。


(式中R1は水素原子またはメチル基であり、R2は炭素数1〜18のアルキル基、アルコキシル基、フェニル基である。) (もっと読む)


【課題】電子部品などのアルミ使用部材やガラス使用部材等を切削・研磨した後に残る切削片、研磨材や研磨片などのパーティクル除去性に優れた水系洗浄剤組成物を提供する。
【解決手段】(a)ヒドロキシカルボン酸およびこれらの塩からなる群より選ばれた少なくとも1種0.1〜25重量%、(b)配位子数が10個以下である有機ホスホン酸およびこれらの塩からなる群より選ばれた少なくとも1種0.1〜25重量%、及び(c)配位子数が11個以上である有機ホスホン酸およびこれらの塩からなる群より選ばれた少なくとも1種0.1〜25重量%を含有するものとする。 (もっと読む)


【課題】クレンジング機能を十分に発揮させる量の油性成分や界面活性剤が配合されていたとしても、十分に増粘してジェル状とすることができるとともに、製剤安定性、使用感およびメイク除去効果に優れるジェル状クレンジング用化粧料の提供。
【解決手段】(A)非イオン性界面活性剤、(B)油剤、(C)合成ヘクトライト、(D)(メタ)アクリル酸アルキルコポリマー、並びに、(E)下記(a)と(b)からなるコポリマーおよびクロスポリマーの群から選ばれる少なくとも1種を含有してなるジェル状クレンジング用化粧料とする。
(a)(メタ)アクリル酸および/又は(メタ)アクリル酸アルキル
(b)イタコン酸ポリオキシエチレンアルキルエーテル、(メタ)アクリル酸ポリオキシエチレンアルキルエーテル又はネオデカン酸ビニル (もっと読む)


【課題】鋼板の圧延工程及び圧延された鋼板に付着する圧延油を、アルカリ洗浄液を用いて洗浄する工程を有する鋼板の製造方法であって、高速ラインにより前記洗浄を行う場合において、良好な洗浄性を保持することができる、鋼板の製造方法を提供すること。
【解決手段】前記アルカリ洗浄液として、アルカリ剤(A)、カルボン酸化合物(B−1)及び水を含有し、更に圧延油に含まれる脂肪酸及び/又は脂肪酸エステル由来の塩を1.5〜2.5重量%含有するものを用いて、鋼板の洗浄を前記アルカリ洗浄液への連続接触時間が1.0〜1.8秒間の範囲で行う。 (もっと読む)


【課題】洗浄性及び油水分離性に優れるアルカリ洗浄剤組成物を提供する。
【解決手段】アルカリ剤(A)、下記式(1)で表されるカルボン酸(B−1)、


該カルボン酸(B−1)のCOOH基をCH2OHに置換した構造で表されるアルコール(B−2)、及び水を含有し、前記カルボン酸(B−1)と、前記アルコール(B−2)との重量比{(B−1)/(B−2)}が、97/3〜25/75である、アルカリ洗浄剤組成物。この洗浄剤組成物には更に、キレート剤(C)、非イオン界面活性剤(D)及び/又は水溶性高分子カルボン酸類(E)が含有されていてもよい。 (もっと読む)


【課題】皮膚に施されたマスカラ、口紅、ファンデーション等のメイクアップ化粧料や紫外線防止化粧料を効果的に除去するとともに、洗浄後の肌にぬめり感がなく、さっぱりとした洗い上がり感を有し、さらに使用時ののびが良好なクレンジング料の提供。
【解決手段】(A)炭素数12〜20の脂肪酸塩を2〜20質量%と、(B)25℃で液状の油を5〜30質量%と、(C)(c1)、(c2)及び(c3)を構成モノマーとして含むアクリル系ポリマーを0.2〜3質量%と、(D)水とからなり、(A)、(B)、(C)及び(D)の合計含有率が、(A)+(B)+(C)+(D)=100質量%であり、(A)と(B)の質量比が、(A)/(B)=1/3〜2/1であるクレンジング化粧料。
(c1)アクリル酸又はメタクリル酸。
(c2)アクリル酸アルキル又はメタクリル酸アルキル。
(c3)アクリル酸又はメタクリル酸と、炭素数16〜22の高級アルコールにエチレンオキシドを15〜30モル付加した化合物とのエステル。 (もっと読む)


【課題】洗浄性を向上させる洗浄性向上剤及びこの洗浄性向上剤を含有する洗剤組成物を提供する。
【解決手段】特定のアミノ酸配列を有する、又はこのアミノ酸配列の1若しくは数個のアミノ酸が欠失、置換及び付加からなる群より選ばれる少なくとも1種により変質したアミノ酸配列を有するセルラーゼ(A)からなる洗浄性向上剤。この洗浄性向上剤(B)及び界面活性剤(C)を含有する洗剤組成物。好ましくはさらにプロテアーゼ(D)及びプロテアーゼ阻害剤(E)を含有する洗剤組成物。 (もっと読む)


【課題】繰り返し使用などによる茶渋汚れ等、色素汚れの発生を防止できる食器洗浄機用液体洗浄剤組成物を提供する。
【解決手段】下記一般式(1)の化合物(A)を0.1〜3重量%含有し、(A)以外の非イオン界面活性剤(B)の含有量が(A)の含有量と(B)の含有量の合計に対して20重量%以下である、食器洗浄機用液体洗浄剤組成物。
R−O−[(C24O)n/(C36O)m]−H (1)
〔式中、Rは炭素数8〜16の2級アルコールの水酸基を除いた残基であり、m、nは平均付加モル数を表し、nは3〜9、mは4〜10の数であり、m>nである。(C24O)と(C36O)の付加形態はランダム付加形態、ブロック付加形態いずれでも良い。〕 (もっと読む)


【課題】非有毒かつ環境に優しいクリーニング組成物、従来の高有機含有量系クリーニング組成物に比肩するクリーニング効率を有するクリーニング組成物を提供すること。
【解決手段】A半導体基材がアルミニウムを含む用途におけるフォトレジストおよびエッチング後/アッシング後残留物除去のための水に富んだヒドロキシルアミン調合物。クリーニング組成物は、約2〜約15wt%のヒドロキシルアミン;約50〜約80wt%の水;約0.01〜約5.0wt%の腐食防止剤;約5〜約45wt%の、:pKa<9.0を有するアルカノールアミン、水混和性溶媒、およびそれらの混合物からなる群から選択される成分を含む。そうした組成物の使用は、一方で両方の材料を含む基材でアルミニウムを保護しながら、Al基材での効率的なクリーニング能力、最小限のケイ素エッチングを示す。 (もっと読む)


【課題】食器洗浄機による食器の洗浄において、優れた洗浄力を示し、洗浄機内のスケール付着が抑制され、且つ食器の使用、洗浄の繰り返しによる色素汚れの付着遅延性にも優れた食器洗浄機用液体洗浄剤組成物を提供する。
【解決手段】(A)塩素系の漂白成分(有効塩素濃度として)0.1〜10質量%、(B)ポリカルボン酸又はその塩5〜30質量%、(C)オルト珪酸塩及びメタ珪酸塩から選ばれる1種以上1〜20質量%、(D)アルカリ金属水酸化物0〜5質量%、並びに(E)水40〜90質量%を含有し、炭酸塩の含有量が1質量%以下である食器洗浄機用液体洗浄剤組成物。 (もっと読む)


【課題】繊維製品をより白く仕上げられる漂白性組成物を提供する。
【解決手段】(A)成分:周期表の第4周期にある遷移元素の水溶性塩、亜鉛の水溶性塩又は銀の水溶性塩からなる群から選択される1種以上の水溶性金属塩と、(B)成分:長鎖アルキルアミン化合物と、(C)成分:過酸化水素又は水中で過酸化水素を生ずる過酸化物と、(D)成分:非石鹸系アニオン界面活性剤と、(E)成分:ビフェニル型蛍光剤と、を含有し、(B)成分/(E)成分で表される質量比が1.2以上であることよりなる。 (もっと読む)


【課題】貯蔵時の液体洗剤組成物中のプロテアーゼ活性が十分抑制でき、保存前と長期間保存後とを比較して、洗浄性の低下が少ない液体洗剤組成物を提供すること。
【解決手段】プロテアーゼ(A)、下記プロテアーゼ活性阻害剤(B)、界面活性剤(C)及び溶剤(D)を含有する液体洗剤組成物。
プロテアーゼ活性阻害剤(B):配列番号1〜11のいずれか1つのアミノ酸配列である、又はこのアミノ酸配列の1若しくは数個のアミノ酸が欠失、置換及び付加からなる群より選ばれる少なくとも1種により変質したアミノ酸配列であるプロテアーゼ活性阻害剤。 (もっと読む)


【課題】本発明の課題は、クレンジング効果、使用感、使用後のさっぱり感に優れ、且つ保存安定性も良好なクレンジング化粧料を提供することにある
【解決手段】
(A)トリス(トリメチルシロキシ)メチルシランと、(B)高分子増粘剤と、(C)HLB9以上の非イオン性界面活性剤とを含有するクレンジング化粧料。 (もっと読む)


【課題】セルロースアシレート製膜の流延支持体の汚れを、より短時間でより確実に除去する洗浄液及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄液として良溶媒である液体と一般式(1)の化合物とを含む。
(もっと読む)


【課題】洗浄力に優れ、かつ泡質、泡持続性に優れる液体洗浄剤を提供する。
【解決手段】特定のα−スルホ脂肪酸エステル塩(A)と、特定のα−スルホ脂肪酸ジ塩(B)と、特定のアルキルアミンオキサイド(C)と、特定の第3級アルキルアミン(D)とを含有し、(B)成分/(D)成分で表される質量比が60/40〜97/3であることよりなる。前記(A)成分の含有量は、10〜35質量%であり、(A)成分/(B)成分で表される質量比が50/50〜80/20、[(A)成分+(B)成分]/(C)成分で表される質量比が50/50〜90/10であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】洗浄力が高められた新規なジェミニ界面活性剤、その製造方法、ならびに洗浄方法の提供。
【解決手段】式(I)の化学構造を有するジェミニ界面活性剤およびその製造方法、ならびに当該ジェミニ界面活性剤を用いた洗浄方法。


(Xは、アルキレングリコール構造単位が3個以上連結した構造であり、Yは炭素数8〜16の炭化水素基、RおよびR’は互いに独立して選ばれる炭素数1〜16の炭化水素基である。なお、X以外の2個の部分において、Y、R、R’はそれぞれ互いに同一であっても異なっていてもよく、ベンゾイル基は1以上の置換基を有していてもよい。) (もっと読む)


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