Fターム[4H006AB80]の内容
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Fターム[4H006AB80]に分類される特許
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金属錯体及びそれからなる分離材
【課題】ガス等の物質を選択的に吸着できる吸着材や、分離性能の高い分離材を提供する
【解決手段】金属イオンと該金属イオンに配位可能な有機配位子とが繰り返し単位を構成する金属錯体であって、吸着されるガスの種類、吸着圧力または吸着温度により、吸着されるガスを高選択的に吸着することを特徴とする金属錯体。
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塩、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
【課題】優れたフォーカスマージンを有するレジストパターンを得ることができる塩、酸発生剤、レジスト組成物等の提供。
【解決手段】式(I)で表される塩及びこの塩を含む酸発生剤とレジスト組成物。
[式中、Q1及びQ2は、互いに独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基;L1は、2価の炭素数1〜20の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる−CH2−は、−O−又は−CO−で置き換わっていてもよい;Wは、式(W1)〜式(W5)から選ばれる式で表される基;Z1+は有機対イオンを表す。]
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レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
【課題】パターン倒れの少ないレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】(A)アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂、(B)式(II)で表される酸発生剤及び(D)式(I)で表される化合物を含有するレジスト組成物。
[式中、R1及びR2は独立に炭化水素基、アルコキシ基等;m及びnは独立に、0〜4の整数;R3及びR4は独立に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基;X1は2価の飽和炭化水素基;R5は環状エーテル構造を含む基;Z1+は有機カチオンを表す。]
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塩、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
【課題】従来から知られる酸発生剤を含有するレジスト組成物では、得られるレジストパターンのCD均一性(CDU)が必ずしも満足できない場合があった。
【解決手段】式(I)で表される塩及びそれを含むレジスト組成物。
[式(I)中、R1及びR2はフッ素原子等を表す。L1は単結合等を表す。Yは置換基を有していてもよい炭素数3〜18の一価の脂環式炭化水素基等を表す。R3、R4、R5、R6及びR7は水素原子等を表す。カチオンのSを含む脂環に含まれるメチレン基は酸素原子等で置き換わっていてもよい。nは、1〜3の整数を表す。sは、0〜3の整数を表す。R8は炭素数1〜6のアルキル基を表す。]
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塩、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
【課題】優れたフォーカスマージンを有するレジストパターンを得ることができる塩、酸発生剤、レジスト組成物等の提供。
【解決手段】式(I)で表される塩。
[式中、R1は、ヒドロキシ基又はアルキル基;R2及びR4は、それぞれ水素原子又はアルキル基;lは0〜3の整数;m及びnは、それぞれ1又は2;R3は、水素原子又はアルキル基;oは、0又は1;R5及びR6は、それぞれフッ素原子又はペルフルオロアルキル基;L1は2価の飽和炭化水素基;Yは、置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基又は置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基又は脂環式炭化水素基を表す。]
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金属錯体及びそれからなる分離材
【課題】優れたガス分離性能を有する金属錯体を提供すること。
【解決手段】5−シアノイソフタル酸と、周期表の2族及び7〜12族に属する金属のイオンから選択される少なくとも1種の金属イオンと、該金属イオンに二座配位可能な有機配位子とからなる金属錯体によって上記課題を解決する。
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レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
【課題】優れた解像度及びラインエッジラフネス(LER)を有し、且つ欠陥が少ないレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】(A1)式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(A2)アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂及び(B)酸に不安定な基を有する酸発生剤を含有するレジスト組成物。
[式(I)中、R1は、水素原子又はメチル基を表す。A1は、炭素数1〜6のアルカンジイル基を表す。R2は、フッ素原子を有する炭素数1〜10の炭化水素基を表す。]
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レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
【課題】パターン倒れ及び欠陥の少ないレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】(A1)式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(A2)アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂及び(B)式(II)で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。
[式中、R1は水素原子又はメチル基;A1はアルカンジイル基;R2はフッ素含有炭化水素基;R3及びR4は、互いに独立に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基;X1は飽和炭化水素基を表し、該基に含まれる水素原子は、フッ素原子で置換されていてもよく、該基に含まれる−CH2−は−O−又は−CO−で置き換わっていてもよい;R5は、環状エーテル構造を含む基;Z1+は有機カチオンを表す。]
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含臭素有機化合物、含臭素有機化合物含有組成物およびその製造方法
【課題】樹脂に配合した場合に、高い難燃性および熱安定性を付与しうる含臭素有機化合物を提供する。
【解決手段】下式1で示される含臭素有機化合物、該含臭素有機化合物を含有する難燃剤、並びに該難燃剤と樹脂とを含有する難燃性樹脂組成物。
(式中、Aは−CH2−、−C(CH3)2−および−S−のいずれかを表し、R1およびR2はそれぞれ水素原子または炭素数1〜6の飽和炭化水素基を表し、R3は炭素数1〜6の飽和炭化水素基を表し、Yはハロゲン原子を表し、mおよびnはそれぞれ1〜4の整数を表す。)
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化学増幅レジスト材料及びパターン形成方法
【課題】高い解像性と良好な保存安定性を与え、電子線、遠紫外線、極紫外線などを用いた微細加工に有用な化学増幅レジスト材料の提供。
【解決手段】(A)式(1)の3級アミン化合物(B)式(2)の酸発生剤、(C)酸不安定基で保護された酸性官能基を有するアルカリ現像液不溶又は難溶の樹脂であって、該酸不安定基が脱保護されたときにアルカリ現像液可溶となるベース樹脂、(D)有機溶剤を必須成分として含有する化学増幅レジスト材料。
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CO2吸収材及びその製造方法
【課題】ハンドリング性が高く、CO2吸収性が良好なCO2吸収材、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】CO2吸収材であって、アミノ基含有架橋重合体と、下記一般式(1)
(式中、R1、R2は独立に水素原子、又は、ヒドロキシ基又はアミノ基で置換されてもよい炭素数1〜4の直鎖又は分岐アルキル基を示し、Xは基中にエーテル結合を含んでいてもよい炭素数2〜4の直鎖又は分岐アルキレン基を示す。)で示されるアルカノールアミンの極性溶媒溶液とを含むアミノ基含有架橋重合体膨潤ゲルを有することを特徴とする、CO2吸収材。
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ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド、ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩、およびペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法
【課題】ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを精製し、ペルフルオロスルホランを除去した、高純度のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを提供する。
【解決手段】ペルフルオロスルホランの含有量が質量基準で100ppm以下であるペルフルオロブタンスルホニルフルオリド。1,1,2,2,3,3,4,4−オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量が質量基準で100ppm以下であるペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩、およびペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中に、アルカリ金属水酸化物の水溶液を添加してペルフルオロスルホランを除去するペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法。
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アミド含有スルフィド化合物、並びにその製造方法及び用途
【課題】高濃度の白金イオンを含有する溶液から選択的にパラジウムイオンを分離する抽出剤又は吸着剤及び当該吸着剤を用いたパラジウムイオンの分離回収方法を提供する。
【解決手段】下記一般式(1)で示されるアミド含有スルフィド化合物を含んでなるパラジウムイオン抽出剤、又は下記一般式(1)で示されるアミド含有スルフィド化合物を担体に固定化させたパラジウムイオン吸着剤を用いて、パラジウムイオンを選択的に分離回収する。
(式中、Rは各々独立して、メチル基、エチル基、炭素数3〜18の鎖式炭化水素基、炭素数3〜10の脂環式炭化水素基、又は炭素数6〜14の芳香族炭化水素基を表し、nは各々独立して、1〜4の整数を表し、Lはメチレン基、エチレン基、炭素数3〜8の直鎖、分岐若しくは環状アルキレン基、又は炭素数6〜14のアリーレン基を表す。)
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化合物、樹脂組成物、及び樹脂成形体
【課題】樹脂の難燃性を発現させる化合物、樹脂と該化合物とを含む樹脂組成物、および該樹脂組成物を含む樹脂成形体の提供。
【解決手段】例えば木質資源であるリグニンを出発物質として合成(誘導)される特定の炭酸エステル誘導体。
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ポジ型化学増幅レジスト材料、パターン形成方法及び酸分解性ケトエステル化合物
【解決手段】一般式(1)で表される、アルカリ現像液不溶であって、酸の作用によりアルカリ現像液可溶となる、ステロイド骨格を有する酸分解性ケトエステル化合物の1種又は2種以上を含有するポジ型化学増幅レジスト材料。
(R1は、炭素原子数と酸素原子数の和が6〜20の、酸の作用により−COOR1が分解してカルボキシル基を生じる酸不安定基を表す。Xはそれぞれ独立に、カルボニル基(−CO−)又はメチレン基(−CH2−)を表す。Yはそれぞれ独立に、単結合、又は炭素数1〜6のアルキレン基を表す。nは0〜2の整数である。)
【効果】高い解像性と良好なLER(パターンラインエッジラフネス)を与えるものであり、電子線、遠紫外線、極端紫外線などを用いた微細加工に有用である。
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貴金属イオンを含む溶液からの貴金属の回収方法、それに用いる逆抽出剤及び脱着剤
【課題】貴金属イオンを含む溶液からの貴金属の回収方法、それに用いる抽出剤若しくは吸着剤、及び逆抽出剤若しくは脱着剤を提供する。
【解決手段】貴金属イオンを抽出又は吸着した抽出剤又は吸着剤を、下記一般式(1)
(上記式(1)中、R1はメチル基、エチル基、ビニル基、炭素数3〜8の直鎖、分岐若しくは環状の炭化水素基、又は炭素数6〜14の芳香族炭化水素基を表し、R2は各々独立して、水素原子、メチル基、エチル基、ビニル基、炭素数3〜8の直鎖、分岐若しくは環状の炭化水素基、又は炭素数6〜14の芳香族炭化水素基を表し、nは0又は1を表す。)で表される含硫黄アミノ酸誘導体を含む逆抽出剤又は脱着剤と接触させて貴金属を得る。
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塩、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
【課題】優れたラインエッジラフネス(LER)を有するレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される塩、これを含む酸発生剤及びこの酸発生剤を含むレジスト組成物。
[式中、Q1及びQ2は、互いに独立に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基;L1は、2価の飽和炭化水素基、該基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置き換わっていてもよい;環Wは、2価の脂肪族環、該環に含まれるメチレン基は、酸素原子、硫黄原子等で置き換わっていてもよく、該環に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、アルキル基、アルコキシ基、脂環式炭化水素基又は芳香族炭化水素基で置換されていてもよい;sは0〜3の整数;R1は、脂肪族炭化水素基;Z+は有機対イオンを表す。]
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塩及びレジスト組成物
【課題】優れたラインウィズスラフネス(LWR)を有するパターンを得ることができる
レジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される塩。[R1、R2及びR3は水素原子又は炭素数1〜12の炭化水素を表すか、R2及びR3は互いに結合して炭素原子とともに炭素数3〜20の環を形成する。R4及びR5は水素原子、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。X1は2価の炭素数1〜17の炭化水素基を表し、前記2価の炭化水素基に含まれる−CH2−は、−O−、−S−又は−CO−で置き換わっていてもよい。また、前記2価の炭化水素基に含まれる水素原子は、−OHで置き換わっていてもよい。R6は水素原子又は炭素数1〜12の炭化水素を表す。A+は有機カチオンを表す。]
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スルホン化合物、スルホン化合物の製造方法、および電気化学デバイス用電解液
【課題】融点が比較的低く、熱的安定性に優れ、さらに水の溶解度が低く、高い分解電圧特性を有する非プロトン性極性溶媒に有用な新規のスルホン化合物を提供する。また、該スルホン化合物の製造方法、および該スルホン化合物を用いて製造される電気化学デバイス用電解液を提供する。
【解決手段】式(1)で表されるスルホン化合物。
[化1]
式(1)中、Rは炭素数1〜6のアルキル基を示す。
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色素増感太陽電池用電解質組成物とその用途
【課題】大気圧における沸点が200℃以上であるニトリル化合物を溶媒とすることで、耐久性に優れた色素増感太陽電池用電解質組成物及び色素増感太陽電池を提供する。
【解決手段】下記式(1)で表されるニトリル化合物
(式中、R1は炭素数1〜6のアルキル基、炭素数2〜6のアルケニル基、アラルキル基、アリール基を示す)、又は/及び、下記式(2)で表されるアルコキシニトリル化合物
(R2は炭素数1〜4のアルキル基、炭素数2〜4のアルケニル基、アラルキル基、アリール基を示す)と酸化還元対を含む色素増感太陽電池用電解質組成物、及びそれを用いた色素増感太陽電池。
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