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Fターム[4H006KA10]の内容

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Fターム[4H006KA10]に分類される特許

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【解決手段】一般式(1)で表される、アルカリ現像液不溶であって、酸の作用によりアルカリ現像液可溶となる、ステロイド骨格を有する酸分解性ケトエステル化合物の1種又は2種以上を含有するポジ型化学増幅レジスト材料。


(R1は、炭素原子数と酸素原子数の和が6〜20の、酸の作用により−COOR1が分解してカルボキシル基を生じる酸不安定基を表す。Xはそれぞれ独立に、カルボニル基(−CO−)又はメチレン基(−CH2−)を表す。Yはそれぞれ独立に、単結合、又は炭素数1〜6のアルキレン基を表す。nは0〜2の整数である。)
【効果】高い解像性と良好なLER(パターンラインエッジラフネス)を与えるものであり、電子線、遠紫外線、極端紫外線などを用いた微細加工に有用である。 (もっと読む)


【課題】 熱分解性が高いシュウ酸エステル体を高収率で反応させることができ、更に反応終了後にシュウ酸エステル体生成物から固体酸触媒を容易に除くことのできる形状の固体酸触媒を用いたシュウ酸エステル体の製造方法を提供すること。
【解決手段】 エステル化反応触媒の存在下にシュウ酸とアルコールを反応させてシュウ酸エステル体を製造する方法において、該エステル化反応触媒が、
1)加圧成型時の圧力が5〜100N/cmである加圧成型法により得られる固体酸触媒を含有する成型体であるエステル化反応触媒、又は
2)固体酸触媒が支持構造体上にバインダーを介して固定化されたエステル化反応触媒であり、且つ、
前記1)及び2)における固体酸触媒が、担体としてのジルコニアにモリブデン酸化物を担持させて得られ、ハメットの酸度関数(H)が−3〜−9であることを特徴とするシュウ酸エステル体の製造方法。 (もっと読む)


本発明は、気相中で酢酸から酢酸ビニルモノマー(VAM)を製造するための統合された2段階の経済的なプロセスを提供する。第1に、単一の反応器区域内か、又は中間体水素化生成物に脱水及び/又はクラッキングのいずれかを行ってエチレンを形成する2重反応器区域内のいずれかにおいて、酢酸を水素化触媒組成物上で選択的に水素化してエチレンを形成する。続く第2段階においては、かくして形成されるエチレンを、好適な触媒上で分子状酸素及び酢酸と反応させてVAMを形成する。本発明の一態様においては、水素化触媒上での酢酸と水素との反応及び脱水触媒上でのその後の反応によってエチレンを選択的に製造し、これを更に酢酸及び分子状酸素と混合し、担持パラジウム/金/カリウム触媒上で反応させる。 (もっと読む)


一般式(I)の4−アミノブタ−2−エノリド化合物を調製する方法が開示されており、ここで、該方法は、一般式(II)の化合物を一般式(III)のアミンと反応させることを特徴とする。

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【課題】貴金属元素成分の反応系中への溶出を十分に抑制し、しかも、ベンジル化合物の転化率を維持しつつ、より高い選択率でカルボン酸ベンジルエステル類を得ることが可能な酸化反応用触媒を提供すること。
【解決手段】無機担体と、前記無機担体に担持された下記一般式(1):
Pd−Te−X ・・・(1)
(式中、XはBi、Ir、Sb、Rh、Ptからなる群から選択される少なくとも一種の元素を表し、a及びbはそれぞれPd元素に対するTe元素及びXで表される元素のモル比を表し、且つ下記数式(2)及び(3):
0.01 ≦ a ≦ 0.4 ・・・(2)
0.01 ≦ b ≦ 0.75 ・・・(3)
で表される条件を満たす。)
で表される金属元素組成物とを備えることを特徴とする酸化反応用触媒。 (もっと読む)


【課題】p−キシレンと酢酸とを反応させてp−キシリレンジアセテートを十分な収率で選択率高く製造することを可能とする酸化反応用触媒の製造方法を提供すること。
【解決手段】酸化的雰囲気下において、パラジウムカルボニルアセテート錯体及び/又はパラジウムカルボニルアセテートフェナントロリン錯体を含む溶液に、酸化チタンからなる担体と、界面活性剤と、金属硝酸塩とを添加して、クラスター表面において酸化状態が0価、1価及び2価のパラジウムが共存するパラジウムクラスターが前記担体に担持されてなる酸化反応用触媒を得ることを特徴とする酸化反応用触媒の製造方法。 (もっと読む)


【課題】原料としてキシレンとカルボン酸とを用いた場合にエステル化反応を効率よく進行させることができ、キシリレンエステル類を高収率で製造することが可能な酸化反応用触媒、その製造方法およびそれを用いたキシリレンエステル類の製造方法を提供すること。
【解決手段】酸化的雰囲気下において、パラジウムカルボニルアセテート錯体及び/又はパラジウムカルボニルアセテートフェナントロリン錯体を含む溶液に、硝酸コバルト及び/又は硝酸マンガンを添加して、クラスター表面において酸化状態が0価、1価及び2価のパラジウムが共存するパラジウムクラスターを含有する酸化反応用触媒を得ることを特徴とする酸化反応用触媒の製造方法。 (もっと読む)


【解決手段】 下記一般式(1)で表されるエステル化合物。
【化13】


(式中、R1はフッ素原子、又は炭素数1〜10の直鎖状、分岐状又は環状のフッ素化アルキル基を示す。R2は炭素数1〜10の直鎖状、分岐状又は環状のアルキレン基又はフッ素化アルキレン基を示す。R3は酸不安定基を示す。)
【効果】 本発明の重合性エステル化合物から得られる高分子化合物を用いたレジスト材料は、ArF露光において優れた解像性と透明性、小さいラインエッジラフネス、優れたエッチング耐性、特にエッチング後の表面ラフネスが小さい特性を有している。また、投影レンズとウエハー間に液体を挿入して露光を行うArF液浸リソグラフィーでも同様の高い性能を発揮できる。 (もっと読む)


式(1)の化合物であって、R1、R2、X、Y、およびZが説明文中に定義された通りである化合物、これら化合物を調製するための方法、異脂肪血症、アテローム性動脈硬化症、および糖尿病を治療するためのこれら化合物の使用、およびこれら化合物を含む医薬品組成物。
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