【課題】ＫｒＦエキシマレーザー、極端紫外線、電子線またはＸ線等の放射線に感応する化合物の提供。
【解決手段】式（７−１）で表される化合物。


（式中、Ｒ１は、酸解離性官能基であり、同一でも異なっていてもよく、Ｒ２Ｂは、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基などからなる群から選ばれる置換基を表し、同一でも異なっていてもよく、Ｒ３、Ｒ７は、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基であり、Ｒ４Ｂは、ナフタレン構造を有する炭素数１０〜２０の二価の置換基であり、ｋ０、ｊ０、ｍ０、ｎ０、ｋ１、ｊ１、ｍ１、ｎ１は０〜３の整数であり、ｋ２、ｊ２、ｍ２、ｎ２は０〜４の整数である。） （もっと読む）

本発明は、炭酸ジアルキルおよびアリールアルコールから炭酸ジアリールを調製する方法であって、（ａ）炭酸ジアルキルおよびアリールアルコールを第１の反応蒸留塔に導入するステップ、（ｂ）炭酸ジアルキルおよびアルキルアルコールを含む上流ならびに炭酸アルキルアリール、アリールアルコールおよび炭酸ジアルキルを含む底流を、第１の反応蒸留塔から回収するステップ、（ｃ）第１の反応蒸留塔からの底流を、第２の反応蒸留塔に導入するステップ、（ｄ）炭酸ジアルキルを含む上流ならびに炭酸アルキルアリール、炭酸ジアリールおよびアリールアルコールを含む底流を、第２の反応蒸留塔から回収するステップ、（ｅ）第２の反応蒸留塔からの底流を第３の反応蒸留塔に導入するステップ、ならびに（ｆ）アリールアルコールを含む上流および炭酸ジアリールを含む底流を、第３の反応蒸留塔から回収するステップ、を含み、第３の反応蒸留塔からの上流を第２の反応蒸留塔に再利用する方法に関する。
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【課題】熱変性しにくいジアルキルスズジアルコキシドを提供すること。
【解決手段】本発明は、下記式（１）で表される新規なジアルキルスズジアルコキシドである。
【化１】
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