【課題】有機金属化合物の非常に高純度な精製方法を提供する。
【解決手段】ストリッピングカラムおよびガス流れを用いて粗有機金属化合物を精製する。具体的には、（ａ）液相の粗有機金属化合物を提供し、（ｂ）第１の入口１５及び第１の出口２０を伴う第１の部分１２、並びに第２の入口２５及び第２の出口３０を伴う第２の部分１４を有するストリッピングカラム１０を提供し、（ｃ）前記液相の粗有機金属化合物を前記第１の入口から前記ストリッピングカラムの第１の部分に供給し、（ｄ）ガス流れを前記第２の入口から前記ストリッピングカラムの第２の部分に供給し、（ｅ）前記粗有機金属化合物を、前記ストリッピングカラムを通して前記ガス流れの流れと反対に向かわせ、（ｆ）液相の精製された有機金属化合物を前記第２の出口から集めることにより、有機金属化合物と比較して相対的により揮発性の不純物を除去する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造における成膜原料として有用なトリメチルシランに含まれる不純物である含塩素化合物を簡便に高収率で除去する精製方法を提供する。
【解決手段】不純物を含むトリメチルシランをｐＨ２からｐＨ４の吸収溶液に接触させることによりトリメチルシラン中の含塩素化合物を吸収除去する。 （もっと読む）