【課題】微細パターン形成時のラインエッジラフネス及びデフォーカスラチチュードを改良することができる樹脂、ポジ型感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法、及びその樹脂の製造方法の提供。
【解決手段】モノマー溶液（Ａ）と重合開始剤を、モノマー溶液（Ｂ）に連続的に添加しながら共重合する工程を含み、モノマー溶液（Ａ）のみで重合を行った場合の重合速度が最も速いモノマー成分を（Ｐ）、最も遅いモノマー成分を（Ｑ）とし、モノマー溶液（Ａ）及びモノマー溶液（Ｂ）中の（Ｐ）の割合（モル％）をそれぞれＰａ及びＰｂ、モノマー溶液（Ａ）及びモノマー溶液（Ｂ）中の（Ｑ）の割合（モル％）をそれぞれＱａ及びＱｂとすると、Ｐａ＞Ｐｂ且つＱｂ＞Ｑａである条件で製造され、かつ、分散度が１．５以下である、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂。 （もっと読む）