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Fターム[4J011UA04]の内容

重合方法(一般) (57,023) | 波動エネルギー、粒子線の種類、照射装置、前後処理 (1,816) | α、β、γ、Χ線等の放射線 (76)

Fターム[4J011UA04]に分類される特許

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【課題】パターン欠陥の少ないパターンを形成可能なインプリント用硬化性組成物の提供。
【解決手段】(A)重合性化合物および(B)光重合開始剤を含有するインプリント用硬化性組成物であって、溶剤を除く全成分の合計重量に対する含有水分の割合が0.8重量%未満であるインプリント用硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】人工容器内に配設されている媒質中に変化を引き起こすための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】この方法では、プラズモニクス作用物質とエネルギー変調作用物質のうちの少なくとも一方を媒質に近接して配置する。この方法は、人工容器を通して開始エネルギーを媒質に印加する。開始エネルギーは、プラズモニクス作用物質またはエネルギー変調作用物質と相互作用して、媒質の変化を直接的にまたは間接的に発生させる。システムは、開始エネルギーを媒質に印加しプラズモニクス作用物質またはエネルギー変調作用物質を活性化させるように構成された開始エネルギー源を備える。 (もっと読む)


【課題】良好な現像時間依存性を以って、超微細の孔径を有し、かつ、真円性に優れるホールパターンの提供。
【解決手段】(P)下記一般式(I)で表される繰り返し単位(a)を有する樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により有機酸を発生する化合物、及び、(C)活性光線又は放射線の照射により塩基性が低下する、塩基性化合物又はアンモニウム塩化合物を含有する組成物であって、前記化合物(C)の前記化合物(B)に対するモル比率[C]/[B]が0.4以上である、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイス。


上記一般式(I)中、Rは、水素原子又はメチル基を表す。R、R及びRは、各々独立に、直鎖状又は分岐状のアルキル基を表す。 (もっと読む)


【課題】有機溶剤現像によるネガ型パターン形成において、現像後のパターン倒れ及びブリッジ欠陥の発生を抑え、残膜率も大きい感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、及び電子デバイスを提供する。
【解決手段】下記一般式(I)で表される繰り返し単位(a)を有する樹脂(P)、
特定の一般式(B−1)〜(B−3)のいずれかで表される化合物(B)、及び溶剤
を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。


上記一般式(I)中、Rは、水素原子又はメチル基を表す。
、R及びRは、各々独立に、直鎖状又は分岐状のアルキル基を表す。 (もっと読む)


【課題】封止性、電解液に対する耐性、高温での接着力、耐透湿性、スクリーン印刷適性などの諸特性に優れ、特に、湿式有機太陽電池の高温での電解液封止性に優れた光硬化性組成物を提供すること。
【解決手段】炭素数15以上の脂環族または脂肪族単官能(メタ)アクリレート100質量部に対して、多官能(メタ)アクリレート0.1〜10質量部、光重合開始剤0.1〜10質量部、脂環族飽和炭化水素樹脂50〜200質量部、及び充填剤10質量部以上を含有する光硬化性組成物であって、該脂環族飽和炭化水素樹脂の含有割合と該充填剤の含有割合との合計が70質量部以上であることを特徴とする光硬化性組成物;その湿式有機太陽電池用シーリング材としての使用、並びに、湿式有機太陽電池、特に、色素増感型太陽電池。 (もっと読む)


【課題】g線及びh線に対する露光感度が高く、かつ、主PSとサブPSの両方の形状に優れたスペーサを提供する。
【解決手段】(A)光重合開始剤、(B)溶剤、(C)重合性モノマーおよび(D)アルカリ可溶性樹脂を含み、(A)光重合開始剤として、1種以上のO−アシルオキシムエステル化合物と、1種以上のα−アミノアセトフェノン化合物を含み、同時に2種以上の独立したパターンの形成が可能であることを特徴とする感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】多孔質膜に、吸着膜として適したグラフト鎖を形成させる場合、競争反応であるモノマーどうしのラジカル重合を抑えることが必要となる。
【解決手段】高分子を含む多孔質基材にグラフト鎖を導入する方法であって、多孔質基材を、ラジカル重合性モノマーを含む溶液中に浸漬させる浸漬工程と、浸漬状態のまま、多孔質基材に放射線照射を行い、多孔質基材にラジカル重合性モノマーをグラフト重合させて、多孔質基材にグラフト鎖を形成させる照射グラフト工程と、を含み、ラジカル重合性モノマーを含む溶液が、第1級又は第2級の1価の低級アルコールを40〜70vol%含む溶媒を含む、多孔質基材にグラフト鎖を導入する方法。 (もっと読む)


【課題】ナノインプリント法によるパターン形成において、モールド充填性に優れるナノインプリント用感放射線性組成物、及びこれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】同一又は異なる分子中に芳香環及びフッ素原子を含み、フッ素原子に対する芳香環のモル比が6.0以下であるナノインプリント用感放射線性組成物である。上記ナノインプリント用感放射線性組成物は、[A]下記式(1)で表される重合性化合物を含有することが好ましく、また、[B]フッ素化アルキル基を有する特定の構造のアルコールのアクリレートからなる群より選択される少なくとも1種の重合性化合物をさらに含有することが好ましい。
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【課題】高速でパターン転写を行っても良好なパターン形成性を有し、欠陥が少なく、基板加工用途に用いた際にエッチング後のラインエッジラフネスが良好であるインプリント用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】重合性単量体(A)を少なくとも1種と、光重合開始剤(B)とを含有するインプリント用硬化性組成物であって、前記重合性単量体(A)が、水素結合性官能基と含フッ素基を有する重合性単量体(Ax)を含有することを特徴とするインプリント用硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】ポリアミドイミドが有する物性を保ちつつ、構造中にカルボン酸を有する、フォトレジスト用のバインダー樹脂として使用可能なポリアミドイミド前駆体を開発する
【解決手段】
トリレンジイソシアネート、4,4′‐ジフェニルメタンジイソシアネート、1,5−ナフタレンジイソシアネートおよび/またはトリジンジイソシアネートから選ばれるジイソシアネートと無水トリメリット酸の縮合物(A)と、ジアミン(B)を反応させることで得られるポリアミドアミック酸。 (もっと読む)


【課題】機械的手段あるいは化学的手段による接触をせず加工される表面に微細構造を形成することができる微細構造の製造方法及びその微細構造を提供する。
【解決手段】複数の官能基を有すると共に官能基当量が70〜700g/molの光硬化性化合物を少なくとも一つ含む光硬化性層22を基板21に形成する形成工程と、光硬化性層にパターンマスク31を配置する配置工程と、パターンマスク31を介して第一の光源11を用いて光硬化性層22を露光して、光硬化性層22における第一の領域221を硬化させる第1の露光工程と、パターンマスク31を除去する除去工程と、第二の光源12を用いてパターンマスク31が除去された光硬化性層22を露光して、光硬化性層22において硬化されていない第二の領域222を硬化させる第2の露光工程とを備えることを特徴とする微細構造の製造方法の提供。 (もっと読む)


【課題】基板との密着性に優れた光硬化性組成物を提供する。
【解決手段】(A)光重合性単量体と、(B)光重合開始剤と、(C)シランカップリング剤と、(D)重量平均分子量が30〜1000である酸とを含む、光硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】本発明は、高い放射線感度を有し、また塗布ムラのない高度な平坦性(膜厚均一性)を有する表示素子用スペーサーを形成でき、さらに高速塗布が可能な感放射線性組成物、表示素子用スペーサー及びその形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、[A](メタ)アクリロイル基及びカルボキシル基を含有する芳香族樹脂、[B]重合性不飽和化合物、[C]感放射線性重合開始剤、並びに[D]有機溶媒を含有し、固形分濃度が10質量%以上30質量%以下であり、25℃における粘度が2.0mPa・s以上10mPa・s以下であり、かつ[D]有機溶媒として、少なくとも(D1)20℃における蒸気圧が0.1mmHg以上1mmHg未満の有機溶媒を含む感放射線性組成物である。 (もっと読む)


【課題】保存安定性と低温焼成を両立し、かつ充分な放射線感度を有する感放射線性樹脂組成物、及び硬化膜としての要求特性である耐熱性、耐薬品性、透過率、平坦性、電圧保持率、耐線熱膨張性等に優れる硬化膜、硬化膜の形成方法、及び表示素子の提供
【解決手段】[A]エポキシ基を有する重合体、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、[C]感放射線性重合開始剤、並びに[D]下記式(1)〜(3)で表される化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】外観が良好であり、安全な透明樹脂板の連続的製造方法を提供する。
【解決手段】移送される帯状体にメチルメタクリレートを30質量%以上含有する重合性液体を供給し、前記帯状体上に展延した前記重合性液体の上に活性エネルギー線透過性フィルムを繰り出しながら被せ、前記フィルムの上から照射強度1mW/cm〜30mW/cmの活性エネルギー線を照射して前記重合性液体を硬化させる透明樹脂板の連続的製造方法であって、
前記重合性液体の帯状体への供給部、および活性エネルギー線透過性フィルム繰り出し部を非密閉型クリーンブース内に配設し、前記クリーンブース上方からクリーンブース内へクリーンエアを、特定の換気回数となるように供給し、かつ排気風量に対する供給風量の比Xが特定範囲となるように供給する透明樹脂板の連続的製造方法。 (もっと読む)


【課題】ロール・ツー・ロールでの加工によってハードコート層や低屈折率層を形成したフィルム基材を巻取る際に生じるブロッキングや巻ズレといった巻異常を防止し、コスト面、製造面からの負荷が小さい巻異常の防止手段を提供する。
【解決手段】フィルム基材1の少なくとも片面に、ハードコート層2を備えるハードコートフィルム4が、ハードコート層2の幅方向の両端に、1または2以上の帯状の端部ハードコート層3を備え、端部ハードコート層3の膜厚が、ハードコート層2の膜厚より大きい。 (もっと読む)


【課題】力学特性と現像マージンとを両立することができる感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を硬化して得られた硬化膜、及び、前記硬化膜を具備する液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】(成分A)カルボキシ基及び/又はフェノール性水酸基がアセタール又はケタールで保護された残基を有する構成単位(a1)、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有する構成単位(a2)、並びに、カルボキシ基及び/又はフェノール性水酸基を有する構成単位(a3)を含む共重合体、(成分B)感放射線性ラジカル重合開始剤、(成分C)エチレン性不飽和化合物、並びに、(成分D)溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を硬化して得られた硬化膜、並びに、前記硬化膜を具備する液晶表示装置。 (もっと読む)


【課題】 本発明の課題は、優れた耐熱性を有し、かつ、希アルカリ水溶液でのパターニングが可能で、しかも、溶剤として通常の有機溶剤を使用することもでき、さらに、アルカリ現像時の現像残渣を低減することが可能な活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 カルボキシ基及び/又は酸無水物基を有する分岐ポリイミド樹脂(1)、エポキシ化合物(2a)と不飽和モノカルボン酸(2b)とのエステル化物に、2個以上のカルボキシ基を有するポリカルボン酸の酸無水物(2c)を反応させて得られたカルボキシ基を有する重合性樹脂(2)及び有機溶剤(3)を含有する活性エネルギー線硬化型樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】感度を損なうことなく、解像性、ラフネス特性、パターン形状及びアウトガス特性を改良した感活性光線性または感放射線性樹脂組成物及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】活性光線または放射線の照射により酸を発生するアリールスルホニウム塩であり、少なくとも1つのアリール環上に電子供与性基を合計1つ以上有し、且つ活性光線または放射線の照射により発生する酸の体積が240Å以上であるアリールスルホニウム塩を含有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】 高い寸法安定性と十分な機械強度を有し、しかも優れた低誘電率の達成が可能なポリイミド多孔質体を形成できるポリイミド前駆体及びその組成物、及びそれを用いたポリイミド多孔質体を提供する。
【解決手段】 テトラカルボン酸二無水物とジアミンが縮合重合してなるポリイミド前駆体分子鎖中に、熱分解温度が350℃以下の有機ポリマー基が導入されている。該有機ポリマー基は、ウレタン結合又はウレア結合を介して、前記ポリイミド前駆体分子鎖中に導入されていることが好ましく、さらにポリアルキレングリコールの反応残基であることが好ましい。また、前記有機ポリマー基は、前記ジアミン又はテトラカルボン酸二無水物とウレタン結合又はウレア結合している連結基に結合していてもよい。 (もっと読む)


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