Fターム[4J030CC06]の内容
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ケイ素含有レジスト下層膜形成用組成物及びパターン形成方法
【課題】ネガ現像において得られる親水性有機化合物で形成されるレジストパターンに適用出来るだけでなく従来のポジ現像で得られる疎水性化合物からなるレジストパターンにも適用出来るレジスト下層膜を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも、下記一般式(1)で示される有機ホウ素化合物及びその縮合物からなる群から選ばれる化合物(A)一種以上と、下記一般式(2)で示されるケイ素化合物(B)一種以上とを含む混合物の縮合物及び/又は加水分解縮合物を含有するものであることを特徴とするケイ素含有レジスト下層膜形成用組成物。
R1m0B(OH)m1(OR)(3−m0−m1) (1)
R10m10R11m11R12m12Si(OR13)(4−m10−m11−m12) (2)
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ボロン酸エステル型高分子微粒子、及び貴金属ナノ粒子担持ボロン酸エステル型高分子微粒子複合体、芳香族ニトロ化合物の選択的水素化触媒並びにそれらの製造方法
【解決課題】金ナノ粒子又はクラスターの触媒活性を活用するための高分子担体、金ナノ粒子を高分子担体に担持させた芳香族ニトロ化合物の選択的水素化触媒、及びこれらの製造方法を提供する。
【解決手段】ベンゼン−1,4−ジボロン酸とペンタエリスリトールとをTHF存在下で混合して形成されるボロン酸エステル型高分子微粒子。当該ボロン酸エステル型高分子微粒子に金ナノ粒子を担持させた芳香族ニトロ化合物の選択的水素化触媒。
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レジスト下層膜形成用組成物、及びパターン形成方法
【課題】ネガ現像において得られるレジストパターンに適用できるだけでなく、ポジ現像で得られるレジストパターンにも適用できるレジスト下層膜形成用組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(A)一般式(1)で表される加水分解性ケイ素化合物と一般式(2)で表される加水分解性化合物とを含有する混合物を加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物、及びR1m1R2m2R3m3Si(OR)(4−m1−m2−m3)(1)U(OR4)m4(OR5)m5(2)(B)一般式(3)で表される加水分解性ケイ素化合物と一般式(4)で表される加水分解性ケイ素化合物とを含有する混合物を加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物、R6m6R7m7R8m8Si(OR9)(4−m6−m7−m8)(3)Si(OR10)4(4)を含むケイ素含有レジスト下層膜形成用組成物。
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パターン形成方法及びこれに用いるケイ素含有膜形成用組成物
【課題】有機溶剤現像によるネガ型レジストパターンの形成方法として最適なパターン形成方法、及び該プロセスで使用されるケイ素含有膜形成用組成物を提供する。
【解決手段】(A)下記一般式(A−1)、下記一般式(A−2−1)、及び下記一般式(A−2−2)で表される反応性化合物及び/又はこれらの加水分解物、縮合物、加水分解縮合物の各々からなる群から選ばれる各々の1種以上の化合物、からなる混合物を加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物、(R2)m2(OR3)(3−m2)Si−R1−Si(R4)m4(OR5)(3−m4)(A−1)R11m11R12m12R13m13Si(OR14)(4−m11−m12−m13)(A−2−1)U(OR21)m21(OR22)m22(O)m23/2(A−2−2)(B)有機溶剤を含む組成物によるケイ素含有膜上に、有機溶剤現像のフォトレジストでネガ型パターンを得る。
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新規物質及び熱硬化性組成物
【課題】ポリエステルアミド酸系熱硬化性組成物の硬化物の持つ耐熱性を維持しつつ、平坦性の良い硬化膜を形成することができる熱硬化性組成物を提供すること、ならびに低温硬化性に優れた熱硬化性組成物を提供すること。
【解決手段】ジカルボン酸無水物(a1)、下記一般式(1)で表されるアミノ化合物(a2)、アミノ化合物(a2)以外の加水分解可能なケイ素化合物(a3)及び金属アルコキシド(a4)を反応させて得られる反応生成物(A)。
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ボラジン系樹脂組成物、絶縁被膜及びその形成方法
【課題】金属性不純物が少なくリーク電流の発生を十分に抑制できる絶縁被膜を有効に形成できるボラジン系樹脂組成物の製造方法を提供すること。
【解決手段】B,B’,B’’−トリアルキニルボラジン類とヒドロシラン類とを、固体触媒の存在下に重合させる第1の工程と、第1の工程を実施した後に、固体触媒を除去する第2の工程と、を備え、固体触媒が、白金アルミナ等であり、ヒドロシラン類が、下記式(2);
で表されるもの等である方法により、主鎖又は側鎖にボラジン骨格を有する重合体を製造し、重合体と、該重合体を溶解可能な溶剤とを含むボラジン系樹脂組成物を得る、ボラジン系樹脂組成物を製造する方法。
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有機エレクトロルミネッセンス素子、その製造方法、照明装置及び表示装置
【課題】従来の有機EL素子材料に比べてより溶媒に対する安定性が高く、ウェットプロセスで使用可能な有機エレクトロルミネッセンス素子材料を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子、照明装置及び表示装置を提供する。
【解決手段】陽極と陰極の間に挟持された複数の有機層を有し、かつ、該有機層の少なくとも1層に下記一般式(1)で示される繰返し単位からなる高分子電子輸送材料を含有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子、その製造方法、照明装置及び表示装置。
【化1】
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複合材料の製造方法
本発明は、a)少なくとも1つの無機相または有機金属相と、b)有機ポリマー相とで構成されたナノ複合材料を製造するための方法に関する。前記方法は、金属または半金属Mを含む少なくとも1つの第1の重合性モノマー単位Aと、共有化学結合を介して重合性単位Aに結合された少なくとも1つの第2の重合性有機モノマー単位Bとを含む少なくとも1つのモノマーMを、両重合性モノマー単位Aおよび重合性単位Bが重合すると同時にAとBの結合が破壊される条件で重合させることを含む。重合されるモノマーMは、第1のモノマーM1と、モノマーM1と異なる少なくとも1つの第2のモノマーM2とをモノマー単位AまたはBの少なくとも一方に含む(実施形態1)。あるいは、重合されるモノマーは、少なくとも1つのモノマーMに加えて、モノマー単位Aを含まない従来のモノマーであり、モノマー単位Bと共重合可能な、モノマーMと異なる少なくとも1つのモノマーM’を含む(実施形態2)。 (もっと読む)
有機骨格構造体
本発明は、線状又は環状のホウ素含有クラスタに2つ又は3つのC6〜C204の芳香族環基が共有結合されて単位体をなし、前記単位体が隣り合う他の単位体と連続して連結され形成された板状層と、前記板状層内のホウ素含有クラスタに配位結合されたルイス塩基と、を含む有機骨格構造体を提供する。 (もっと読む)
ボロシロキサン組成物、ボロシロキサン接着剤、塗装基板及び積層基板
1分子あたり平均少なくとも2つのアルケニル基を有するボロシロキサンと、1分子あたり平均少なくとも2つのケイ素結合水素原子を有する有機ケイ素化合物と、ヒドロシリル化触媒とを含むボロシロキサン組成物;少なくとも1つのボロシロキサンの硬化生成物を含むボロシロキサン接着剤;ボロシロキサン接着剤をそれぞれ含む塗装基板及び積層基板。 (もっと読む)
金属酸化物含有膜形成用組成物、金属酸化物含有膜、金属酸化物含有膜形成基板及びこれを用いたパターン形成方法
【解決手段】(A)式(1)の化合物と式(2)の化合物との加水分解縮合で得られる金属酸化物含有化合物、
R1m1R2m2R3m3Si(OR)(4-m1-m2-m3) (1)
(Rはアルキル基、R1〜R3はH又は1価有機基、m1〜m3は0又は1。m1+m2+m3は0〜3。)
U(OR4)m4(OR5)m5 (2)
(R4、R5は有機基、m4、m5は0以上の整数、Uは周期律表のIII〜V族の元素。)
(B)式(3)又は(4)の化合物、
LaHbX (3)
(LはLi,Na,K,Rb又はCs、Xは水酸基又は有機酸基、aは1以上、bは0又は1以上の整数、a+bは水酸基又は有機酸基の価数。)
MaHbA (4)
(Mはスルホニウム、ヨードニウム又はアンモニウム、AはX又は非求核性対向イオン、aは1以上、bは0又は1以上の整数。)
(C)有機酸、
(D)有機溶剤
を含む熱硬化性金属酸化物含有膜形成用組成物。
【効果】本発明組成物で形成された金属酸化物含有中間膜を用いることで、良好なパターン形成ができる。
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エポキシ官能性有機シランの制御された加水分解及び縮合並びに該エポキシ官能性有機シランと他の有機官能性アルコキシシランとの共縮合のための方法
本発明は、一般式I R1−SiR’m(OR)3-m(I)[式中、R1は、基(III)又は(IV)であり、かつ基R、R’並びにR’’は同じか又は異なっており、かつそれぞれ、水素(H)か、又は、1〜6個のC原子を有する直鎖、分枝鎖又は環式の、置換されていてもよいアルキル基を表し、基A及びA’は同じか又は異なっており、かつそれぞれ、1〜10個のC原子を有する二価のアルキル基を表し、基R2は同じか又は異なっており、かつR2は1〜20個のC原子を有する直鎖、分枝鎖又は環式の、置換されていてもよいアルキル基を表し、かつ、mは0又は1である]のエポキシ官能性シラン、及び場合により一般式II R2−SiR’n(OR)3-n(II)[式中、R2は既に上記した意味を有する有機官能基を表し、R’はメチルを表し、基Rは無関係に、水素か、又は1〜6個のC原子を有する直鎖、分枝鎖又は環式アルキル基を表し、かつnは0又は1である]の少なくとも1の他の有機官能性シランの、制御された加水分解及び縮合を実施するための方法において、使用するシランのアルコキシ官能基1モル当たり0.001〜5モル以下の水を使用し、加水分解触媒及び縮合成分としてのホウ酸の他に他の加水分解−ないし縮合触媒を使用せず、かつ反応の際に形成される縮合物がSi−O−B−及び/又はSi−O−Si−結合をベースとすることを特徴とする方法に関する。
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ポリボロシロキサンからなる光半導体素子封止用樹脂
【課題】耐熱性、透明性および耐光性のいずれにも優れるポリボロシロキサンからなる光半導体素子封止用樹脂、および、ポリボロシロキサンからなる前記光半導体素子封止用樹脂で封止している光半導体装置を提供すること。
【解決手段】ケイ素化合物とホウ素化合物とを反応させることにより得られる、ポリボロシロキサンからなる光半導体素子封止用樹脂、および、ポリボロシロキサンからなる前記光半導体素子封止用樹脂を用いて光半導体素子を封止してなる発光ダイオード装置。
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二液型熱硬化性樹脂組成物及び耐熱性透明樹脂成形物の製造方法
【課題】耐光性、耐熱性に優れ、近紫外から可視波長領域で長期にわたり光学的透明性を維持することが可能な耐熱性透明樹脂成形物の製造に用い、長期の保存が可能な二液型熱硬化性樹脂組成物を提供することである。
【解決手段】少なくとも金属アルコキシドを含むA液と、少なくとも前記金属アルコキシドとは異なる種類の金属アルコキシドを含むB液、の組合せよりなり、A液およびB液の少なくとも一方にオルガノポリシロキサンを含み、A液およびB液は、前記した2種以上の金属アルコキシドおよび前記オルガノポリシロキサンを均一に分散し、溶解できる有機溶媒を含むことを特徴とする。
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結晶性3D−および2D−共有結合性有機骨格
本開示は一般的には、有機骨格を含む材料に関する。本開示はまた、気体分子を保存および分離するのに有用である材料ならびにセンサーに関する。 (もっと読む)
防錆剤窒素ヘテロ環化合物を含む防錆剤
【課題】ハードコート特性と防錆機能を有する高分子組成物を提供する。
【解決手段】
(a)以下の式で表わされるアミノ基を含むシラン化合物
R4−n−Si−(OR’)n
(式中、Rはアミノ基含有の有機基を表わし、R’はメチル基、エチル基またはプロピル基を表わし、nは1〜3から選択される整数を表わす);及び
(b)H3BO3及びB2O3からなる群から選択される少なくとも1種のホウ素化合物:
を、(a)成分1モルに対して(b)成分0.02モル以上の比率で反応させて得られる反応生成物を含む、高分子物質と、
(c)イミダゾール系窒素へテロ環化合物、トリアゾール系窒素へテロ環化合物、テトラゾール系窒素へテロ環化合物、及びピラゾール系窒素へテロ環化合物、並びにこれらの化合物の塩から成る群から選択される少なくとも一種の化合物と、
を含む、高分子組成物。
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シリコーン樹脂およびシリコーン組成物
本発明は、ホウ素、アルミニウムおよび/またはチタニウム、およびケイ素結合分岐状アルコキシ基を含有するシリコーン樹脂;同シリコーン樹脂を含有するシリコーン組成物;シリコーン組成物を基板に塗布して膜を形成し、膜のシリコーン樹脂を熱分解することからなる被覆基板の製造方法に関する。前記シリコーン樹脂は、(EOs/2)t(HSiO3/2)v((R1O)3SiO1/2)w((R1O)2SiO2/2)x(R1OSiO3/2)y(SiO4/2)z(各Eは独立してホウ素、アルミニウム、およびチタニウムから選択される原子であり;R1はC1からC10の分岐状アルキルであり;Eがホウ素またはアルミニウムであるときは、s=3で、Eがチタニウムであるときは、s=4であり;tは0.01から0.8であり;vは0から0.99であり;wは0から0.99であり;xは0から0.99であり;yは0から0.99であり;zは0から0.8であり;w+x+y=0.01から0.99;かつ、t+v+w+x+y+z=1)で表される。 (もっと読む)
低誘電率材料形成用原料
【課題】耐水性に優れた低誘電率材料を得るために、低誘電率材料形成用原料を提供する。
【解決手段】化学式(1―1)
を低誘電率材料形成用原料する。ただし式中、上記結合手以外のR1〜R6は、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、アリル基、置換アリル基、アルケニル基、アルキルアミノ基、アルコキシル基、チオアルコキシル基、カルボニル基、シリル基、アルキルシリル基、ホスフィノ基、アルキルホスフィノ基またはSi(OR7)(OR8)(OR9)であって、少なくとも1つは水素原子でないもの。
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イオン性ポリマー
【課題】高いカチオン輸率を確実に発現できるイオン性ポリマー及び電解質、並びに、電気的特性に優れた電気化学デバイスを提供する。
【解決手段】一般式(I)で表わされる繰り返し単位構造を有するイオン性ポリマー、並びに、これを用いた電解質及び電気化学デバイス。
【化1】
[式中、n=3〜9の整数、M1+は、アルカリ金属イオンを示す。]
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有機無機複合体の製造方法
【課題】低誘電率を維持しつつより一層高い機械的強度を達成することが可能な膜を形成できる有機無機複合体、その有機無機複合体からなる膜、及びその膜を用いた半導体装置の各製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による有機無機複合体の製造方法は、下記式(1);
で表される架橋性化合物を加水分解及び脱水縮合させて有機無機複合体を形成する方法である。式中、Mはケイ素原子等を示し、Xは架橋に関与する−O−結合等を示し、R1は非末端部に環状炭化水素又はその誘導体を含む二価の基を示し、R2はメチル基等を示し、n1,n2は0〜2の整数を示す。
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