【課題】
ウエハなどの集積回路形成に有用な成膜性のある紫外線硬化型粘着剤として、ダイシングテープに有用な硬化前後における粘着膜の強度の低減が好ましい範囲で、保持力が高く、硬化膜を剥離した際に、ウエハ表面に糊残りのない硬化膜を与える紫外線硬化型再剥離性粘着剤を提供する。
【解決手段】
本発明は、（ａ）アクリル系粘着性ポリマー、（ｂ）多官能エポキシアクリレート、（ｃ）光重合開始剤、（ｄ）水酸基、カルボキシル基又はエポキシ基に対して反応性を有する硬化剤からなる紫外線硬化型再剥離性粘着剤に関する。また、本発明は、前記紫外線硬化型再剥離性粘着剤組成物を用いた粘着シートに関する。 （もっと読む）