Array ( [0] => 塗料、除去剤 [1] => C、H、O又はハロゲン以外の元素を含まない有機添加剤 [2] => アルデヒド又はケトン ) 塗料、除去剤 | C、H、O又はハロゲン以外の元素を含まない有機添加剤 | アルデヒド又はケトン
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Fターム[4J038JA30]の内容

塗料、除去剤 (182,219) | C、H、O又はハロゲン以外の元素を含まない有機添加剤 (8,173) | アルデヒド又はケトン (1,170)

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【課題】a)紫外光域において強力かつ均一に吸光し、b)レジスト材料を「崩れ」させたり、意図したレジストラインよりはみ出ることのない、c)フォトレジスト現像剤および上記のSOG反射防止膜の製造工程に対して感応することのない、吸収性スピンオンガラス反射防止膜およびリソグラフィー材料が、層状材料、電子部品、および半導体部品の製造を発展させるために望まれている。
【解決手段】少なくとも1つの無機系化合物と、少なくとも1つの導入することが可能な吸収性有機化合物と、少なくとも1つのpH調整剤とを含んでなる、吸収性スピンオンガラス組成物。 (もっと読む)









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