【課題】液浸露光プロセス、中でもリソグラフィー露光光がレジスト膜に到達する経路の少なくとも前記レジスト膜上に空気より屈折率が高くかつ前記レジスト膜よりも屈折率が低い所定厚さの液体を介在させた状態で露光することによってレジストパターンの解像度を向上させる液浸露光プロセスにおいて、水を始めとした各種浸漬液を用いた液浸露光中のレジスト膜の変質および使用浸漬液の変質を同時に防止し、かつ処理工程数の増加を来すことなく、液浸露光を用いた高解像性レジストパターンの形成を可能とする。
【解決手段】レジスト膜を浸漬させる液体、特に水に対して実質的に相溶性を持たず、かつアルカリに可溶である特性を有する保護膜を、使用するレジスト膜の表面に形成する。 （もっと読む）

非脱湿潤性の微孔質膜複合材料が開示される。これらの微孔質膜複合材料は、メタノールと水との溶液で湿潤され、水中でのオートクレーブ処理後に非脱湿潤性である。微孔質膜複合材料は、微孔質膜支持体を含み、この微孔質膜支持体は、親水性基を含む架橋イオノマーで被覆されている。微孔質膜支持体と比較して、微孔質膜複合材料は、８２％未満の平均イソプロピルアルコール流動損失を有する。
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【課題】膜表面の疎水性が高いレジスト膜を形成でき、かつ、リソグラフィー特性も良好なネガ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）と、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）と、架橋剤成分（Ｃ）と、アルカリ難溶性の含フッ素樹脂成分（Ｆ）とを含有することを特徴とするネガ型レジスト組成物；当該ネガ型レジスト組成物を用いて支持体上にレジスト膜を形成する工程、前記レジスト膜を露光する工程、及び前記レジスト膜をアルカリ現像してレジストパターンを形成する工程を含むレジストパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】次世代の微細加工用のホトレジスト組成物に用いることのできる高い透明性を有する高分子化合物を提供する。
【解決手段】耐エッチング性を確保するために側鎖部分に脂環式基を持たせるとともに、この脂環式基の環上の水素原子を高度にフッ素化することによって、波長１５７ｎｍの光に対して吸収係数３．０μｍ^−１以下の透明性を確保する。脂環式基として、好ましくは多環式とし、フッ素による高度な置換は、望ましくは環上の水素原子のすべての置換、すなわちパーフルオロ脂環式基とする。この高分子化合物をベースポリマーとしてレジスト組成物を構成し、さらには該高分子化合物から溶解制御剤を構成する。 （もっと読む）

-10℃で60％より低く、好ましくは50％より低く、-25℃で90％より低く、好ましくは75％より低い、24時間後の圧縮永久歪(ASTM D 395/B)を有し、10モル％より高い量でヘキサフルオロプロペン(HFP)および式：CF₂=CFOCF₂OCF₃ (a)のビニルエーテルを含み、本出願に記載されたFT-IR分光分析法を用いる方法の感度限界より低いポリマー中の-COF末端基の量を有する、VDF硬化性フルオロエラストマー、イオン硬化フルオロエラストマー。 （もっと読む）

【課題】 高いイオン伝導性、かつ高いリチウムイオン輸率を発現するイオン伝導性電解質を得ることができる電解質樹脂組成物、また高いイオン伝導性、かつ高いリチウムイオン輸率を有し、二次電池におけるサイクル特性に優れたイオン伝導性電解質、さらにはそれを用いた二次電池を提供する。
【解決手段】 重合性官能基を有するオニウムカチオンと重合性官能基を有する有機アニオンから構成される塩モノマーと、カチオン及びアニオンから構成されるイオン性液体と、リチウムカチオンとアニオンから構成されるリチウム塩とを、必須成分とする電解質用樹脂組成物であって、前記イオン性液体を構成するアニオンとリチウム塩を構成するアニオンとが、同一の構造を有するものであることを特徴とする電解質樹脂組成物。前記電解質樹脂組成物を用いて得られるイオン伝導性電解質。前記イオン伝導性電解質を構成要素とする二次電池。 （もっと読む）

【課題】高いイオン伝導性能、低いメタノール拡散性、充分な強度、耐久性を有する固体電解質を提供する。
【解決手段】 主鎖がフッ化炭素であり、イオン伝導度が０．０１Ｓ／ｃｍ以上であり、メタノール拡散係数が４ｘ１０^-7ｃｍ²／ｓ以下である、固体電解質。 （もっと読む）

構造（Ｉ）を有するモノマーであって、式中、Ｒ_Ｆは、場合により酸素または塩素を含有する直鎖状または分枝状ペルフルオロアルケン基であり；ｎは１または２であるモノマー。これらのモノマーは、ポリマー電解質膜を製造するのに有用なホモポリマーおよびコポリマーの製造に使用される。これらの膜を含有する、燃料電池などの電気化学電池も、説明する。
【化１】



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