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Fターム[4J100AT01]の内容

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【解決手段】カルボキシル基の水素原子が一般式(1)で示される酸不安定基によって置換されている樹脂をベース樹脂にしているポジ型レジスト材料。


(R1、R2は炭素数1〜8の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、又は炭素数2〜10のアルケニル基で、酸素原子又は硫黄原子を有していてもよい。R3はフッ素原子又はトリフルオロメチル基、mは1〜5の整数。)
【効果】本発明のポジ型レジスト材料は、露光前後のアルカリ溶解速度コントラストが大幅に高く、高解像性を有し、露光後のパターン形状とエッジラフネスが良好で、特に酸拡散速度を抑制し、優れたエッチング耐性を示す。従って、特に超LSI製造用あるいはフォトマスクの微細パターン形成材料、EUV露光用のパターン形成材料として好適なポジ型レジスト材料、特には化学増幅ポジ型レジスト材料を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】 コレステリック反射フィルムの選択反射の波長領域を容易に拡大し、かつ、生産性に優れた重合性液晶組成物提供し、併せて、当該重合性液晶組成物をを用いた外観の優れたコレステリック反射フィルム及び反射型偏光板を提供する。
【解決手段】 a)重合性官能基を1つのみ有し、かつ、トラン骨格を有する液晶化合物を1種又は2種以上含有し、b)重合性官能基を1つのみ有し、トラン骨格を含まない液晶化合物を1種又は2種以上含有し、c)重合性官能基を2つ以上有する液晶化合物を1種又は2種以上含有し、d)重合性官能基を1つ以上有するキラル化合物を1種又は2種以上含有し、e)重合開始剤を1種又は2種以上含有することを特徴とする重合性液晶組成物。 (もっと読む)


【課題】重合性化合物および液晶ディスプレイにおけるそれらの使用を提供する。
【解決手段】本発明は、重合性化合物と、重合性化合物を調製するための方法および中間体と、光学的、電気光学的および電子的目的のためで、より特には、液晶(LC:liquid−crystal)媒体およびLCディスプレイにおける、特に、PSまたはPSA(「ポリマー維持(polymer sustained)」または「ポリマー維持配向(polymer sustained alignment)」)タイプのLCディスプレイにおける重合性化合物の使用とに関する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、低誘電性、高耐熱性、かつ優れた機械強度を達成できる膜を形成するための架橋性官能基を有する化合物を含む膜形成用組成物、この膜形成用組成物を用いて得られる膜、および絶縁膜、並びに、この絶縁膜を有する電子デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】一般式(1)で表される部分構造を少なくとも1つ有する化合物を含む膜形成用組成物。
【化1】


(一般式(1)中、RおよびRは、それぞれ独立に、水素原子または置換基を表す。RとRは、互いに結合して環構造を形成してもよい。Rは、水素原子または置換基を表す。*は、結合位置を表す。) (もっと読む)


【課題】電子デバイスなどに用いられる誘電率、耐熱性等の膜特性が良好であり、かつ基板との密着性が良好で、塗布液の安定性に優れる層間絶縁膜形成用組成物の提供。
【解決手段】少なくとも下記一般式(1)及び(2)の化合物を含む原料を重合して得られる重合体。


は水素原子または炭素数1〜6のアルキル基、Arは置換基を有しても良いアリール基またはヘテロアリール基、Rは水素原子または有機基、Rは、少なくとも1つのR−C≡C−基が橋頭位に直接結合したカゴ型構造を有する有機基を表わす。 (もっと読む)


【課題】誘電率、耐クラック性等の膜特性の観点において優れた絶縁膜、およびそれを用いた電子デバイスを得るための膜形成用組成物を提供する。
【解決手段】カゴ型構造を有するモノマーからカゴ型構造を有する重合体を製造する際、重合体と反応し得る、熱分解性基を有する化合物を溶媒として用いることを特徴とする重合体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】耐候性導電材料、高耐候性高分子材料、プラスチック用光安定剤あるいは電池正極材料として有用なNO含有量の高いピペリジル基含有重合体及び該重合体の製造方法を提供すること。
【解決手段】下記の一般式(1)、一般式(2)又は一般式(3)で表される化合物の少なくとも1種以上から選択される化合物をパラジウム塩触媒により重合させることにより、下記の一般式(4)又は一般式(5)で表される構成単位を含有するピペリジル基含有重合体又はピペリジル基含有共重合体を製造する。
【化1】


【化2】


【化3】


【化4】


【化5】
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【課題】 本発明は、ラジカル濃度が高く、リチウムイオン二次電池の小型化・高容量化・軽量化を実現できる電極活物質として利用可能なアセチレン系重合体を製造できるアセチレン系重合体の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のアセチレン系重合体の製造方法は、周期表第8〜10族の元素を中心原子とした金属錯体触媒を用いて、ラジカル化した置換基を有する置換アセチレン単量体を重合する重合工程を有する。また、本発明のアセチレン系重合体の製造方法は、周期表第8〜10族の元素を中心原子とした金属錯体触媒を用いて、ニトロキシルラジカル発生サイトを含む置換基を有する置換アセチレン単量体を重合して非ラジカル重合体を形成する重合工程と、重合工程にて得た非ラジカル重合体をラジカル化するラジカル化工程とを有する。 (もっと読む)


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