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Fターム[4J100BA03]の内容

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Fターム[4J100BA03]に分類される特許

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【課題】EUV用またはEB用として有用なレジスト組成物、該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】露光により酸を発生し、且つ、酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)を含有するEUV用又はEB用レジスト組成物であって、前記基材成分(A)が、下記一般式(a0−1)又は(a0−2)で表される基を含む構成単位(a0)を有する高分子化合物(A1)を含有し、前記基材成分(A)に加えて、光反応型クエンチャー(C)を含有することを特徴とするEUV用又はEB用レジスト組成物。式中の基−R−S(R)(R)は、全体で芳香環を1個のみ有するか又は芳香環を有さない。Mm+は、芳香環を1個のみ有するか又は芳香環を有さない。
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【課題】マスクエラーファクター優れたレジストパターンレジストパターンを得ることができる化合物、樹脂、レジスト組成物等を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される化合物、この化合物に由来する構造単位を有する樹脂と、酸発生剤とを含有するレジスト組成物。


[式中、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基を表すか又はR及びRが互いに結合し、それらが結合している炭素原子とともに炭素数5〜20の環を形成する。Rは、エチレン性二重結合を含む基を表す。Wは、炭素数6〜18の2価の脂環式炭化水素基を表す。Tは、単結合、炭素数1〜6の2価の脂肪族炭化水素基等を表す。Tは、炭素数1〜6の2価の脂肪族炭化水素基等を表す。] (もっと読む)


【課題】水溶液の粘度安定性に優れるとともにその発泡が抑えられ、水に対する溶解性に優れながらも架橋皮膜の耐水性が高く、変性量及び重合度を高くすることができるビニルアルコール系重合体を提供する。
【解決手段】少なくとも二つのヒドロキシメチレン基で置換されたアルキル基を有し、以下の式(1)で示されるN−アルキル(メタ)アクリルアミド単位を有する一級水酸基含有ビニルアルコール系重合体とする。式(1)においてR1は水素原子又はメチル基、R2は水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基、nは2又は3である。
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【課題】活性エネルギー線硬化性組成物に添加することで、該組成物の硬化塗膜表面に強アルカリ等の薬品で処理しても低下しない優れた耐擦傷性を付与できる含フッ素重合性樹脂を提供する。また、該含フッ素重合性樹脂を用いた活性エネルギー線硬化性組成物、その硬化物及び該組成物の硬化塗膜を有する物品を提供する。
【解決手段】ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖とその両末端に重合性不飽和基を有する化合物(A)と、シリコーン基を有する重合性不飽和単量体(B)と、反応性官能基(c)を有する重合性不飽和単量体(C)とを必須の単量体成分として特定の比率で共重合させて得られる重合体(P)に、前記官能基(c)に対して反応性を有する官能基(d)及び重合性不飽和基を有する化合物(D)を反応させて得られる重合体からなる含フッ素重合性樹脂を用いる。 (もっと読む)


【課題】ディフェクトの発生を低減できるレジスト組成物、該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法、及び該レジスト組成物の添加剤として有用な高分子化合物の提供。
【解決手段】酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)、及び含フッ素化合物成分(F)を含有するレジスト組成物。前記含フッ素化合物成分(F)は、一般式(f1−1)で表される構成単位及び一般式(f1−2)で表される構成単位からなる群から選択される少なくとも1種の構成単位(f1)と、フッ素原子を含む構成単位(f2)とを有する高分子化合物(F1)を含有する[式中、Rは水素原子、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲン化アルキル基;R、Rは2価の連結基;Rfはフッ素原子で置換されていてもよい炭素数1〜10の炭化水素基又は炭素数3〜20の環含有炭化水素基である]。
[化1]
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【課題】水溶液の取扱性に優れるとともに高湿度下におけるガスバリア性に優れ、変性量及び重合度を高くできる変性ビニルアルコール系重合体を提供する。
【解決手段】少なくとも一つのヒドロキシアルキレン基で置換されたアルキル基を有し、以下の式(1)で示されるN−アルキル(メタ)アクリルアミド単位を有する変性ビニルアルコール系重合体とする。式(1)のR1は水素原子又はメチル基、R2は炭素数1〜8のアルキレン基、R3及びR4はそれぞれ同一又は異なって水素原子、炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数1〜8のヒドロキシアルキル基である。
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【課題】光酸発生剤を用いずに、特定の部分をアルカリ溶液で溶解して除去した高分子膜の提供。
【解決手段】(A)窒素カチオンを有するオニウム塩と(B)アルカリ難溶性樹脂を含有する組成物を支持体の上に適用して膜を形成すること、および上記膜の表面の一部または全部に、プラズマを照射してプラズマ照射した部分をアルカリ溶液で溶解除去することを含む高分子膜の製造方法。 (もっと読む)


【課題】解像性に優れるレジストパターンを製造可能なレジスト組成物を提供する。
【解決手段】酸に不安定な基を有し、かつ酸の作用により分解しアルカリ水溶液への溶解性が増大する樹脂と、酸発生剤と、式(I)で表される化合物とを含有するレジスト組成物。[式(I)中、環Hは、置換基を有していてもよい炭素数3〜20の芳香族複素環を表す。R、R、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜20のアルキル基を表す。]
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【課題】 バリア性と密着性に優れたバリア性積層体を提供する。
【解決手段】無機層と、該無機層の表面に設けられた有機層を有し、前記無機層は、珪素酸化物、珪素窒化物、珪素炭化物、または、その混合物を主成分とし、前記有機層は、(メタ)アクリレート(1)と、シランカップリング反応を引き起こす基を有するラジカル重合性化合物(2)と、光ラジカル重合開始剤(3)と、光酸発生剤(4)を含む組成物を光照射して硬化させてなる、バリア性積層体。 (もっと読む)


【解決手段】ヒドロキシ基が酸不安定基で置換された繰り返し単位含有高分子化合物及び酸発生剤又はヒドロキシ基が酸不安定基で置換された繰り返し単位と露光により酸を発生する繰り返し単位含有高分子化合物と、パーフルオロアルキルエーテルカルボン酸のスルホニウム塩又はヨードニウム塩と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布し、加熱処理後高エネルギー線でレジスト膜を露光し、加熱処理後有機溶剤による現像液を用いて未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得るパターン形成方法。
【効果】ヒドロキシ基の水素原子を酸不安定基で置換した繰り返し単位含有高分子化合物と酸発生剤とパーフルオロアルキルエーテルカルボン酸のオニウム塩を含むフォトレジスト膜は、有機溶剤による現像におけるポジネガ反転の画像形成において、未露光部分の溶解性が高く、露光部分の溶解性が低く、溶解コントラストが高い特徴を有する。 (もっと読む)


【課題】疎水性が高く液浸水への溶出が低く、酸拡散制御による、高解像性パターンプロファイルの構築。
【解決手段】(A)式(1−1)の化合物(B)式(1−2)で示される酸発生剤、(C)ベース樹脂、(D)有機溶剤を含有するArF液浸露光用化学増幅ポジ型レジスト材料。


(Arはアリール基。)


(R1はアルキル基、アルケニル基又はアラルキル基。R2は水素原子又はトリフルオロメチル基。Arはアリール基。) (もっと読む)


【解決手段】(A)酸不安定基を含む繰り返し単位(a1)と、環状の炭化水素基を有し、その環内にエステル基、エーテル基、炭酸エステル基又はスルホン酸エステル基のうち少なくとも1つを含む繰り返し単位(a2)と、オキシラン環を有する繰り返し単位(a3)を含み、酸によってアルカリ溶解性が向上する樹脂、(B)光酸発生剤、(C)溶剤を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。
【効果】本発明によれば、良好なライン幅ラフネス(LWR)とマスク忠実性(MEF)を有し、微細パターンにおいても矩形性が高く、パターン倒れ耐性に優れたレジスト組成物を提供することができる。 (もっと読む)


【課題】レジスト組成物、レジストパターン形成方法、高分子化合物、新規な化合物の提供。
【解決手段】露光により酸を発生し、酸の作用により現像液に対する溶解性が変化するレジスト組成物であって、酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)を含有し、基材成分(A)は、式(a0−1)で表される構成単位(a0−1)を有する樹脂成分(A1)を含有する[式中、Rは水素原子、炭素数1〜5のアルキル基又は炭素数1〜5のハロゲン化アルキル基]。
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【課題】過酸化水素の使用量を低減することができ、安全かつ安価に(メタ)アクリル酸イミン重合体を酸化し、高いニトロキシド化率の(メタ)アクリル酸ニトロキシド重合体を製造することができる方法を提供する。
【解決手段】(メタ)アクリル酸イミン重合体を酸化することにより、(メタ)アクリル酸ニトロキシド重合体を製造する方法であって、アミド溶媒中、タングステン酸触媒及びホスホン酸類の存在下にて、過酸化水素により式(1)(式(1)中、Rは水素又はメチル基を示す)で表される繰り返し単位を有する(メタ)アクリル酸イミン重合体を酸化する工程を有する(メタ)アクリル酸ニトロキシド重合体の製造方法。
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【課題】 非ブリードアウト性、相溶性、耐水性及び耐熱性に優れ、単独又は種々の樹脂との配合により、光劣化が抑制され、耐久性にも優れた塗料であり、特に、外観、耐光性、耐傷性等に優れた光硬化性塗膜の形成可能な積層フィルム用塗料を提供する。
【解決手段】
紫外線吸収型ポリマー(A)とポリウレタン(B)のディスパージョンとからなるポリマー組成物であって、紫外線吸収型ポリマー(A)は、二重結合及び紫外線吸収基を有する化合物(a)と、二重結合含有成分(h)とを重合させて得られる重合生成物であり、ポリウレタン(B)のディスパージョンは、活性水素含有基及びアニオン性親水性基(水酸基を除く。)を有する化合物(b)と、ポリオール(c)及びポリイソシアネート(d)と、アクリレート類(e)を含む反応成分を反応させて得られる反応生成物であることを特徴とする塗料。 (もっと読む)


【課題】低燃費性、ウェットグリップ性能、耐摩耗性を向上できるタイヤ用ゴム組成物、及びこれを用いた空気入りタイヤを提供する。
【解決手段】ジエン系重合体とシリカと軟化点−20〜20℃の液状レジンとを含み、前記ジエン系重合体が、下記(A)と(B)を反応させて得られる変性されたジエン系重合体であり、ゴム成分100質量部に対する前記液状レジンの含有量が3〜40質量部であるタイヤ用ゴム組成物。(A):下記(C)の存在下に、共役ジエンモノマー又は共役ジエンモノマーと芳香族ビニルモノマーとを重合させることにより得られるアルカリ金属末端を有する活性共役ジエン系重合体。(B):官能基を有する変性剤。(C):下記式(1)で表される化合物と有機アルカリ金属化合物を反応させて得られる化学種。
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【課題】屈折率が低く、かつ透明性が高く、更には、耐熱性にも優れ、また、高耐熱性、可視光領域での透明性、低誘電率及び可撓性に優れる硬化物を形成でき、更には物理的、化学的安定性にも優れる含フッ素ポリマー、硬化性樹脂組成物、及び、硬化物を提供する。
【解決手段】本発明は、下記式(L):
[化1]


(式中、X及びXは、同一又は異なり、H又はFである。Xは、H、F、CH又はCFである。X及びXは、夫々同一又は異なり、H、F又はCFである。Rfは、炭素数4〜40の含フッ素炭化水素基、又は、炭素数5〜100のエーテル結合を有する含フッ素炭化水素基である。aは0〜3の整数である。b及びcは同一又は異なり、0又は1である。)で表される構造単位を有する含フッ素ポリマーである。 (もっと読む)


【課題】樹脂や有機溶媒との相溶性が良好であり、金属イオン及び有機溶媒と水が含有しない、高純度のイオン性ビニルモノマー、及び該モノマーからなる帯電防止剤又は帯電防止性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】一般式(1)(式中、Rは水素原子又はメチル基を、R及びRは各々独立に炭素数1〜3のアルキル基で互いに同一であっても異なっていてもよく、R4は炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜3のアルケニル基又はベンジル基を表し、Yは酸素原子又はNH−を表し、Zは炭素数1〜3のアルキレン基を表し、Rf及びRfは同じであっても異なっていてもよく、炭素数1〜4のペルフルオロアルキル基又は炭素数0のフルオロ基を表す。)で示されるイオン性ビニルモノマーを高純度、高収率で合成し、該イオン性ビニルモノマーからなるポリマー等を帯電防止の有効成分として用いる。
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【課題】過酸化水素の使用量を低減することができ、安全かつ安価に(メタ)アクリル酸イミン重合体を酸化し、高いニトロキシド化率の(メタ)アクリル酸ニトロキシド重合体を製造することができる方法を提供する。
【解決手段】アミド溶媒中、タングステン酸触媒の存在下にて、過酸化水素により、2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジニルメタクリレート由来の繰り返し単位を有する(メタ)アクリル酸イミン重合体を酸化する工程を有する(メタ)アクリル酸ニトロキシド重合体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】活性エネルギー線硬化性組成物に添加することで、該組成物の硬化塗膜表面に強アルカリ等の薬品で処理しても低下しない優れた耐擦傷性を付与できる含フッ素重合性樹脂を提供する。また、該含フッ素重合性樹脂を用いた活性エネルギー線硬化性組成物、その硬化物及び該組成物の硬化塗膜を有する物品を提供する。
【解決手段】炭素原子数4〜6のフッ素化アルキル基を有する重合性不飽和単量体(A)と、シリコーン基を有する重合性不飽和単量体(B)と、特定の反応性官能基(c)を有する重合性不飽和単量体(C)とを必須の単量体成分として共重合させて得られる重合体(P)に、前記反応性官能基(c)に対して反応性を有する特定の官能基(d)及び重合性不飽和基を有する化合物(D)を反応させて得られる重合体であることを特徴とする含フッ素重合性樹脂を用いる。 (もっと読む)


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