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Fターム[4J100BA03]の内容

付加系(共)重合体、後処理、化学変成 (209,625) | 構成元素 (28,779) | O含有基 (18,190) | −OH基 (4,097)

Fターム[4J100BA03]に分類される特許

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【課題】着色パターンの表面にムラが出る表面欠陥が生じず、生産性に優れた、感光性着色樹脂組成物を提供する。
【解決手段】一般式(1)で表されるチオール化合物(A)、一般式(2a)で表されるエポキシ化合物(a)と、α,β−不飽和カルボン酸(b)との反応物と、多塩基酸及び/又はその無水物(c)とを反応させて得られるアルカリ可溶性樹脂(B)及び/又はアルカリ可溶性樹脂(B)を含むアルカリ可溶性樹脂(B)、光重合開始剤(C)、色材(D)、及び光重合性モノマー(E)を含有する感光性着色樹脂組成物。
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【課題】密着性が良好で、かつ基材表面に、耐水性、防曇性、防汚性、耐候性に優れる親水性表面を付与した組成傾斜構造を有する親水性部材を提供する。
【解決手段】基材2上に設けられ、下記親水性材料1)及び活性エネルギー線硬化型オリゴマー又はポリマー2)’を含む膜とを有する親水性部材1であって、該膜が膜の厚み方向において前記基材2に最も近い側から最も遠い側に向かって1)の比率が大きくなり、かつ、2)’の比率が小さくなるように、1)及び2)’の組成が連続的に変化する組成傾斜膜3である、親水性部材1。但し、活性エネルギー線硬化型オリゴマー又はポリマー2)’は下記1)の親水性材料とは異なる。1)加水分解性シリル基含有親水性ポリマーを含有し、かつ前記ポリマーが主鎖末端又は側鎖に、加水分解性シリル基を分子中に少なくとも1個有し、親水性基を分子中に少なくとも1個有する親水性材料。 (もっと読む)


【課題】優れたラインエッジラフネス(LER)を有するレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に溶解し得る樹脂と、酸発生剤と、式(I)で表される化合物とを含むレジスト組成物。


[式(I)中、R1a及びR1bは、同一又は相異なり、炭素数1〜18の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれるメチレン基は酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよく、R1aとR1bが一緒になって環を形成していてもよい。Rは、置換基を有してもよい炭素数6〜18の芳香族炭化水素基を表す。] (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、感度を十分に満足し、かつEL、DOF、CDU及びMEEFに優れる感放射線性樹脂組成物を提供することである。
【解決手段】本発明は、有機溶媒が80質量%以上の現像液を用いるレジストパターン形成用感放射線性樹脂組成物であって、上記感放射線性樹脂組成物が、[A]酸解離性基を有する重合体、及び[B]感放射線性酸発生体を含有し、かつ上記有機溶媒で現像した場合のレジスト感度曲線から算出されるコントラスト値γが、5.0以上30.0以下であることを特徴とするレジストパターン形成用感放射線性樹脂組成物である。上記有機溶媒は、炭素数3〜7のカルボン酸アルキルエステル及び炭素数3〜10のジアルキルケトンからなる群より選択される少なくとも1種の有機溶媒であることが好ましい。 (もっと読む)


【解決手段】ヒドロキシ基が酸不安定基で置換された繰り返し単位を有する高分子化合物と、酸発生剤と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に有機溶剤による現像液を用いて未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得、その上に置換又は非置換のメチロール基と結合する窒素原子及び/又は芳香族基を有する架橋剤を含む溶液を塗布、ベークによってネガパターン表面で架橋することにより、ネガパターンのスペース部分の寸法を縮小させるパターン形成方法。
【効果】本発明のレジスト膜は、有機溶剤による現像におけるポジネガ反転の画像形成において、未露光部分の溶解性が高く、露光部分の溶解性が低く、溶解コントラストが高い特徴を有する。 (もっと読む)


【課題】閾値電圧の絶対値及びヒステリシスが小さい有機薄膜トランジスタを製造しうる有機薄膜トランジスタ絶縁層材料を提供すること。
【解決手段】分子内に、ベンジルチオカルバメート基(−Ph−CH−SCSNR)を含有する高分子化合物(A)と、分子内に2個以上の不飽和二重結合を含有する不飽和二重結合化合物(B)とを含む有機薄膜トランジスタ絶縁層材料。 (もっと読む)


【課題】酸素遮断性が高いコーティングを提供することができる新規なコーティング組成物、該組成物を用いた、現像性と現像して得られる画像の強度に優れる画像形成材料及び平版印刷版原版、並びに優れた酸素遮断性フィルムを提供する。
【解決手段】下記一般式(1)で表される構造単位を有するポリマーを含むことを特徴とするコーティング組成物。該組成物を含む保護層を有する画像形成材料及び平版印刷版原版。該組成物を含む酸素遮断層を有するフィルム。
【化1】


式中、Mn+はn価の正電荷を有するカチオンを表し、nは1〜4の整数を表す。 (もっと読む)


【解決手段】置換又は非置換のメチロール基と結合する窒素原子を含むウレア結合、アミド結合、又はウレタン結合を有する化合物と、ヒドロキシ基が酸不安定基で置換された繰り返し単位を有する高分子化合物と、酸発生剤と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に有機溶剤による現像液を用いて未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得ることを特徴とするパターン形成方法。
【効果】本発明に係るレジスト膜は、有機溶剤による現像におけるポジネガ反転の画像形成において、未露光部分の溶解性が高く、露光部分の溶解性が低く、溶解コントラストが高い特徴を有する。 (もっと読む)


【課題】優れたパターン倒れ耐性(PCM)でレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供すること。
【解決手段】アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に溶解し得る樹脂と、酸発生剤と、式(I)で表される化合物とを含むレジスト組成物。


[式(I)中、
1a及びR1bは、同一又は相異なり、炭素数1〜18の炭化水素基を表し、該炭化水素に含まれるメチレン基は酸素原子又はカルボニル基に置き換わってもよく、R1aとR1bが一緒になって置換基を有してもよい環を形成してもよい。
及びRは、同一又は相異なり、置換基を有してもよい炭素数1〜18の炭化水素基を表し、RとRが一緒になって置換基を有してもよい環を形成してもよい。] (もっと読む)


【課題】ラインエッジラフネス(LER)に優れたレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】式(a)で表される構造単位を有する樹脂及び式(B1)で表される塩を含有するレジスト組成物。


[式中、Rは水素原子又はメチル基;Rは脂肪族炭化水素基;Aは、単結合、脂肪族炭化水素基等;Aは、単結合又は脂肪族炭化水素基;環Wは脂肪族環;Q1及びQ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基;Lb1は、2価の脂肪族炭化水素基;Yは、置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基又は置換基を有していてもよい脂環式炭化水素基;Z+は、有機カチオンを表す。] (もっと読む)


【課題】ヨウ素原子を末端に有する重合体の耐熱分解性を向上させ、成型品の着色を低減させる。
【解決手段】有機ヨウ素化物の存在下でビニル単量体をラジカル重合させて得られる重合体(A)を弱塩基塩及び式(1)で表される化合物の少なくとも一方と反応させて該重合体(A)の末端が処理された重合体(B)を得る末端処理工程を有する重合体(B)の製造方法。前記弱塩基塩が炭酸塩、炭酸水素塩、有機酸塩またはリン酸塩であることが好ましい。前記ラジカル重合工程において、さらにリン化合物、窒素化合物または酸素化合物を存在させることが好ましい。
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【課題】ラフネス特性およびパターン倒れの改善を可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、及び(C)下記一般式(ZI−3)、(ZI−4)又は(ZI−5)で表される活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であり、樹脂(A)が酸の作用により分解する基を有する繰り返し単位を少なくとも1種含有し、該酸分解性の基が分解して脱離する基が環構造を有し、該環構造が極性基を置換基として有し、もしくは、該環構造が極性原子を環構造内に含み、且つ、前記脱離基が脱離して生成する化合物のlogP値が0以上2.8未満であることを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
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【課題】繊維織物等の基材に対して、洗濯耐久性を維持しながら、優れた撥油性、防汚性および汚れ脱離性を付与する。
【解決手段】(a) フルオロアルキル基を有する含フッ素単量体、
(b) ポリアルキレングリコール(メタ)アクリレート、
(c) アセトアセチル基を有する単量体、および
(d) カチオン供与基を有する単量体
を必須成分とする含フッ素共重合体。
単量体(a)が、次式のものであることが好ましい。
CH2=C(−X)−C(=O)−Y−Z−Rf (1)
[式中、Xは、水素原子、炭素数1〜21の直鎖状または分岐状のアルキル基、フッ素原子、塩素原子などであり; Yは、−O−または−NH−であり; Zは、炭素数1〜10の脂肪族基、炭素数6〜10の芳香族基または環状脂肪族基などであり; Rfは、炭素数1〜21の直鎖状または分岐状のフルオロアルキル基である。] (もっと読む)


【課題】優れた解像度でレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供すること。
【解決手段】アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に溶解し得る樹脂と、式(I)で表される塩とを含有するレジスト組成物。


[式(I)中、Q及びQは、同一又は相異なり、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基を表す。Lは、単結合又は2価の脂肪族飽和炭化水素基を表し、該2価の脂肪族飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子又はヒドロキシ基に置き換わっていてもよく、該2価の脂肪族飽和炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子等に置き換わっていてもよい。Rは、炭化水素基等を表す。Rは、水素原子又はアルキル基を表す。mは、0〜4の整数を表す。Zは、有機カチオンを表す。] (もっと読む)


【課題】比較的長波長の紫外光や可視光に対して高感度を有しつつ、低アウトガス性や光分解生成物を与えにくい性質を併せ持つ光硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】式(I”)で示されるアントラキノン誘導体。


(A〜Aのうちの一以上は、式(A)の基であり、式(A)の基以外のA〜Aは、水素原子またはメチル基である)


(Rは水素原子またはメチル基であり、Yはフェニレン基、その誘導体、C1〜8のアルキレン基、その誘導体であり、Zは単結合、または二価の有機基である) (もっと読む)


【課題】硬化物の接着力に優れており、更に耐マイグレーション性に優れた積層体及び接続構造体を得ることができる絶縁材料を提供する。
【解決手段】突出した複数の第1の電極2bを表面2aに有する第1の接続対象部材2において、複数の第1の電極2b上と複数の第1の電極2b間の隙間X上とに、複数の第1の電極2bを覆うように積層される絶縁層6Aを形成するために用いられる絶縁材料であり、下記式(X)で表される構造単位を有する第1のエポキシ(メタ)アクリレートと、下記式(X)で表される構造単位を有さない第2のエポキシ(メタ)アクリレートと、熱ラジカル発生剤とを含む。下記式(X)中、Rは炭素数3〜6のアルキレン基を表し、nは1〜10の整数を表す。
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【課題】耐マイグレーション性に優れた接続構造体を得ることができる硬化性組成物を提供する。
【解決手段】硬化性組成物は、エポキシ基を有さないか又はエポキシ基を有し、かつ(メタ)アクリロイル基を有する硬化性化合物と、熱ラジカル発生剤とを含む。硬化性化合物は、式(11−1)で表される化合物のエポキシ基の一部又は全部に(メタ)アクリル酸を反応させることにより得られる。式(11−1)中、R1及びR2はそれぞれ炭素数1〜5のアルキレン基を表し、R3〜R8の6個の基の内の4〜6個の基は水素原子を表し、R3〜R8の内の水素原子ではない基は、式(11a)で表される基を表す。式(11a)中、R9は炭素数1〜5のアルキレン基を表す。
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【課題】感度、解像性等の基本特性のみならず、MEEF、DOF等を指標としたリソグラフィー性能に優れ、より良好な断面形状のパターンを形成することができるフォトレジスト組成物、及びこの組成物を用いたネガ型のレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(1)フォトレジスト組成物を用いてレジスト膜を形成する工程、(2)上記レジスト膜に露光する工程、及び(3)上記露光されたレジスト膜を、有機溶媒含有現像液を用いて現像する工程を含むネガ型のレジストパターン形成方法であって、上記フォトレジスト組成物が、[A]下記式(1)で表される構造単位(I)を有する重合体、及び[B]酸発生体を含有する。
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【解決手段】酸不安定基により水酸基が保護された構造を有する繰り返し単位を含有する高分子化合物と、光酸発生剤と、有機溶剤と、フッ素原子を有する繰り返し単位を含有し、かつ水酸基を含有しない高分子添加剤とを含み、高分子添加剤の含有量が全高分子化合物の含有量に対して1〜30質量%であるレジスト組成物を基板に塗布し、塗布後加熱処理をして作製したレジスト膜を高エネルギー線で露光し、露光後加熱処理を施した後に、有機溶剤を含有する現像液によりレジスト膜の未露光部分を選択的に溶解させるネガ型パターン形成方法。
【効果】本発明のレジスト組成物は、液浸露光可能な高い後退接触角を示すと共に、有機溶剤ネガ現像と組み合わせることで高い解像性、微細トレンチパターンやホールパターンの広い焦点深度を示し、ラインパターン側壁の垂直性を高め、パターン倒れ耐性を向上させることが可能である。 (もっと読む)


【課題】環境衛生上の問題が少なく、硬度、密着性、耐薬品性に優れた活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】活性エネルギー線の遮断下で、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸から選ばれるカルボキシル基含有不飽和モノマー(a)、重合性不飽和基を有する光増感剤(b)、反応性官能基を含有する不飽和モノマー(c)、及びこれらと共重合可能な他の不飽和モノマー(d)の混合物を共重合する。この共重合体に(c)と反応可能な炭素−炭素不飽和二重結合を含有する化合物(e)を付加反応させ、1分子中に2つ以上の炭素−炭素不飽和二重結合、1つ以上の活性エネルギー線によりラジカルを発生する光増感性官能基、1つ以上のカルボキシル基を含有するポリマー化合物(A)を得る。次にポリマー化合物(A)中のカルボキシル基を塩基で中和する。この場合、上記(c)化合物と (e)の化合物を特定の組合せとする。
さらにポリマー化合物(A)に上記多官能不飽和モノマーまたはオリゴマー(B)を混合したものも含まれる。 (もっと読む)


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