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【課題】現像性が良好で且つポストベーク後の表面レチキュレーションの発生を抑制し得る着色感光性樹脂組成物及びパターン形成方法、並びに、表面レチキュレーションがなく、線幅感度、直線性及び耐熱性に優れた着色パターンを有するカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ及び表示装置を提供する。
【解決手段】着色剤、バインダー樹脂、重合性化合物、光重合開始剤、及び溶剤を含有し、前記着色剤の含有量が着色感光性樹脂組成物の固形分に対し質量分率で15質量%〜60質量%であり、前記バインダー樹脂が分子内に、アリル基を有する構造単位、N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び環状イミド基を有する構造単位から選択される構造単位と、酸性基を有する構造単位とを有し、前記重合性化合物がカルボキシル基含有多官能性単量体であり、前記光重合開始剤がロフィン系光重合開始剤又はオキシム系光重合開始剤である着色感光性樹脂組成物である。 (もっと読む)


【課題】石油系の原料及び特にバイオディーゼル又はバイオ燃料として知られる脂肪酸メチルエステルのような、植物系又は植物系の原料からの燃料油の低温流動性を改良するのに効果的なポリマーおよび当該ポリマーを含有する燃料組成物を提供する。
【解決手段】式Iの単位、式IIの単位、及び式IIIa又は式IIIbのいずれかの単位である構造単位、および必要に応じて式VIIの構造単位を有する高次ポリマーである三元重合体及びより高次のポリマー:
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【課題】 高集積かつ高精度な電子デバイスを製造するための高精度な微細パターンをより安定的に形成するために、線幅バラツキ(LWR)、フォーカス余裕度(DOF)およびパターン形状に優れる感活性光線または感放射線性樹脂組成物組成物、及びこれを用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 感活性光線または感放射線樹脂組成物を基板上に塗布して膜を形成する工程、マスクを介して該膜を選択的に露光する工程、及び有機溶剤を含む現像液を用いて現像する工程を含むパターン形成方法であり、該感活性光線または感放射線樹脂組成物が、(A)酸の作用により極性が増大して有機溶剤を含む現像液に対する溶解度が減少する樹脂、(B)活性光線または放射線の照射によりフッ素原子を含有する酸を発生する光酸発生剤、および(C)溶剤を含有してなり、光酸発生剤(B)の含有率が、該組成物の全固形分を基準として8〜20質量%であるパターン形成方法。 (もっと読む)


本発明は、(ペル)フルオロポリマーの製造方法に関し、前記方法は多相媒体の存在下で1つ以上のフッ素化モノマーを重合するステップを含み、前記媒体が、(A)水相[相(W)]と;(B)R−(OCFCFk−1−O−CF−COOX(I)という式(I)を有する少なくとも1つのフッ素化界面活性剤[界面活性剤(FS)](式中、Rは、任意により1つ以上のエーテル酸素原子を含むC−Cペルフルオロアルキル基であり、kは2または3であり、Xは一価金属と式NRN4のアンモニウム基から選択され、この式中各出現において等しいまたは異なるRは、水素原子またはC−Cアルキル基である)と;(C)少なくとも1つの(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖[鎖(R)]を含む少なくとも1つの非官能性(ペル)フルオロポリエーテル(非官能性PFPE)と、少なくとも1つの(ペル)フルオロポリオキシアルキレン鎖[鎖(R’)]を含み、かつ少なくとも1000の数平均分子量および25℃の水中で1重量%未満の溶解度を有する少なくとも1つの官能性(ペル)フルオロポリエーテル(官能性PFPE)と、を含む油相[相(O)]と;を含んでいる。 (もっと読む)


【課題】優れた液浸媒体耐性およびリソグラフィー特性を両立できる液浸露光用レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ溶解性が変化する樹脂成分(A)および露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含む液浸露光用レジスト組成物であって、前記樹脂成分(A)が、フッ素原子を含有する樹脂(A1)と、アクリル酸から誘導される構成単位(a’)を有し、かつフッ素原子を含有しない樹脂(A2)とを含有し、前記樹脂成分(A)中の前記樹脂(A1)の含有量が0.1〜20質量%の範囲内であり、前記樹脂(A1)が、フッ素化されたヒドロキシアルキル基を有するアクリル酸から誘導される構成単位を有することを特徴とする液浸露光用レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】解像性およびMEFなどのリソグラフィー特性に優れるポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)、および含窒素有機化合物(D)を含有するポジ型レジスト組成物であって、前記基材成分(A)が、側鎖に、2価の連結基で結合された環骨格中に−SO−を含む環式基を有するエステル基を有する(メタ)アクリレート単位(a0)を有し、かつ、その構造中に酸解離性溶解抑制基を含む高分子化合物(A1)を含有し、前記含窒素有機化合物(D)が、エーテル性酸素原子、エステル基、カルボニル基、シアノ基、置換基を有していてもよいフェニル基、および含窒素複素環式基からなる群から選択される少なくとも1種を含むアミン(D1)を含有する。 (もっと読む)


【課題】特にArFエキシマレーザー、電子線、X線、EUV等を露光光源とする場合に、ラフネス特性及びドライエッチング耐性に優れたパターンを形成することが可能な感活性光線性または感放射線性樹脂樹脂組成物、及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】活性光線または放射線の照射により分解して樹脂の側鎖に酸アニオンを発生する部位を含む繰り返し単位(A)を有する樹脂(P)を含み、繰り返し単位(A)が炭素数7以上の芳香環を、少なくとも、該酸アニオン発生部位を有する側鎖上であって該酸アニオン発生部位以外に有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】優れた解像度及び形状を有するパターンを得ることができるレジスト組成物の樹脂用の化合物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される化合物。[式(I)中、環Wは、C3-36飽和炭化水素環を表す。環Wは、C3-36飽和炭化水素環を表す。Rは、水素原子又はメチル基を表す。Rは、C1-6アルキル基を表す。Rは、C1-12炭化水素基を表す。Rは、C1-6アルキル基を表す。sは、1又は2の整数を表す。tは、0〜2の整数を表す。uは、0〜2の整数を表す。]
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【課題】スチレン−フマル酸共重合体とアルコールとの直接エステル化反応により得られた反応混合物から、工業的に有利な高純度のスチレン−フマル酸エステル共重合体を回収できるスチレン−フマル酸エステル共重合体の精製方法を提供する。
【解決手段】酸触媒を用いたスチレン−フマル酸共重合体とアルコールとの直接エステル化反応により得られたスチレン−フマル酸エステル共重合体を含む反応混合物1にメタノール2またはエタノールを接触させて反応混合物1からスチレン−フマル酸エステル共重合体を除く成分を抽出してスチレン−フマル酸エステル共重合体を精製する。 (もっと読む)


【課題】高感度、高溶解コントラストであり、良好なパターンプロファイル、良好なラインエッジラフネス性能を有し、定在波の低減が可能であり、且つ現像欠陥を発生しない感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、それを用いて形成した膜及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(A)一般式で表される特定の化合物、(B)アルカリ不溶性又はアルカリ難溶性であり、酸の存在下でアルカリ易溶性となる樹脂及び(C)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、それを用いて形成した膜及びそれを用いたパターン形成方法。 (もっと読む)


本開示は、固体粒子と構造化されたビニルポリマー分散剤とを含む水性分散系であって、前記構造化ビニルポリマー分散剤が少なくとも1つの親水性セグメントと少なくとも1つの疎水性セグメントを含み、親水性セグメントが少なくとも1つの架橋性部分を含み、架橋性部分が水性インクビヒクルに実質的に不溶性である架橋剤と架橋されている、水性分散系を提供する。これらの分散系は、インクジェットインク中で使用された場合に、新興のインクジェット利用分野に必要とされる必須の光学密度および色度を伴う画像を提供する。 (もっと読む)


【課題】ラインラフネス、エッチング耐性、感度、及び解像度に優れ、高精度な微細パターンを安定して形成可能なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)感放射線性酸発生剤として、所定の一般式で表されるオニウム塩と、(B)酸解離性基を有し、酸解離性基が解離することでアルカリ可溶性となる、アルカリ不溶性又は難溶性の樹脂成分とを含有し、(B)樹脂成分が、特定の繰り返し単位(i)を含むものであるポジ型感放射線性樹脂組成物である。 (もっと読む)


本明細書では、重合可能反応性官能基を含む重合可能ポリマーの反応性溶液の製造方法を開示する。一手法では、(i)N‐ビニルアミドモノマーと、(ii)2官能モノマーと、(iii)重合可能モノマー溶媒とを含む重合可能ポリマーを開示する。別の手法では、(i)N‐ビニルアミドモノマーおよびグラフトに適したコモノマーから作製されるベースポリマーと、(ii)グラフト官能モノマーと、(iii)重合用媒体となり得る重合可能モノマー溶媒とを含む重合可能ポリマーを開示する。また、重合可能ポリマーの反応性溶液を含む組成物およびその様々な可能な用途も開示する。 (もっと読む)


本発明は、少なくとも1つの金属元素と、少なくとも1つの芳香族環を含む少なくとも1つの芳香族モノマーとの配位錯体に関し、この環は少なくとも1つのエチレン性基、少なくとも1つの水酸化物基−OH基、少なくとも1つのオキシム基およびそれらの塩を含み、この金属元素は金属アルコキシドの形態である。 (もっと読む)


【課題】高感度、高解像度、長期間に渡る良好な保存安定性及びプロセス適応性を有する化学増幅ポジ型レジスト材料を提供する。
【解決手段】(A)式(1)で示される繰り返し単位を有する重量平均分子量が1,000〜500,000である高分子化合物、


(B)光酸発生剤、(C)塩基性化合物、(D)カルボン酸、(E)溶剤を含有する化学増幅ポジ型レジスト材料であって、カルボン酸の酸解離定数(pKa)が2以下であり、且つ、カルボン酸の含有量が塩基性化合物の含有量を超えないことを特徴とする化学増幅ポジ型レジスト材料。 (もっと読む)


平版印刷版原版は、40meq/g KOH以上の酸価を有するポリマーバインダー、1つ又は複数のN-アルコキシメチル(アルキル)アクリルアミド又はアルコキシメチル(アルキル)アクリレートから誘導される繰り返し単位を少なくとも3重量%、ペンダント1H-テトラゾール基を有する繰り返し単位を少なくとも2重量%、及び、ペンダントシアノ基を有する繰り返し単位を少なくとも10重量%を含む画像形成性層を有することができる。かかるポリマーバインダーの使用により、特にポジ型原版に対して良好なベーク可能性及び耐化学溶剤性が提供される。 (もっと読む)


【課題】光硬化時に起こる体積収縮が抑制された(メタ)アクリル系モノマー化合物を提供すること。
【解決手段】−CO−NH−CH2−O−よりなるアミドメチロール構造部分を分子内に少なくとも1個含むものである(メタ)アクリル系モノマー化合物,とりわけ炭素数が5〜99個の範囲にあるものである当該モノマー化合物。 (もっと読む)


第一光学部材と、第二光学部材と、第一光学部材と第二光学部材との間に配置される帯電防止層と、を有する光学デバイスであり、ここで、帯電防止層は、アニオンを有する少なくとも一種の重合性オニウム塩と少なくとも一種の非オニウム重合性モノマー、オリゴマー又はポリマーとを含む混合物の反応生成物を含有する、光学デバイス。
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硬表面と後に生じる汚れの間の接着力を低減させるための方法について記載されている。当該方法は、特定のコポリマーAを含む液体組成物により硬表面を処理するステップを含む。これらのコポリマーAは、a1)環状アミド構造を含む一またはそれ以上の特定のモノマー、又は、a2)一又はそれ以上の特定のアルコキシル化モノマー、及び、b)一又はそれ以上のアミド基及びプロトン化又は塩の形態のスルホン酸基を含み、架橋されていても、架橋されていなくてもよい。 (もっと読む)


【課題】
酸性糖類を基材に安定して捕捉する方法、およびその基材。
【解決手段】
酸性糖類を基材に安定して捕捉する方法であって、基材の一方の面側に、親水性基を有するモノマーと、架橋可能な官能基を有するモノマーと、酸性糖を捕捉可能な化合物を固定化するための官能基を有するモノマーとの共重合体で構成される樹脂層と、前記酸性糖を捕捉可能な化合物で構成される固定層とが、この順に積層されてなることを特徴とする酸性糖類捕捉方法および基材。
なし (もっと読む)


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