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Fターム[4J100BA04]の内容

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【課題】体積抵抗率及び絶縁破壊電圧が高く、電気的安定性の高い層間絶縁膜を形成可能なポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(成分A)式(a1)で表される構成単位と、式(a2)で表される構成単位と、式(a3)で表される構成単位及び/又は式(a4)で表される構成単位とを有する共重合体、(成分B)発生酸のpKaが4以下である光酸発生剤、並びに、(成分C)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
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【課題】高解像性で良好な形状の孤立ラインパターンを形成することができ、且つ、ラフネス特性および露光後加熱温度依存性(PEBS:Post Exposure Bake Sensitivity)を含む他のレジスト性能にも優れる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、これを用いた感活性光線性又は感放射線性膜、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】少なくとも1つのフェノール性水酸基と、フェノール性水酸基の水素原子が一般式(1)で表される基によって置換されている基を少なくとも1つ含む化合物を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
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【課題】らせん状構造の置換ポリアセチレン誘導体も得ることができ、特に置換アセチレンの重合開始剤として有用な新規な三座配位子ロジウム錯体を提供する
【解決手段】下記一般式(1)で表わされることを特徴とする三座配位子ロジウム錯体。


(式中、Rは炭素数1〜5の直鎖状又は分岐状のアルキル基、及びアリール基を示す。R及びRは炭素数1〜5の直鎖状又は分岐状のアルキル基、及びアリール基を示し、但し、RとRで同一の基となることはない。Zは炭素数3〜6のアルキレン基を示す。XはNH又はOを示す。*は不斉炭素原子を示す。) (もっと読む)


【解決手段】本発明は、化学増幅型レジスト材料のベース樹脂が酸不安定基で保護された酸性官能基を有するアルカリ不溶性又は難溶性の高分子化合物及びベンゾトリアゾール系化合物を含有する化学増幅ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法に関する。
【効果】本発明によれば、基板上に塗布した膜厚が5〜100μmと厚い場合のパターン形成において、基板付近、パターン底部の抜け性(溶解性)に優れ、感度を向上させることができ、更には、5〜100μmと厚い場合、現像時間の短縮が可能になるといった特徴を有した化学増幅ポジ型レジスト材料を提供できる。 (もっと読む)


【課題】高感度であり、保存安定性及び硬化膜の透明性に優れ、現像寛容度が広い感光性樹脂組成物、並びに、それを用いた硬化膜の形成方法を提供すること。
【解決手段】式(1)で表されるオキシムスルホネート化合物、酸により分解しカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位を有する樹脂、及び、溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。R1はアルキル基、アリール基又はヘテロアリール基を表し、R2はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基又はハロゲン原子を表し、Ar1はo−アリーレン基又はo−ヘテロアリーレン基を表し、XはO又はSを表し、nは1又は2を表す。2以上存在するR2のうち、少なくとも1つはアルキル基、アリール基又はハロゲン原子である。
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【課題】有機溶剤現像において溶解コントラストが大きく、かつ高感度なネガティブパターン形成用レジスト組成物及び有機溶剤による現像によってポジネガ反転によるホールパターンを形成するパターン形成方法を提供する。
【解決手段】スルホンアミド基が酸不安定基で置換された式(1)の繰り返し単位a1及び/又はa2を有する高分子化合物と、酸発生剤と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布し、露光し、有機溶剤による現像液を用いて未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得るパターン形成方法。
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【課題】ネガ現像において得られる親水性有機化合物で形成されるレジストパターンに適用できるだけでなく、従来のポジ現像で得られる疎水性化合物からなるレジストパターンにも適用できるレジスト下層膜形成用組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(A)成分:下記繰り返し単位を有するフェノール性水酸基発生可能な重合体、該重合体の加水分解物、及び前記重合体の加水分解縮合物のうち少なくとも一つ以上、及び


(B)成分:特定の加水分解性ケイ素化合物を含有する混合物を加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物を含むものであることを特徴とするケイ素含有レジスト下層膜形成用組成物。 (もっと読む)


【課題】リビングカチオン重合の開始種に用いることができ、かつ、可逆的付加開裂連鎖移動重合可能な部位を含有するビニルエーテル並びにそれを開始種としてリビングカチオン重合可能なビニル系モノマーを重合して得られ、可逆的付加開裂連鎖移動重合によるリビングラジカル重合が可能な重合体の提供。
【解決手段】次の式(1)



(式中、Xは、酸素原子又は硫黄原子である)で表わされるビニルエーテル及びこれを開始種としてビニル系モノマーをリビングカチオン重合して得られる重合体。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、ELに優れると共に、得られるパターンのLWRを低減し、リソグラフィー特性を向上させることができるフォトレジスト組成物を与え得る感放射線性酸発生剤を提供することである。
【解決手段】本発明の化合物は、下記式(1)で表される。また、下記式(1)におけるRは、炭素数1〜20の鎖状炭化水素基であることが好ましい。さらに、本発明は、[A]本発明の化合物、及び[B]酸解離性基を含む構造単位(I)を有する重合体を含有するフォトレジスト組成物も含む。
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【課題】有機溶剤による現像におけるポジネガ反転の画像形成において、未露光部分の溶解性が高く、露光部分の溶解性が低く、溶解コントラストが高いパターン形成方法を提供する。
【解決手段】単糖類のヒドロキシ基の1つがメタクリルエステルとして結合し、残りのヒドロキシ基が酸不安定基で置換された(メタ)アクリレートの繰り返し単位を含む高分子化合物と酸発生剤を含むレジスト組成物を基板上に塗布し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に有機溶剤による現像液を用いて未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得るパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】複数個の点光源を用いながら、導光板の入光面近傍における輝度ムラ(ホットスポット)の発生がほとんどない面光源装置を液晶表示装置として用いたテレビ受信装置を提供する。
【解決手段】出光面、出光面と対向する対向面、及び、出光面と対向面との間に挟まれた少なくとも1つの入光面を有する導光板、並びに、導光板の少なくとも1つの入光面の近傍に配置された複数の点光源を有する面光源装置と、導光板の出光面と対向するように配置され、光の透過を調整することによって表示をする表示エリア及び表示エリアを画定する遮光枠を有する表示パネルと、放送映像信号を受信するチューナーと、を備えるテレビ受信装置であって、導光板の少なくとも1つの入光面が、開口部又は底面が出光面と垂直な方向に長い異方性形状を有する複数の凹部又は凸部を有する、テレビ受信装置。 (もっと読む)


【解決手段】酸不安定基で置換されたヒドロキシ基を有するシクロオレフィンを重合してなる繰り返し単位を含有する高分子化合物と、酸発生剤と、有機溶剤とを含む、あるいは酸不安定基で置換されたヒドロキシ基を有するシクロオレフィンを重合してなる繰り返し単位とスルホニウム塩の繰り返し単位を含有する高分子化合物と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に有機溶剤による現像液を用いて未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得るパターン形成方法。
【効果】本発明によるフォトレジスト膜は、有機溶剤による現像におけるポジネガ反転の画像形成において、未露光部分の溶解性が高く、露光部分の溶解性が低く溶解コントラストが高くエッチング耐性が高い特徴を有する。 (もっと読む)


【課題】省燃費性に優れる重合体組成物を得ることができる共役ジエン系重合体の製造方法を提供すること。
【解決手段】炭化水素を溶媒とし、少なくとも1種の単量体成分を含有する溶液に、重合開始剤成分として下記化合物(I)及び(II)を化合物(I)、化合物(II)の順に添加して、共役ジエン化合物及びケイ素含有ビニル化合物を含む単量体成分を重合させる共役ジエン系重合体の製造方法。
(I)有機アルカリ金属化合物
(II)下記式(1)で表される化合物


(式中、R11はケイ素原子、窒素原子及び酸素原子からなる原子群より選択される少なくとも一種の原子をヘテロ原子として有していてもよい炭素原子数3〜20のヒドロカルビレン基を表す。) (もっと読む)


【課題】耐屈曲性及び絶縁性を損なうことなく、難燃性と耐ブリード性を備えた硬化物を形成できる硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】芳香環を少なくとも1つ含み且つリン元素を含有する2価の有機基(X)を側鎖に有するカルボキシル基含有(メタ)アクリル系樹脂(A)と、
分子内に2個以上のエポキシ基を有する多官能性エポキシ化合物(B)と、
塩基性触媒(C)と、を含有することを特徴とする硬化性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】炭素系複合材を含有する無電解複合めっき液の分散安定性及びめっき液寿命を向上させることができ、且つ、優れた外観を有するめっき皮膜を得ることができる無電解複合めっき液用分散剤を提供する。
【解決手段】例えばジアリルアミンのハロゲン化水素塩を代表とするグループの第1の化合物、例えばジアリルアミンの硫酸塩を代表とするグループの第2の化合物及び、例えばメチル(メタ)アクリレートを代表とするグループの化合物の群から選択される少なくとも2種のグループの化合物を共重合せしめることにより得られたカチオン性ポリマーを含有しており、炭素系複合材を無電解複合めっき液中に分散せしめるための分散剤であること、を特徴とする無電解複合めっき液用分散剤。 (もっと読む)


【課題】本発明は、アルカリ水溶液に対して十分な耐性を有する被めっき層形成用組成物、および、めっきの均一性に優れた金属層を有する積層体の製造方法、を提供することを目的とする。
【解決手段】熱、酸または輻射線により疎水性から親水性に変化する官能基と、カルボキシル基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、アルコキシシリル基、アセトキシシリル基、クロロシリル基、1級アミノ基、2級アミノ基、3級アミノ基、エポキシ基、オキセタニル基、(メタ)アクリルアミド基、アリル基、スチリル基、マレイミド基、およびシンナモイル基からなる群より選択される少なくとも一種の架橋性基とを有するポリマーを含む被めっき層形成用組成物。 (もっと読む)


【課題】インキの保存安定性ならびに吐出性安定性に優れ、低温乾燥で良好な塗膜耐性(耐擦性、耐水性、耐溶剤性)を発現する水性インクジェットインキ用バインダー樹脂組成物の提供。
【解決手段】イオン性官能基を有さない芳香族エチレン性不飽和単量体(A)0〜20重量%;
スルホン酸基含有エチレン性不飽和単量体(B)またはリン酸基含有エチレン性不飽和単量体(C)0.5〜3.0重量%;
非イオン性の水溶性エチレン性不飽和単量体(D)0.1〜3.0重量%;
架橋性エチレン性不飽和単量体(E)0.1〜10重量%;
を含むエチレン性不飽和単量体を乳化重合してなる樹脂微粒子(F)を含む水性インクジェット用バインダー樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】高いエッチング耐性を有するレジストパターンを形成させることのできる微細パターン形成用組成物、およびそれを用いたレジストパターンの形成方法の提供。
【解決手段】側鎖に芳香族含有置換基を有する水溶性樹脂と純水とを含む微細パターン形成用組成物。この組成物は、水溶性樹脂に結合した酸基を含むか、または組成物中に遊離の酸を含んでいる。 (もっと読む)


【課題】低燃費性、ウェットグリップ性能をバランス良く向上できるゴム組成物、及び該ゴム組成物をタイヤの各部材(特に、トレッド)に用いた空気入りタイヤを提供する。
【解決手段】1,3−ブタジエン、スチレン及びアルコキシスチレンを共重合して得られ、一方の末端にアミノ基を有し、他方の末端に窒素、酸素及びケイ素からなる群より選択される少なくとも1種の原子を含む官能基を有する重量平均分子量が1.0×10〜2.5×10である共重合体を含むゴム成分と、窒素吸着比表面積が100m/g以下であるシリカ(1)と、窒素吸着比表面積が180m/g以上であるシリカ(2)とを含有し、上記ゴム成分100質量部に対する上記シリカ(1)及び(2)の合計含有量が30〜150質量部であることを特徴とするゴム組成物。 (もっと読む)


【解決手段】一般式(1)で示される重合性エステル化合物。


【効果】重合性エステル単量体は、波長500nm以下、特に波長300nm以下の放射線に対して優れた透明性を有し、現像特性の良好な感放射線レジスト材料のベース樹脂を製造するための単量体として非常に有用である。 (もっと読む)


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