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Fターム[4J100BC04]の内容

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【課題】レジストパターン製造時のフォーカスマージン(DOF)が良好であり、レジストパターンを形成した場合に欠陥の発生数を低減することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂、式(II)で表される構造単位を有し、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂及び酸発生剤を含有するレジスト組成物。


[式中、R2はフッ素原子を有する炭化水素基を表す。] (もっと読む)


【課題】 離型性に優れ、さらには、低ソリ性、低反射率、優れた耐傷性を有する硬化性樹脂組成物、その硬化物、このような硬化性樹脂組成物の硬化物を有してなる微細凹凸構造物品、および反射防止板を提供する。
【解決手段】
下記式(1):
【化1】


(式中、Rは炭素数2〜8のアルキレン基、Rは水素原子またはメチル基、mは正の整数である)で示される繰り返し単位を有するビニル系重合体を含有するナノインプリント用硬化性樹脂組成物である。 (もっと読む)


【課題】反射率が高く、しかも経時的に安定な反射率を有する白色反射膜を提供すると共に、そのような白色反射膜を有するLED光源を提供すること。
【解決手段】配線パターンが形成された基板上に、アルカリ可溶感光性樹脂及び白色顔料を含有する白色反射膜形成材料から成る白色反射膜とLEDチップ又はLEDパッケージとを有するLED光源に用いられるアルカリ可溶感光性樹脂の製造方法であって、カルボキシル基(a)を有する(メタ)アクリル系重合体(A)と、グリシジル基(b)及び(メタ)アクリル基を有する化合物(B)とを、四級ホスホニウム塩(C)の存在下にエステル化反応させる側鎖に(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリル系重合体(D)からなるアルカリ可溶感光性樹脂の製造方法。 (もっと読む)


【課題】リソグラフィー特性及びパターン形状に優れたレジスト組成物、該レジスト組成物によるパターン形成方法、及び該レジスト組成物用として有用な高分子化合物の提供。
【解決手段】酸の作用により現像液溶解性が変化する基材成分(A)は、式(a0−1)で表される構成単位と、アクリル酸エステルから誘導される構成単位と、酸分解性基を含む構成単位とを有する樹脂成分(A1)を含有する。[化1]
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【課題】透明性及び可とう性に優れ、且つ吸湿性に優れた硬化物を得ることが可能な活性エネルギー線硬化性組成物、その硬化物及びその硬化物を使用した発光特性に優れた有機EL素子を提供する。
【解決手段】(メタ)アクリロイルモルホリン(A)30〜100質量%及びその他のビニル単量体(B)0〜70質量%を含む単量体成分並びに活性エネルギー線重合開始剤(C)を含有する活性エネルギー線硬化性組成物、活性エネルギー線硬化性組成物をフィルム状に成型した後に硬化して得られる吸湿性硬化物及び吸湿性硬化物を乾燥用吸湿剤として使用する乾燥手段を有する有機EL素子。 (もっと読む)


【課題】レジスト組成物、レジストパターン形成方法及び高分子化合物の提供。
【解決手段】露光により酸を発生し、酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)を含有するレジスト組成物であって、基材成分(A)は、式(a0−11)〜(a0−13)のいずれかの構成単位(a0−1)、露光により酸を発生する構成単位(a0−2)及びアクリル酸エステルから誘導され、酸の作用により極性が増大する酸分解性基を含む構成単位(a1)を有する樹脂成分(A1)を含有する[式中、RはH、アルキル基又はハロゲン化アルキル基であり、Xは単結合又は2価の連結基であり、W、W、Wは環状の飽和炭化水素基である。ただしWはOH基を有する。RはOH基含有飽和炭化水素基であり、pは1〜3であり、X、Xは2価の連結基であり、R、RはH、アルキル基、OH基又はOH基を有するアルキル基である。]
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【課題】感度等の基本特性を満足し、MEEF及びLWRを指標とするリソグラフィー性能に優れるフォトレジスト組成物、並びにこのフォトレジスト組成物を用いたレジストパターンの形成方法、上記フォトレジスト組成物に用いられる重合体、及び化合物の提供。
【解決手段】下記式(1)で表される構造単位を有する重合体、及び感放射線性酸発生体を含有するフォトレジスト組成物である。また、下記Xが、炭素数2〜4のアルカンジイル基であり、下記Zが、Xに結合する炭素原子と共に炭素数5〜8の2価の単環の脂環式基を形成する基であるとよい。
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【課題】 本発明の課題は、大きな屈折率異方性を有し、重合性液晶組成物を構成した場合に高い保存安定性と高い配向性を有する重合性化合物及び当該重合性化合物を含有する重合性液晶組成物を提供することである。更に、当該重合性液晶組成物を重合させることで得られる重合体及び当該重合体を用いた光学異方体を提供することである。
【解決手段】 一般式(I)で表される重合性化合物を提供し、当該化合物を構成部材とする重合性液晶組成物、更に、当該重合性液晶組成物を重合させることにより得られる重合体及び当該重合体を用いた光学異方体を提供する。
【化1】
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【課題】粘着性に富み、柔軟で、優れた力学強度を示すと共に、良好な成形加工性を示すエチレン・α―オレフィン・非共役ポリエン共重合体を提供する。
【解決手段】エチレン[A]、炭素原子数4〜20のα−オレフィン[B]、および少なくとも一種の非共役ポリエン[C]に由来する構造単位を含むエチレン系共重合体であって、(1)エチレン[A]に由来する構造単位が、[A]、[B]および[C]の構造単位の合計を100モル%として、40〜60モルであり、(2)非共役ポリエン[C]に由来する構造単位が、[A]、[B]および[C]の構造単位の合計を100モル%として、0.5〜4.0モル%であり、(3)125℃におけるムーニー粘度ML1+4(125℃)が、10〜80であり、(4)損失弾性率(G’’)が下記式[I]を満たすことを特徴とするエチレン・α―オレフィン・非共役ポリエン共重合体。
5.0×104< G’’(50℃) Pa <1.0×105 [I] (もっと読む)


【課題】優れたCD均一性(CDU)を有するレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供すること。
【解決手段】(A)樹脂と、(B)酸発生剤と、(X)それぞれ式(I−a)及び式(I−b)で表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物とを含有するレジスト組成物、及び該レジスト組成物を用いたレジストパターンの製造方法の提供。


[式中、
は、炭素数1〜20の脂肪族飽和炭化水素基などを表し、
は、炭素数1〜20の脂肪族飽和炭化水素基などを表し、
nは0又は1を表す。] (もっと読む)


【課題】平版印刷における高い耐刷性を実現し、しかも露光部の良好な現像性をも達成する平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】親水性表面を有する支持体上側に、下層及び上層をこの順に配設した記録層を有してなる赤外線感光性ポジ型平版印刷版原版であって、前記上層および/または下層が、特定のマレイミド樹脂Aと、両性界面活性剤および/またはアニオン性界面活性剤と、赤外線吸収剤とを、同じ層に、あるいはそれぞれ別々に層に含有する平版印刷版原版。 (もっと読む)


【課題】微細なパターンの形成においてもCDU等のリソグラフィー特性に優れるフォトレジスト組成物及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】[A]γ−ブチロラクトン環を含む構造単位を有するアダマンチル基及びアダマンタン環を含む酸解離性基含有重合体、及び[B]酸発生体を含有するフォトレジスト組成物であって、上記構造単位の含有割合が60モル%を超えることを特徴とするフォトレジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】接着強度に優れ、臭気の少ない共重合体ラテックスを提供する。
【解決手段】脂肪族共役ジエン系単量体10〜60重量部と炭素数が5以上のアルコールとアクリル酸からなるアクリル酸アルキルエステル単量体5〜40重量部、エチレン系不飽和カルボン酸単量体1〜15重量部およびこれらと共重合可能な他の単量体20〜84重量部から構成される単量体(単量体合計100重量部)を乳化重合して得られる共重合体ラテックスであって、光子相関法による平均粒子径が50〜150nmであり、炭素数が5以上のアルコールとアクリル酸からなるアクリル酸アルキルエステル単量体の残留量が、共重合体ラテックスの固形分基準で300ppm以下であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ナノインプリント法によるパターン形成において、モールド充填性に優れるナノインプリント用感放射線性組成物、及びこれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】同一又は異なる分子中に芳香環及びフッ素原子を含み、フッ素原子に対する芳香環のモル比が6.0以下であるナノインプリント用感放射線性組成物である。上記ナノインプリント用感放射線性組成物は、[A]下記式(1)で表される重合性化合物を含有することが好ましく、また、[B]フッ素化アルキル基を有する特定の構造のアルコールのアクリレートからなる群より選択される少なくとも1種の重合性化合物をさらに含有することが好ましい。
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【課題】本発明の目的は、基材や下地などとの密着性が良好であり、表面硬度、耐熱性および耐酸性が高く、かつ透過率が高く、特に波長400nm付近の透過率が高い感光性樹脂組成物と、それを用いたタッチパネル用絶縁膜を提供することを目的とする。
【解決手段】樹脂(A)と、光重合開始剤(B)と、多官能単量体(C)と、を含有する感光性樹脂組成物であって、樹脂(A)が一般式(1)で表される化合物(a1)と、化合物(a1)と共重合可能な他の化合物(a2)とを共重合してなる樹脂(A1)を含み、多官能単量体(C)が、1分子中に7個以上のエチレン性不飽和二重結合を有することを特徴とする感光性樹脂組成物によって解決される。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、レジストパターンを形成した際に生じるBlob欠陥を抑制することができ、かつ保存安定性に優れた液浸上層膜形成用組成物を提供することである。
【手段】 重合体成分(A)および溶剤(B)を含む液浸上層膜形成用組成物であって、 重合体成分(A)が有する全繰り返し単位のうちの少なくとも一部として、カルボキシル基を有する繰り返し単位(c)と、スルホ基を有する繰り返し単位(s)とを有し、 溶剤(B)として、炭素数が2以上8以下のエーテル系溶剤(B1)を含む、液浸上層膜形成用組成物。 (もっと読む)


【課題】 本願発明の目的は、光学異方体の材料として供される重合性液晶組成物において、紫外線照射による重合と加熱による重合を併用したパターン化膜作製の際に、ひび割れの無い良好な膜が得られる材料を提供することにある。
【解決手段】 重合性液晶化合物、光重合開始剤、及び熱重合開始剤を含有する重合性液晶組成物において、該熱重合開始剤の10時間半減温度が70℃以上93℃以下であることを特徴とする重合性液晶組成物及び当該重合性液晶組成物を硬化させた光学異方体を提供する。 (もっと読む)


【課題】サイズ効果が良好であり、表面サイズ剤の製造から使用するまでの間、貯蔵安定性、特に、高濃度における貯蔵安定性に優れた製紙用表面サイズ剤および機械的シェアに安定で凝集物が発生しにくい表面塗工液を提供する。
【解決手段】(メタ)アクリルアミド(a1)30〜90重量%、スルホン酸基含有不飽和単量体(a2−1)を含むアニオン性不飽和単量体(a2)5〜50重量%、および置換基の炭素数が6〜12である(メタ)アクリル酸アルキルエステル単量体(a3)5〜50重量%を含む単量体成分(a)を共重合させて得られる水溶性ポリマー(A)、アルキルケテンダイマー(B)、トリメリット酸トリアルキルエステル(C)および水溶性アルミニウム化合物(D)を含有する製紙用エマルジョン型表面サイズ剤とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、高速応答が可能であり、かつ電圧保持率、残像特性及び耐光性に優れた液晶表示素子を作製することができ、均一塗布性にも優れる液晶配向剤を提供することである。
【解決手段】本発明は、[A]ポリアミック酸、ポリイミド、(メタ)アクリル重合体、ポリシロキサン及びポリアミック酸エステルからなる群より選択される少なくとも1種の重合体を含有し、かつ上記重合体が下記式(1)で表される基を有する液晶配向剤である。上記Rは、下記式(2)で表される基であることが好ましい。
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【課題】ラインウィズスラフネス等のラフネス性能、局所的なパターン寸法の均一性、露光ラチチュード及びドライエッチング耐性に優れ、かつ露光により形成されるパターン部の膜厚低下、いわゆる膜べりを抑制するパターン形成方法、それに用いられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、電子デバイスの製造方法及び電子デバイスを提供する。
【解決手段】(ア)下記一般式(I)で表される繰り返し単位(a)、及び酸の作用により分解してアルコール性水酸基を生じる基と多環の脂環式炭化水素基とを有する繰り返し単位(b)を有する樹脂(P)並びに活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物(B)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物によって膜を形成する工程、(イ)該膜を露光する工程、及び(ウ)有機溶剤を含む現像液を用いて現像してネガ型のパターンを形成する工程を含む、パターン形成方法。
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