【課題】軟化点が高く、感度が高いレジスト膜を作製できる高分子化合物の提供。
【解決手段】基材成分が、酸の作用により極性が増大するアクリル酸エステルからなる構成単位と、露光により酸を発生する構成単位（ａ３−０）とを有する高分子化合物を含有するレジスト組成物。
（もっと読む）

【課題】長期間の保存においても、液中パーティクルの発生が抑制され、また、優れた放射線感度、露光時の高い後退接触角等特性の経時変動が小さい、保存安定性に優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】本発明は、［Ａ］塩基解離性基を含む構造単位（ｆ）を有する含フッ素重合体を含有し、金属の合計含有量が３０質量ｐｐｂ以下である感放射線性樹脂組成物である。上記金属が、ナトリウム、マグネシウム又は鉄であり、このナトリウム、マグネシウム又は鉄の各含有量がそれぞれ３質量ｐｐｂ以下であることが好ましい。上記構造単位（ｆ）の塩基解離性基がフッ素原子を有することが好ましく、上記塩基解離性基がフッ素原子を有する芳香族炭化水素基であることがさらに好ましい。 （もっと読む）

【課題】優れたラインウィズスラフネス（ＬＷＲ）を有するパターンを得ることができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式（Ｉ）で表される構造単位を有する重合体と、酸に不安定な基を有し、かつアルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂と、酸発生剤とを含むレジスト組成物
（もっと読む）

【課題】ドライ露光、液浸露光、ダブルパターンニングに適するレジスト用重合体、それを含むレジスト材料、ならびにそのレジスト材料を用いるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】一般式（１）：


の繰り返し単位と、酸分解性基を有する繰り返し単位を含有する重合体を用いる。 （もっと読む）

【課題】 感度、解像性といった基本特性だけでなく、ＤＯＦ性能も満足する感放射線性樹脂組成物を提供することを課題とする。
【解決手段】 （Ａ）炭素数６〜２５の脂環式炭化水素骨格を有し、該脂環式炭化水素骨格にカルボニル基を２つ以上有する化合物、および（Ｂ）酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離した時にアルカリ可溶性となる樹脂を含有することを特徴とする、感放射線樹脂組成物を提供する。 （もっと読む）

【課題】優れたフォーカスマージンでレジストパターンを製造することができるレジスト組成物の提供。
【解決手段】式（ａ）で表される構造単位を有する樹脂及び式（Ｂ１）で表される塩を含有するレジスト組成物。


［式中、Ｒ^１は水素原子又はメチル基；Ａ^１は、単結合、脂肪族炭化水素基等；Ａ^２は炭素数１〜６の脂肪族炭化水素基；環Ｗ^１は炭素数４〜３６の脂肪族環；環Ｗ^２は、炭素数４〜１８のラクトン環；Ｑ¹及びＱ²は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１〜６のペルフルオロアルキル基；Ｌ^b1は、炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基；Ｙは置換基を有していてもよい炭素数１〜１８の脂肪族炭化水素基；Ｚ⁺は有機カチオンを表す。］ （もっと読む）

【課題】現像後のディフェクト発生を抑制でき、リソグラフィー特性やパターン形状が良好なポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法、高分子化合物の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分（Ａ）、及び露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）を含有し、基材成分（Ａ）は、式（ａ０−１）で表される構成単位（ａ０）及び式（ａ１−１）で表される構成単位（ａ１）を有する高分子化合物（Ａ１）を含み、（Ａ１）を構成する全構成単位の合計に対し、構成単位（ａ０）の割合が１０〜６０モル％、構成単位（ａ１）の割合が１０〜６０モル％、これらの合計が７０モル％以下であるポジ型レジスト組成物。
（もっと読む）

【課題】塗膜表面に優れた防汚性を付与することができる重合性フッ素系化合物を提供する。また、塗膜表面を摩耗させても、優れた防汚性を維持できる活性エネルギー線硬化型組成物、その硬化物及びその硬化塗膜を有する物品を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表される重合性フッ素系化合物を用いる。


（式中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４及びＲ^５はそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８のうち少なくとも１つは（メタ）アクロイルオキシ骨格を有する基であり、残りは水酸基を表し、Ｘ^１及びＸ^２はそれぞれ独立に２価の有機基、ＰＦＰＥはポリ（パーフルオロアルキレンエーテル）鎖を表す。また、ｎは平均で０〜１０の範囲を表す。） （もっと読む）

【課題】得られるパターンのマスクエラーエンハンスメントファクターが良好なレジスト組成物を提供する。
【解決手段】樹脂、酸発生剤及び式（Ｉ）で表される化合物を含むレジスト組成物。


［式（Ｉ）中、Ｒ¹〜Ｒ^３は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表す。Ａ^１は、単結合又は炭素数１〜２のアルキレン基を表す。Ｒ^４及びＲ^５は、それぞれ独立に、水素原子、又は炭素数１〜２のアルキル基を表す。Ｒ^６及びＲ^７は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数３〜２０の炭化水素基を表すか、或いはＲ^６及びＲ^７は、互いに結合して炭素数２〜１２の複素環を形成してもよい。］ （もっと読む）

【課題】 平均一次粒子径が８０〜５００ｎｍの有機微粒子を用いることにより塗工面に微細な凹凸を形成し巻き取り可能にする。
【解決手段】 多官能（メタ）アクリレート化合物１００重量部に対して、リン酸エステル基を有する（メタ）アクリレート化合物を１〜３０重量部、２官能以上の（メタ）アクリレートを主成分とし平均粒子径が８０〜５００ｎｍの有機微粒子を固形分で０．５〜５０重量部配合する。更に、アミド基含有（メタ）アクリレート化合物を５〜２０重量部を配合する。 （もっと読む）

【課題】優れた液晶配向能を有する液晶配向膜を備えることで液晶の配向均一性が高いコレステリック液晶ディスプレイ、及びこのコレステリック液晶ディスプレイの製造方法、並びにこのような液晶配向膜を形成するために用いられる液晶配向剤を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、対向する一対の基板、この各基板と垂直方向に分割された基板間の複数の領域にそれぞれ配置されるコレステリック液晶、及び上記各基板とコレステリック液晶との間にそれぞれ積層される液晶配向膜を備えるコレステリック液晶ディスプレイであって、少なくとも一方側の上記液晶配向膜が感放射線性液晶配向剤によって形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】優れた解像性を有し、矩形性が良好な微細パターンを形成できるとともに、酸発生剤から発生する酸が弱い場合も良好なレジスト特性が得られ、感度も良好なフォトレジスト組成物を構成できる高分子化合物の調製に好適な新規化合物を提供する。
【解決手段】下記一般式（２）（式中、Ｒ₁はアダマンタン骨格を有する炭素数２０以下の脂肪族環式基（但し、カルボニル基を有する基を除く。）であり、ｎは０または１〜５の整数を表し、Ｒ₂は水素原子、フッ素原子又は炭素数２０以下の低級アルキル基を表す。）で示される化合物。
［化１］
（もっと読む）

【課題】得られるパターンのマスクエラーエンハンスメントファクター（ＭＥＥＦ）をより改善することができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】 重合体（ＩＡ）又は重合体（ＩＢ）の重合体と、酸に不安定な基を有し、かつアルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂と、酸発生剤とを含むレジスト組成物であって、重合体（ＩＡ）は式（Ｉ）のモノマーに由来する構造単位からなり、重合体（ＩＢ）は、式（Ｉ）のモノマーに由来する構造単位と、式（ＩＩ）又は式（ＩＩＩ）のモノマーに由来する構造単位からなる。


［式中、Ｒ^１、Ｒ^４及びＲ^８はＨ等；Ｒ^２、Ｒ^３は飽和炭化水素基；Ａ¹、Ａ^２は−（ＣＨ_２）_ｍ−ＣＯ−Ｏ−＊等；ｍは１〜６の整数；＊はＮとの結合手；Ｒ^５は芳香族炭化水素基；Ｒ^６は炭化水素基；Ｒ^７はフッ化アルキル基；Ａ^３は２価の飽和炭化水素基を表す。］ （もっと読む）

【課題】
塗料調色時の減粘現象が抑制され、塗装作業性に優れた水性塗料組成物を提供する。
【解決手段】
共重合体（Ａ）、共重合体（Ｂ）及び樹脂エマルション成分（Ｃ）を含み、（Ａ）が（ｍ−１）炭素数３〜２４のアルキル基を有するモノマー（ａ）を５〜１００質量％含有するモノマー成分（Ｉ）を重合することにより得られる重合体鎖と重合性不飽和基とを有する数平均分子量が１,０００〜７,０００の範囲内のマクロモノマー、（ｍ−２）ノニオン性の親水基を有するモノマー及び（ｍ−３）その他のモノマーからなるモノマー成分（ｍ）を共重合することにより得られる重量平均分子量が１００，０００以上の共重合体であり、（Ｂ）がポリオキシアルキレン鎖を有するモノマーを１０〜４０質量％含むモノマー成分を共重合して得られる酸価が２０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量が１００，０００未満の共重合体であることを特徴とする水性塗料組成物。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式により塗工される硬化性組成物であって、硬化後の硬化物の耐湿熱性を高くすることができるインクジェット用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】本発明は、インクジェット方式により塗工され、かつ光の照射により硬化するインクジェット用硬化性組成物に関する。本発明に係るインクジェット用硬化性組成物は、多環骨格を有し、かつ（メタ）アクリロイル基を２個以上有する多官能化合物と、多環骨格を有し、かつ（メタ）アクリロイル基を１個有する単官能化合物と、光重合開始剤とを含む。 （もっと読む）

【課題】低色分散、高光線透過率等の優れた光学特性を有し、光学レンズ・プリズム材料に求められる種々の特性バランスに優れ、湿熱条件のような厳しい実使用条件でも、屈折率の分岐を生じることがない、高度の光学特性を維持した多官能（メタ）アクリル酸エステル組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）成分と（Ｂ）成分からなる樹脂組成物であって、（Ａ）成分が脂環式構造を有する単官能（メタ）アクリル酸エステル（ａ）、アルコール性水酸基を有する単官能（メタ）アクリル酸エステル（ｂ）、２官能（メタ）アクリル酸エステル（ｃ）と、２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン（ｄ）を含む成分を共重合して得られる重合性基を有する共重合体であり、（Ｂ）成分が不飽和二重結合を有する官能基を１つ以上有するモノマーであり、（Ａ）成分の配合量が１〜７０wt％である硬化性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】数μｍ程度の異物が存在するカラーフィルタ上に塗膜を形成する場合において、液晶表示装置の表示不良を低減することができる硬化性樹脂組成物。
【解決手段】下記（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を含み、（Ｂ）の含有量が、（Ａ）の含有量１００質量部に対して２０質量部以上１００質量部以下である硬化性樹脂組成物。
（Ａ）不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種に由来する構造単位と、オキシラニル基及び炭素−炭素不飽和二重結合を有する単量体に由来する構造単位とを含む付加重合体（ただし、側鎖に炭素−炭素不飽和二重結合を有さない）
（Ｂ）側鎖に炭素−炭素不飽和二重結合を有し、重量平均分子量が１０，０００以上１００，０００以下である樹脂
（Ｃ）溶剤 （もっと読む）

【課題】特に露光光源として電子線、Ｘ線又はＥＵＶ光を用いるリソグラフィーにおいて、感度、高解像性、パターン形状、及びラインエッジラフネス、ドライエッチング耐性を同時に満足する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物並びにそれを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】カチオンを有するカチオン性繰り返し単位（Ａ）、
前記カチオンとイオン対を形成するアニオンを有し、かつ活性光線又は放射線の照射により前記カチオンから解離して酸を発生するアニオン性繰り返し単位（Ｂ）、及び
酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する繰り返し単位（Ｃ）を有する樹脂（Ｐ）を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】光学特性、耐熱性および高い成形性を有する硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】炭素原子からなる主鎖と、重合性不飽和結合基を有する側鎖を有し、かつ、主鎖および／または側鎖に環状構造を有する重合体（Ａ）と、重合性不飽和基を有する化合物を含む硬化性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】優れた解像度を有するパターンを得ることができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】酸に不安定な基を有し、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂と、酸発生剤と、式（Ｉ’）で表される化合物とを含有し、樹脂が式（ａ２−０）で表される化合物に由来する構造単位を有するレジスト組成物。
（もっと読む）