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Fターム[4J100BC08]の内容

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Fターム[4J100BC08]に分類される特許

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【課題】ネガ型パターンを高解像性で、かつ、良好な形状で形成できるレジストパターン形成方法と、これに用いるのに好適なレジスト組成物の提供。
【解決手段】基材成分(A)及び光塩基発生剤成分を含有するレジスト組成物を用いてレジスト膜を形成する工程、レジスト膜を露光する工程、露光後にベークを行う工程、レジスト膜をアルカリ現像し、未露光部が溶解除去されたネガ型レジストパターンを形成する工程を含むレジストパターン形成方法、及びこれに用いるレジスト組成物であって、(A)成分は酸分解性基を含む構成単位、−SO−又はラクトン含有環式基を含む構成単位、式(a3−1)で表される構成単位(但し10モル%以下)を有する高分子化合物を含む。
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【課題】感度、解像性及びリソグラフィー特性に優れるレジスト組成物、該レジスト組成物用として有用な高分子化合物、該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】露光により酸を発生し、且つ、酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)を含有するレジスト組成物であって、前記基材成分(A)は、一般式(a5−0)で表される構成単位(a5)と、露光により酸を発生する構成単位(a6)とを有する高分子化合物(A1)を含むことを特徴とするレジスト組成物。
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【課題】光学等方性、機械的強度及び高温下における寸法安定性に優れる光学フィルム、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】メタクリル酸単量体及びメタクリル酸エステル類から選ばれる第一の単量体から形成される第一の構造単位50〜95質量%、特定のN−置換マレイミド化合物から選ばれる第二の単量体から形成される第二の構造単位0.1〜20質量%及び第二の単量体とは異なる、特定のN−置換マレイミド化合物から選ばれる第三の単量体から形成される第三の構造単位0.1〜49.9質量%を有するアクリル系熱可塑性樹脂を主成分として含み、120℃で30分間加熱した時の熱収縮率の絶対値が、MD方向及びTD方向のいずれも1.5%以下であり、耐折回数が、MD方向及びTD方向のいずれも5回以上であり、面内方向の位相差の絶対値が20nm以下であり、厚さ方向の位相差の絶対値が20nm以下である光学フィルム。 (もっと読む)


【課題】表面硬度と帯電防止性とを兼備し、更に透明性、耐カール性にも優れるハードコート層が得られる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物、該樹脂組成物を含む塗料、該塗料からなる塗膜、及び該塗膜層を有するフィルムを提供すること。
【解決手段】
平均粒子径が95〜250nmの範囲である無機微粒子(A)、アルカリ金属塩(B)、分子構造中にポリオキシアルキレン骨格を有するオルガノポリシロキサン(C)及び重量平均分子量(Mw)が5,000〜80,000の範囲であり、分子構造中に(メタ)アクリロイル基を有するアクリル重合体(X)を必須の成分として含有し、その不揮発成分100質量部中に前記無機微粒子(A)を35〜60質量部の範囲で含有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ディフェクトの発生が低減され、リソグラフィー特性に優れたレジスト組成物の基材成分として有用な高分子化合物の製造方法、並びに当該高分子化合物を含有するレジスト組成物、及び当該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】少なくとも、−SO−含有環式基を含むモノマーと、酸の作用により極性が増大する酸分解性基を含むモノマーとを共重合して高分子化合物(但し、該高分子化合物は露光により酸を発生するモノマーから誘導される構成単位を含まない)を製造する方法であって、前記共重合を、前記−SO−含有環式基を含むモノマーに対して、0.001〜1.0モル%の塩基性化合物の存在下で行うことを特徴とする高分子化合物の製造方法。 (もっと読む)


【課題】露光余裕度が大きく、かつラフネスが低減されたレジストパターンを形成できるレジスト組成物及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用により極性が増大する酸分解性基を含む下記構成単位(a10)と、−SO−含有環式基を含む構成単位と、アクリル酸エステルから誘導され極性基含有脂肪族炭化水素基を含む構成単位と、を有する樹脂成分(A1)、及び露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するレジスト組成物。(式中、Rは一般式(a10−1)又は下記一般式(a10−2)で表される基であり、Xは酸素原子又はCHである)
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【課題】感度、解像性、リソグラフィー特性及びエッチング耐性に優れる高分子化合物、レジスト組成物、及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用により現像液に対する溶解性が変化し、(a5−0)で表される構成単位を有する高分子化合物を含む基材成分(A)及び露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するレジスト組成物。(式(a5−0)中、Rは水素原子、アルキル基又はハロゲン化アルキル基である。Rは硫黄原子又は酸素原子である。Rは単結合又は2価の連結基である。Yは芳香族炭化水素基、又は多環式基を有する脂肪族炭化水素基である。)
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【課題】炭素数6以下のパーフルオロアルキル基であっても撥水撥油剤、防汚剤または離型剤として要求される充分な性能を与える、含フッ素単量体として使用される含フッ素化合物を提供する。
【解決手段】(a)式:CH2=C(-X)-C(=O)-Y-Z-W-Rf
[式中、Xは、水素原子、一価の有機基またはハロゲン原子であり、
Y は、-O- または -NH-であり、
Zは、直接結合または二価の有機基であり、
Rfは、炭素数1〜20のフルオロアルキル基であり、
Wは、-(CL1L2-CL3L4)a-、または-(CL5L6-CL7L8)a-である。
(L1〜L4の少なくとも1つは、塩素原子であり、
1〜L4の残りの少なくとも1つは、水素原子であり、
5〜L8の少なくとも1つは、炭素数1〜22の炭化水素基であり、
5〜L8の残りの少なくとも1つは、フッ素原子であり、
aは、1〜50の整数である。)]
で示される含フッ素単量体から誘導された繰り返し単位
を有してなる含フッ素重合体を含んでなる含フッ素組成物。 (もっと読む)


【課題】マスクエラーファクター優れたレジストパターンレジストパターンを得ることができる化合物、樹脂、レジスト組成物等を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される化合物、この化合物に由来する構造単位を有する樹脂と、酸発生剤とを含有するレジスト組成物。


[式中、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基を表すか又はR及びRが互いに結合し、それらが結合している炭素原子とともに炭素数5〜20の環を形成する。Rは、エチレン性二重結合を含む基を表す。Wは、炭素数6〜18の2価の脂環式炭化水素基を表す。Tは、単結合、炭素数1〜6の2価の脂肪族炭化水素基等を表す。Tは、炭素数1〜6の2価の脂肪族炭化水素基等を表す。] (もっと読む)


【課題】優れたCD均一性を有するレジストパターンを製造可能なレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(aa)で表される構造単位を有する樹脂及び酸発生剤を含み、酸発生剤が、式(B1)で表される塩を含む酸発生剤であるレジスト組成物。式(aa)中、Tは、環骨格中に−O−SO−を有する炭素数4〜34の環式基を表す。Rは、ハロゲン原子を有してもよい炭素数1〜6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。Rは、炭素数1〜6のアルキル基を表す。Rは、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表す。
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【課題】EUV用またはEB用として有用なレジスト組成物、該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】露光により酸を発生し、且つ、酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)を含有するEUV用又はEB用レジスト組成物であって、前記基材成分(A)が、下記一般式(a0−1)又は(a0−2)で表される基を含む構成単位(a0)を有する高分子化合物(A1)を含有し、前記基材成分(A)に加えて、光反応型クエンチャー(C)を含有することを特徴とするEUV用又はEB用レジスト組成物。式中の基−R−S(R)(R)は、全体で芳香環を1個のみ有するか又は芳香環を有さない。Mm+は、芳香環を1個のみ有するか又は芳香環を有さない。
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【課題】優れたラインエッジラフネス(LER)を有するレジストパターンを得ることができる化合物、樹脂、レジスト組成物等を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される化合物、この化合物に由来する構造単位を有する樹脂及びこれを含むレジスト組成物。


[式中、Rはエチレン性二重結合を含む基;Wは2価の脂環式炭化水素基;Tは、単結合、2価の脂肪族炭化水素基等;Tは2価の脂肪族炭化水素基等] (もっと読む)


【課題】解像性に優れ、良好な耐エッチング性及び硬化膜柔軟性を有する感光性樹脂組成物及び積層体の提供。
【解決手段】全固形分を基準として、以下の:(A)アルカリ可溶性高分子:10〜90質量%、(B)エチレン性不飽和二重結合を有する単量体:5〜70質量%、及び(C)光重合開始剤:0.01〜20質量%、を含む感光性樹脂組成物であって、該(A)アルカリ可溶性高分子は、酸当量100〜600、及び重量平均分子量5,000〜200,000を有し、かつベンジル(メタ)アクリレート系化合物と、脂環式炭化水素基又は複素環式基を有する(メタ)アクリレート系化合物とを含む単量体成分の共重合体である、前記感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】疎水性が高く液浸水への溶出が低く、酸拡散制御による、高解像性パターンプロファイルの構築。
【解決手段】(A)式(1−1)の化合物(B)式(1−2)で示される酸発生剤、(C)ベース樹脂、(D)有機溶剤を含有するArF液浸露光用化学増幅ポジ型レジスト材料。


(Arはアリール基。)


(R1はアルキル基、アルケニル基又はアラルキル基。R2は水素原子又はトリフルオロメチル基。Arはアリール基。) (もっと読む)


【課題】解像度、密着性及びレジスト形状がいずれも良好である感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、脂環状又は分岐状の基を有する(メタ)アクリル酸エステル化合物及び(メタ)アクリル酸に基づく構成単位を有し、分散度が1.6以下であるバインダーポリマーと、光重合性化合物と、光重合開始剤とを含有する。 (もっと読む)


【解決手段】(A)酸不安定基を含む繰り返し単位(a1)と、環状の炭化水素基を有し、その環内にエステル基、エーテル基、炭酸エステル基又はスルホン酸エステル基のうち少なくとも1つを含む繰り返し単位(a2)と、オキシラン環を有する繰り返し単位(a3)を含み、酸によってアルカリ溶解性が向上する樹脂、(B)光酸発生剤、(C)溶剤を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。
【効果】本発明によれば、良好なライン幅ラフネス(LWR)とマスク忠実性(MEF)を有し、微細パターンにおいても矩形性が高く、パターン倒れ耐性に優れたレジスト組成物を提供することができる。 (もっと読む)


【解決手段】ヒドロキシ基が酸不安定基で置換された繰り返し単位含有高分子化合物及び酸発生剤又はヒドロキシ基が酸不安定基で置換された繰り返し単位と露光により酸を発生する繰り返し単位含有高分子化合物と、パーフルオロアルキルエーテルカルボン酸のスルホニウム塩又はヨードニウム塩と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布し、加熱処理後高エネルギー線でレジスト膜を露光し、加熱処理後有機溶剤による現像液を用いて未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得るパターン形成方法。
【効果】ヒドロキシ基の水素原子を酸不安定基で置換した繰り返し単位含有高分子化合物と酸発生剤とパーフルオロアルキルエーテルカルボン酸のオニウム塩を含むフォトレジスト膜は、有機溶剤による現像におけるポジネガ反転の画像形成において、未露光部分の溶解性が高く、露光部分の溶解性が低く、溶解コントラストが高い特徴を有する。 (もっと読む)


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