【課題】優れたＣＤ均一性を有し、かつ欠陥が少ないレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】（Ａ１）式（Ｉ）で表される構造単位を有する樹脂、（Ａ２）アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂及び（Ｂ）アルカリ現像液の作用により開裂する構造を有する酸発生剤を含有するレジスト組成物。


［式（Ｉ）中、Ｒ¹は、水素原子又はメチル基を表す。Ａ¹は、炭素数１〜６のアルカンジイル基を表す。Ｒ²は、フッ素原子を有する炭素数１〜１０の炭化水素基を表す。］ （もっと読む）

【課題】低色分散、高光線透過率等の優れた光学特性を有し、光学レンズ・プリズム材料に求められる種々の特性バランスに優れ、さらに湿熱条件のような厳しい実使用条件でも屈折率の分岐を生じることなく、高度の光学特性を維持した新規な多官能（メタ）アクリル酸エステル共重合体と、それを使用した硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】脂環式構造を有する単官能（メタ）アクリル酸エステル（ａ）、２官能（メタ）アクリル酸エステル（ｂ）と、２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン（ｃ）及びチオール化合物（ｄ）を含む成分を共重合して得られる共重合体であって、側鎖に２官能（メタ）アクリル酸エステル（ｂ）由来の反応性の（メタ）アクリレート基を有し、末端に２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン（ｃ）及びチオール化合物（ｄ）由来の構造単位を有する共重合体、及びこれを含む硬化性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】高い光屈折性及び蛍光特性を有し、樹脂原料等として好適な化合物及びこの製造方法、この化合物を含む組成物並びに硬化物を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、下記式（１）で表されるアントラセン誘導体である。


（式（１）中、Ｘは、（ｎ_１＋１）価の芳香族基であり、この芳香族基が置換基を有していてもよい。Ｙは、（ｎ_２＋１）価の芳香族基であり、この芳香族基が置換基を有していてもよい。ｎ_１及びｎ_２は、それぞれ独立して、１〜３の整数である。） （もっと読む）

【課題】通常露光（ドライ露光）のみならず液浸露光に於いても、プロファイルの劣化が少なく、パターン倒れが改良され、スカムの発生が抑制された、レジスト組成物及び該レジスト組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｃ）疎水性樹脂及び
（Ｄ）溶剤を含有し、樹脂（Ａ）の重量平均分子量と疎水性樹脂（Ｃ）の重量平均分子量との差が、下記式を満たすレジスト組成物及び該レジスト組成物を用いたパターン形成方法。
樹脂（Ａ）の重量平均分子量 − 疎水性樹脂（Ｃ）の重量平均分子量 ≧３０００ （もっと読む）

【課題】現像性が良好で且つポストベーク後の表面レチキュレーションの発生を抑制し得る着色感光性樹脂組成物及びパターン形成方法、並びに、表面レチキュレーションがなく、線幅感度、直線性及び耐熱性に優れた着色パターンを有するカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ及び表示装置を提供する。
【解決手段】着色剤、バインダー樹脂、重合性化合物、光重合開始剤、及び溶剤を含有し、前記着色剤の含有量が着色感光性樹脂組成物の固形分に対し質量分率で１５質量％〜６０質量％であり、前記バインダー樹脂が分子内に、アリル基を有する構造単位、Ｎ位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び環状イミド基を有する構造単位から選択される構造単位と、酸性基を有する構造単位とを有し、前記重合性化合物がカルボキシル基含有多官能性単量体であり、前記光重合開始剤がロフィン系光重合開始剤又はオキシム系光重合開始剤である着色感光性樹脂組成物である。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルター等に使用可能な、優れた性能を有する感光性樹脂、特に露光感度が高く、かつアルカリ水溶液による現像性が良好である感光性樹脂を提供する。
【解決手段】（ｉ）グリシジル基を含有するラジカル重合性化合物（ａ）を５〜９５モル％、及び該（ａ）と共重合し得るラジカル重合性化合物（ｂ）５〜９５モル％で共重合させ、該（ａ）及び該（ｂ）からなる共重合体を得て、（ｉｉ）該共重合体に含まれるグリシジル基の９０〜１００％に下記式（１）で示される化合物（ｃ）及び(メタ)アクリル酸を付加させ、このときの化合物（ｃ）の付加量が、該共重合体に含まれるグリシジル基の５〜５０モル％であり、（ｉｉｉ）更に、化合物（ｃ）及び（メタ）アクリル酸を付加させたときに生成した水酸基の５〜１００％に多塩基酸無水物（ｄ）を付加させて得られる、感光性樹脂（Ａ）。
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【課題】電子線リソグラフィー又はＥＵＶリソグラフィー等の短波長リソグラフィーに適しており、感度、解像度及び形状が良好なパターンを形成し得るフォトレジスト組成物を提供すること。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ可溶性に変化する樹脂、式（１）で表される化合物、及び、露光により酸を発生する酸発生剤、を含有するフォトレジスト組成物。Ｒ¹〜Ｒ⁵は、それぞれ独立に、水素原子又は環状構造を有する酸解離性基を示し、かつ、該酸解離性基を少なくとも１つ含む。
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【課題】耐熱性に優れた透明硬化樹脂パターン及び塗膜を形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】アリル基及びメタアリル基からなる群から選ばれる１以上の基を有する化合物（Ａ）、２以上のメルカプト基を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）並びにアルカリ可溶性樹脂（Ｅ）を含有する感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】吸湿性や透湿性が低く、適度な弾性を有し、脆さがなく、機械的強度に優れたフィルム、これを用いた偏光板および画像表示装置の提供を目的とする。
【解決手段】（Ａ）炭素数２〜２０のα−オレフィンの少なくとも一種と、（Ｂ）下記一般式で表される環状オレフィンの少なくとも一種とからなる共重合体を含むフィルムであって、該共重合体は該（Ａ）から誘導される繰返し単位のモル分率が１０〜７０モル％、該（Ｂ）から誘導される繰返し単位のモル分率が３０〜９０モル％であり、かつ、重量平均分子量が５０，０００〜１，０００，０００であるフィルム。


式中、Ｒ^１〜Ｒ^４はそれぞれ独立に水素原子またはアルキル基を表すが、Ｒ^１〜Ｒ^４のうち、少なくとも一つは直鎖または分岐状の炭素数４以上のアルキル基である。ｍは０または１を表す。 （もっと読む）

【課題】エネルギーロスが少なく、生産性に優れ、熱劣化が少ない変性ポリオレフィン樹脂の製造方法を提供すること。
【解決手段】以下の連続する工程からなることを特徴とする変性ポリオレフィン樹脂の製造方法；（１）１〜４０重量％の揮発成分を含有するポリオレフィン樹脂から揮発成分を脱揮して、揮発成分量が０〜０．５重量％であるポリオレフィン樹脂（Ａ）を得る工程、ならびに、（２）該ポリオレフィン樹脂（Ａ）１００重量部と、少なくとも１種の不飽和基（ｂ１）および少なくとも１種の極性基（ｂ２）を有する化合物（ｂ）０．０１〜２０重量部と、有機過酸化物（ｃ）０．００１〜２０重量部とを反応させて、変性ポリオレフィン樹脂（Ｂ）を製造する工程。 （もっと読む）

【課題】ＩＣ等の半導体製造工程、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造、さらにその他のフォトファブリケーション工程などに使用されるレジスト組成物及び該レジスト組成物を用いたパターン形成方法であって、感度、解像度、ラフネス、パターン形状及びアウトガス特性に優れたレジスト組成物、該レジスト組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する化合物である特定のスルフォニウム化合物、及び、特定の繰り返し単位を有するポリヒドロキシスチレン樹脂を含有するレジスト組成物及び該レジスト組成物を用いたパターン形成方法。 （もっと読む）