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Fターム[4J100BC54]の内容

付加系(共)重合体、後処理、化学変成 (209,625) |  (19,108) | (縮合)複素環 (5,693) | 異項原子としてO原子を有する(縮合)複素環 (3,092) | 異項原子としてO原子を1つ有する(縮合)複素環 (2,515) | エポキシ環(他の環と縮合したものを含む) (660)

Fターム[4J100BC54]に分類される特許

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【課題】マスクエラーファクター優れたレジストパターンレジストパターンを得ることができる化合物、樹脂、レジスト組成物等を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される化合物、この化合物に由来する構造単位を有する樹脂と、酸発生剤とを含有するレジスト組成物。


[式中、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基を表すか又はR及びRが互いに結合し、それらが結合している炭素原子とともに炭素数5〜20の環を形成する。Rは、エチレン性二重結合を含む基を表す。Wは、炭素数6〜18の2価の脂環式炭化水素基を表す。Tは、単結合、炭素数1〜6の2価の脂肪族炭化水素基等を表す。Tは、炭素数1〜6の2価の脂肪族炭化水素基等を表す。] (もっと読む)


【課題】高感度かつ露光後焼成が不要で、アルカリ水溶液で現像することにより得られるパターニングされた透明膜の形成に有用なポジ型感光性組成物を提供する。
【解決手段】アルコキシシリルを有するラジカル重合性モノマー(a1)と、酸性基を有するラジカル重合性モノマー(a2)と、(a1)と(a2)以外のラジカル重合性モノマー(a3)とをラジカル共重合してなるポリマー(A)、光酸発生剤(B)、及び有機溶剤(C)を含有するポジ型感光性組成物を提供する。 (もっと読む)


【解決手段】ヒドロキシ基が酸不安定基で置換された繰り返し単位含有高分子化合物及び酸発生剤又はヒドロキシ基が酸不安定基で置換された繰り返し単位と露光により酸を発生する繰り返し単位含有高分子化合物と、パーフルオロアルキルエーテルカルボン酸のスルホニウム塩又はヨードニウム塩と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布し、加熱処理後高エネルギー線でレジスト膜を露光し、加熱処理後有機溶剤による現像液を用いて未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得るパターン形成方法。
【効果】ヒドロキシ基の水素原子を酸不安定基で置換した繰り返し単位含有高分子化合物と酸発生剤とパーフルオロアルキルエーテルカルボン酸のオニウム塩を含むフォトレジスト膜は、有機溶剤による現像におけるポジネガ反転の画像形成において、未露光部分の溶解性が高く、露光部分の溶解性が低く、溶解コントラストが高い特徴を有する。 (もっと読む)


【解決手段】(A)酸不安定基を含む繰り返し単位(a1)と、環状の炭化水素基を有し、その環内にエステル基、エーテル基、炭酸エステル基又はスルホン酸エステル基のうち少なくとも1つを含む繰り返し単位(a2)と、オキシラン環を有する繰り返し単位(a3)を含み、酸によってアルカリ溶解性が向上する樹脂、(B)光酸発生剤、(C)溶剤を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。
【効果】本発明によれば、良好なライン幅ラフネス(LWR)とマスク忠実性(MEF)を有し、微細パターンにおいても矩形性が高く、パターン倒れ耐性に優れたレジスト組成物を提供することができる。 (もっと読む)


【課題】ゴム組成物などのポリマー組成物の物性を改良する。
【解決手段】天然ゴムラテックスをエポキシ化することにより得られ、平均粒子径が10μm以下であるエポキシ化天然ゴムからなる微粒子ゴム粉末である。該微粒子ゴム粉末は、フィラーを代替するものとして、又は、ゴムポリマーを代替するものとして使用することができ、ベースポリマー100質量部に対して該微粒子ゴム粉末を1〜300質量部配合してなるポリマー組成物が提供される。また、ベースポリマーとして硫黄架橋性ゴムを用いたゴム組成物は、空気入りタイヤのゴム部分を構成するものとして好適に用いられる。 (もっと読む)


【課題】低燃費性、ウェットグリップ性能、耐摩耗性を向上できるタイヤ用ゴム組成物、及びこれを用いた空気入りタイヤを提供する。
【解決手段】ジエン系重合体とシリカとガラス転移温度−40〜−10℃の、水酸基を有するジエン系ゴムゲルとを含み、前記ジエン系重合体が、下記(A)と(B)を反応させて得られる変性されたジエン系重合体であり、前記ジエン系ゴムゲルの含有量がゴム成分100質量部に対して10〜30質量部であるタイヤ用ゴム組成物。(A):下記(C)の存在下に、共役ジエンモノマー又は共役ジエンモノマーと芳香族ビニルモノマーとを重合させることにより得られるアルカリ金属末端を有する活性共役ジエン系重合体。(B):官能基を有する変性剤。(C):下記式(1)で表される化合物と有機アルカリ金属化合物を反応させて得られる化学種。
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【課題】低燃費性、ウェットグリップ性能、耐摩耗性を向上できるタイヤ用ゴム組成物、及びこれを用いた空気入りタイヤを提供する。
【解決手段】ジエン系重合体とシリカと軟化点−20〜20℃の液状レジンとを含み、前記ジエン系重合体が、下記(A)と(B)を反応させて得られる変性されたジエン系重合体であり、ゴム成分100質量部に対する前記液状レジンの含有量が3〜40質量部であるタイヤ用ゴム組成物。(A):下記(C)の存在下に、共役ジエンモノマー又は共役ジエンモノマーと芳香族ビニルモノマーとを重合させることにより得られるアルカリ金属末端を有する活性共役ジエン系重合体。(B):官能基を有する変性剤。(C):下記式(1)で表される化合物と有機アルカリ金属化合物を反応させて得られる化学種。
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【課題】反射率が高く、しかも経時的に安定な反射率を有する白色反射膜を提供すると共に、そのような白色反射膜を有するLED光源を提供すること。
【解決手段】配線パターンが形成された基板上に、アルカリ可溶感光性樹脂及び白色顔料を含有する白色反射膜形成材料から成る白色反射膜とLEDチップ又はLEDパッケージとを有するLED光源に用いられるアルカリ可溶感光性樹脂の製造方法であって、カルボキシル基(a1)及び水酸基(a2)を有する(メタ)アクリル系重合体(A)と、グリシジル基(b1)及び(メタ)アクリル基(b2)を有する化合物(B)とを、四級ホスホニウム塩(C)の存在下にエステル化反応させることを特徴とする側鎖に(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリル系重合体(D)からなるアルカリ可溶感光性樹脂の製造方法。 (もっと読む)


【課題】現像時における未露光部の溶解を抑制することができるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(成分A)無機粒子、(成分B)酸基を有する分散剤、(成分C)溶剤、(成分D)(a−1)酸及び/又は熱によって脱離する基を有する構成単位と(a−2)架橋性基を有する構成単位とを有する重合体、並びに、(成分E)光酸発生剤を含有し、成分Dの酸価が、50mgKOH/g以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】高感度であり、保存安定性に優れ、得られる硬化膜の信頼性(特に耐薬品性)に優れ、硬化膜製造の際の露光マージンや現像マージンが広い感光性樹脂組成物等の提供。
【解決手段】 (A)酸分解性基で保護されたカルボキシ基を有するモノマー由来の繰り返し単位、および/または、酸分解性基で保護されたフェノール性水酸基を有するモノマー由来の繰り返し単位(a1)と、架橋基を有する繰り返し単位(a2)とを、同一の重合体および/または異なる重合体に含む重合体成分(B)下記一般式(b1)で表されるオキシムスルホネート残基を含む化合物、および(C)溶剤、を含有し前記溶剤として、少なくとも1種の沸点が180℃未満の溶剤と、少なくとも1種の沸点が180℃以上の溶剤を含み、(沸点が180℃未満の溶剤の合計量):(沸点が180℃以上の溶剤合計量)が質量換算で99:1〜50:50である、感光性樹脂組成物。
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【課題】着色パターン上異物を低減することが可能な着色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】着色剤、樹脂、重合性化合物及び重合開始剤を含み、着色剤が染料を含む着色剤であり、樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種に由来する構造単位と、炭素数2〜4の環状エーテル構造及びエチレン性不飽和結合を有する単量体に由来する構造単位と、式(x)で表される単量体に由来する構造単位とを含む共重合体を含む樹脂であり、式(x)で表される単量体に由来する構造単位の含有量が、該共重合体を構成する構造単位全量に対して、0.1モル%以上20モル%以下である着色感光性樹脂組成物。[式(x)中、Ra1は、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。Xa1は、単結合、−Xa2−、*−Xa2−O−、*−Xa2−S−又は*−Xa2−NH−を表す。Xa2は、炭素数1〜6のアルカンジイル基を表す。*はOとの結合手を表す。]
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【課題】形成したパターンをベークした後であっても矩形または矩形に近いプロファイルが形成可能なポジ型感光性樹脂組成物を提供することが可能な樹脂を提供する。
【解決手段】主鎖末端にカルボキシル基を含有し、かつ、3員環および/または4員環の環状エーテル基を有する繰り返し単位を含有する、アルカリ現像液に不溶または難溶性で酸の作用によりアルカリ現像液に可溶となるポジ型感光性アクリル樹脂を用いる。 (もっと読む)


【課題】エポキシ基含有共重合体に、カルボキシル基及び(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加して得られる、(メタ)アクリロイル基を有する硬化性共重合体を含有する硬化性樹脂組成物を製造する際に、当該共重合体が増粘及びゲル化等することなく、安定に目的物が得られる製造方法を提供する。
【解決手段】前記エポキシ基含有共重合体は、多官能成分の含有量が0.01〜0.3質量%であるエポキシ基含有(メタ)アクリレートを30〜100質量部含む単量体混合物の重合により得られる。また、前記エポキシ基含有(メタ)アクリレートとしては、グルシジル(メタ)アクリレートが好ましい。 (もっと読む)


【課題】耐ブロッキング性、接着性および耐候性に優れた接着剤、前記接着剤からなる接着剤層を有する太陽電池モジュール用バックシート、太陽電池モジュールおよび太陽電池を提供すること。
【解決手段】ビニル系重合体を含有するビニル系接着剤であって、前記ビニル系重合体が側鎖の末端にエチレン性不飽和二重結合を有するビニル系重合体であることを特徴とするビニル系接着剤、前記ビニル系接着剤からなる接着剤層を有する太陽電池モジュール用バックシート、太陽電池モジュールおよび太陽電池。 (もっと読む)


【課題】ハーフトーン露光技術に適した硬化特性を有するネガ型フォトレジスト用ポリマーを提供すること。
【解決手段】不飽和カルボン酸ユニットと、エポキシ基含有不飽和化合物ユニットと、N−置換マレイミドユニットと、オレフィン系不飽和化合物ユニットと、末端ビニル基とを有し、不飽和カルボン酸ユニットの含有率が3〜40mol%であり、エポキシ基含有不飽和化合物ユニットの含有率が3〜20mol%であり、N−置換マレイミドユニットの含有率が3〜20mol%であり、オレフィン系不飽和化合物ユニットの含有率が30〜80mol%であるネガ型フォトレジスト用ポリマー。 (もっと読む)


【課題】直線性に優れるパターンを形成することができる硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】樹脂及び重合性化合物を含み、樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種に由来する構造単位と、炭素数2〜4の環状エーテル構造及びエチレン性不飽和結合を有する単量体に由来する構造単位と、式(x)


[式(x)中、Ra1は、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。
a2は、炭素数1〜20の脂肪族炭化水素基を表す。]
で表される単量体に由来する構造単位とを有する共重合体を含む樹脂であり、式(x)で表される単量体に由来する構造単位の含有量が、該共重合体を構成する構造単位全量に対して、0.1モル%以上10モル%以下である硬化性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】未露光残膜率が高く、比誘電率が低く、ドライエッチング耐性に優れ、かつ、ITOスパッタ耐性にも優れたフォトレジスト用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(i)酸不安定基を有するラジカル重合性化合物、および、(ii)一般式(1)で表される不飽和カルボン酸エステルを含むラジカル重合性化合物を共重合させて得られるフォトレジスト用共重合体において、主鎖末端に芳香族基を含む基を含む構造とする。 (もっと読む)


【課題】機械的強度が高く、かつ、電気特性に優れた硬化膜が得られる新規な化合物を提供する。
【解決手段】下記一般式(I)で示される化合物。一般式(I)中、Fは電荷輸送性骨格を示し、Lは−(CH−O−基を含む2価の連結基を示し、mは1以上8以下の整数を示し、nは3以上6以下の整数を示す。


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【課題】耐マイグレーション性に優れた接続構造体を得ることができる硬化性組成物を提供する。
【解決手段】硬化性組成物は、エポキシ基を有さないか又はエポキシ基を有し、かつ(メタ)アクリロイル基を有する硬化性化合物と、熱ラジカル発生剤とを含む。硬化性化合物は、式(11−1)で表される化合物のエポキシ基の一部又は全部に(メタ)アクリル酸を反応させることにより得られる。式(11−1)中、R1及びR2はそれぞれ炭素数1〜5のアルキレン基を表し、R3〜R8の6個の基の内の4〜6個の基は水素原子を表し、R3〜R8の内の水素原子ではない基は、式(11a)で表される基を表す。式(11a)中、R9は炭素数1〜5のアルキレン基を表す。
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【課題】硬化物の接着力に優れており、更に耐マイグレーション性に優れた積層体及び接続構造体を得ることができる絶縁材料を提供する。
【解決手段】突出した複数の第1の電極2bを表面2aに有する第1の接続対象部材2において、複数の第1の電極2b上と複数の第1の電極2b間の隙間X上とに、複数の第1の電極2bを覆うように積層される絶縁層6Aを形成するために用いられる絶縁材料であり、下記式(X)で表される構造単位を有する第1のエポキシ(メタ)アクリレートと、下記式(X)で表される構造単位を有さない第2のエポキシ(メタ)アクリレートと、熱ラジカル発生剤とを含む。下記式(X)中、Rは炭素数3〜6のアルキレン基を表し、nは1〜10の整数を表す。
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