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【課題】優れた解像度を有するレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(I)の化合物由来の構造単位を有する樹脂と、式(B1)の塩と、溶剤とを含有するレジスト組成物。


[式中、R〜Rは、独立にアルキル基等;A1は式(a−g1)の基;sは0〜2の整数;A10及びA11は、独立に脂肪族炭化水素基;X10は、酸素原子等を表す。] (もっと読む)


【課題】ポリアミド素材に対する優れた付着性を有し、特に、自動車内外装用途又は家電用途で求められる外観性、付着性、耐湿性、耐熱性、耐水性、耐油性、耐アルコール性、発色性(主に輝度感)などの塗膜性能を有する樹脂組成物及び塗膜を提供する。
【解決手段】ポリオール化合物を含有し、かつ、ポリイソシアネート化合物と混合すると反応して硬化する樹脂組成物において、前記ポリオール化合物が、共重合させる原料の一つとしてアルキロールアクリルアミドモノマーを用いてなるアクリル系共重合体である。 (もっと読む)


【課題】優れたパターン倒れ耐性(PCM)を有するレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される化合物、この化合物に由来する構造単位を有する樹脂及びこの樹脂を含むレジスト組成物。


[式(I)中、R1は、水素原子又はメチル基を表す。環Wは置換基を有していてもよい炭素数3〜34のラクトン環を表す。] (もっと読む)


【課題】優れたマスクエラーファクター(MEF)を有するレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される化合物、この化合物に由来する構造単位を有する樹脂及びこの樹脂を含むレジスト組成物。


[式中、R1は水素原子又はメチル基;nは1〜3の整数;A1は式(a−g1)で表される基;sは0〜2の整数;A10は脂肪族炭化水素基;A11は、単結合又は脂肪族炭化水素基、但し、s=0の時、A11は単結合ではない;X10は、酸素原子を含む基を表す。] (もっと読む)


【課題】半導体の微細加工に利用できるレジスト組成物を提供すること。
【解決手段】式(I)で表される化合物。[式(I)中、Tは、単結合又は芳香族炭化水素基を表し、Lは、2価の炭素数1〜17の飽和炭化水素基を表し、mは0又は1を表し、L及びLは、単結合又は2価の炭素数1〜6の飽和炭化水素基を表し、環W及び環Wは、炭素数3〜36の炭化水素環を表し、R及びRは、水素原子等を表し、R及びRは、ヒドロキシ基等を表し、Rは、水素原子又はメチル基を表し、tは、0〜2の整数を表し、uは、0〜2の整数を表す。]
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【課題】閾値電圧の絶対値及びヒステリシスが小さい有機薄膜トランジスタを製造しうる有機薄膜トランジスタ絶縁層材料を提供すること。
【解決手段】(A)分子内にビニルオキシ基を含有する低分子化合物及び/又は分子内にビニルオキシ基及び活性水素と反応しうる第2の官能基を電磁波の照射もしくは熱の作用により生成しうる第1の官能基を含有する高分子化合物と、(B)分子内にN−マレオイルアミノ基を含含有する低分子化合物及び/又は分子内にN−マレオイルアミノ基及び活性水素と反応しうる第2の官能基を電磁波の照射もしくは熱の作用により生成しうる第1の官能基を含有する高分子化合物とを、含有し、前記2種類の高分子化合物のうちの少なくとも一方の高分子化合物を含有する有機薄膜トランジスタ絶縁層材料。 (もっと読む)


【課題】優れた防水性及び防湿性を維持し、難燃性に優れ、更に、貯蔵安定性、基材密着性及び上塗り適性等にバランス良く優れ、総合的な性能に優れるシーラー用樹脂組成物、及びそのような組成物を含む水性シーラーが塗布された無機質形成部材を提供する。
【解決手段】(A)水性エマルジョンと、(B)難燃剤とを有し、(B)難燃剤が、臭素化合物とアンチモン化合物の両方を含むシーラー用樹脂組成物は、優れた防水性及び防湿性を維持し、難燃性に優れ、更に、基材密着性、上塗り適性及び貯蔵安定性にバランス良く優れるので、総合的な性能に優れる。 (もっと読む)


【課題】優れたフォーカスマージン(DOF)でレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される化合物、この化合物に由来する構造単位を有する樹脂及びこの樹脂を含むレジスト組成物。


[式中、R1は、水素原子又はメチル基;A1は、式(a−g1)で表される基;sは0〜2の整数;A10は脂肪族炭化水素基;A11は、単結合又は脂肪族炭化水素基、但し、s=0の時、A11は単結合ではない;X10は、酸素原子、カルボニル基、カルボニルオキシ基、オキシカルボニル基又はオキシカルボニルオキシ基;環WRは、置換基を有していてもよいラクトン環基を表す。] (もっと読む)


【課題】優れた形状でレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される化合物、この化合物に由来する構造単位を有する樹脂及びこの樹脂を含むレジスト組成物。


[式中、R1は、水素原子又はメチル基を表す;環Wは、置換基を有していてもよい炭素数3〜34のスルトン環を表す。] (もっと読む)


【課題】塗膜の外観に優れ、さらにポットライフが長い水性塗料用組成物および二液硬化型水性塗料キットを提供する。
【解決手段】含フッ素共重合体(A):水酸基を有する含フッ素共重合体、化合物(B):スルホ基または一部もしくは全部が中和されたスルホ基と、1を超える数のイソシアネート基とを有する化合物、および水性媒体(C)を含有する水性塗料用組成物。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、短時間でPEBを行うことができ、それによりスループットの向上や、酸拡散距離を短くすることができることによる解像性の向上が達成できるパターン形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 被加工基板上に波長600〜2000nmの範囲の光を吸収する下層膜を形成し、該下層膜上にフォトレジスト膜を形成し、該フォトレジスト膜を露光した後、波長600〜2000nmの光を照射して加熱することでポストエクスポジュアーベーク(PEB)を行い、その後現像によってパターンを形成することを特徴とするパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】リソグラフィー特性に優れたレジスト組成物の基材成分として有用な高分子化合物の製造方法、並びに当該高分子化合物を含有するレジスト組成物、及び当該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】アニオン基を有する水溶性モノマーを重合して前駆体ポリマーを合成し、当該前駆体ポリマーを水で洗浄した後、当該前駆体ポリマーを有機カチオンと塩交換させることを特徴とする、露光により分解して酸を発生する構成単位を有する高分子化合物の製造方法。当該高分子化合物の製造方法により製造された高分子化合物を含有するレジスト組成物、及び当該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】トナーの帯電量および帯電量の立ち上がりが温湿度環境の変化に影響されやすく、プリント時に画像濃度の変化が生じたり、特に高温高湿下において、帯電量分布の不均一性にともなう画像かぶりなどの不具合が生じる場合があった。
【解決手段】帯電成分と、着色剤を含有するトナー粒子を有するトナーが、下記式(1)で表される部分構造を側鎖として有する重合体を含有することを特徴とする。


(R1は、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1以上18以下のアルキル基、又は、炭素数1以上18以下のアルコキシル基を示す。R2は、水素原子、ヒドロキシル基、炭素数1以上18以下のアルキル基、又は、炭素数1以上18以下のアルコキシル基を示す。mは0以上3以下の整数を示し、mが2または3の場合、R1はそれぞれ独立して選択できる。nは1以上3以下の整数を示す。*は、重合体における連結位置を表す。) (もっと読む)


【課題】屈折率が高く、組成物の塗布後の塗布面状の経時変化が小さく、かつ、現像処理後の屈折率の低下が小さい膜を形成できる組成物、並びに、これを用いた透明膜、マイクロレンズ、固体撮像素子、透明膜の製造方法、マイクロレンズの製造方法、及び、固体撮像素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 金属酸化物粒子(A)としての酸化チタン粒子又は酸化ジルコニウム粒子と、ベンジル(メタ)アクリレートから誘導される繰り返し単位を含有するバインダーポリマー(F)と、界面活性剤(G)とを含有する組成物であって、前記界面活性剤(G)の含有量が前記組成物の全固形分に対して0.0010質量%〜3.0質量%である組成物。 (もっと読む)


【課題】レジストパターンの製造時のフォーカスマージン(DOF)が良好であり、あるいはマスクエラーファクター(MEF)に優れ、欠陥の発生数が少ないレジストパターンを製造できるレジスト組成物などを提供する。
【解決手段】式(a)で表される化合物に由来する構造単位を有する樹脂、酸発生剤及び溶剤を含有するレジスト組成物。


[式(a)中、Rは、水素原子又はメチル基;Aは、置換基を有していてもよいアルカンジイル基又は式(a−g1);sは0又は1;A10及びA12は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基;A11は、置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基又は単結合;X10及びX11は、それぞれ独立に、酸素原子、カルボニル基、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基;ただし、A10、A11、A12、X10及びX11の合計炭素数は6以下;Rは置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基を表す。] (もっと読む)


【課題】
本発明の課題は、下水処理場における下水混合生汚泥や下水余剰汚泥、下水消化汚泥、各種余剰汚泥に対して良好な凝集とケーキ含水率低下能の高い汚泥脱水剤を開発することにより、種々の脱水機に対応でき、脱水ケーキ含水率低下の要求を満足し、同時に架橋あるいは分岐した水性高分子の難点とされる薬剤添加量の増加にも対応でき汚泥脱水剤を、ポリアミジン系水溶性高分子を用いず、市販品として汎用されている(メタ)アクリル系単量体を使用して開発する。
【解決手段】
下記(A)と下記(B)を含有する凝集処理剤によって達成できる。
(A);特定のカチオン性単量体80〜100モルとその他の単量、および前記単量体混合物に対し20〜300ppmの架橋性単量体を添加して重合した水性高分子。
(B);(A)とは異なる特定のカチオン性単量体80〜100モルとその他の単量体を添加して重合した水性高分子。
(もっと読む)


【課題】優れたフォーカスマージンでレジストパタ−ンを製造できるレジスト組成物及び当該レジスト組成物の酸発生剤として有用である塩を提供すること。
【解決手段】アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に溶解し得る樹脂、溶剤及び式(I)で表される塩を含有するレジスト組成物、並びに前記塩の提供。


[式中、R及びRはアルキル基を表す。環Wは、炭素数3〜36の脂肪族環を表す。Zは、有機カチオンを表す。] (もっと読む)


【課題】優れたラインエッジラフネス(LER)を有するレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(a)で表される構造単位を有する樹脂;式(a4−8)で表される構造単位を有する樹脂;(B)酸発生剤;(D)溶剤を含有するレジスト組成物。


[式中、Rは、式(b)で表されるスルホラン環基;Aa41は、置換基を有していてもよいアルカンジイル基等;Ra42は、脂肪族炭化水素基を表す。] (もっと読む)


【構成】
両性ポリアクリルアミドを含有するポリアクリルアミド系内添紙力剤であって、両性ポリアクリルアミドが、(a)(メタ)アクリルアミド 70〜99.8mol%、(b)カチオン性ビニルモノマー 0.1〜15mol%および(c)アニオン性ビニルモノマー 0.1〜15mol%を重合成分とし、ポリアクリルアミド系内添紙力剤の重量平均分子量(A)が200万〜1000万であり、ポリアクリルアミド系内添紙力剤の重量平均分子量(A)とポリアクリルアミド系内添紙力剤の20%水溶液の粘度(B)の比(A)/(B)が500以上であり、ポリアクリルアミド系内添紙力剤の20%水溶液の曳糸性が5〜60mmであることを特徴とするポリアクリルアミド系内添紙力剤である。
【効果】
本発明は、紙の地合いが良く、また、紙力増強効果、濾水性に優れるポリアクリルアミド系内添紙力剤およびその内添紙力剤を用いた紙の製造方法を提供することができる。 (もっと読む)


【課題】良好なラインエッジラフネスを有するレジストパターンを得ることができるポジ型レジスト組成物等を提供することを目的とする。
【解決手段】酸に不安定な基を有し、かつアルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂と、酸発生剤と、式(I)で表される化合物とを含むポジ型レジスト組成物。


[式中、Rは、ヒドロキシ基、アルキル基、脂環式炭化水素基又は芳香族炭化水素基、脂環式及び芳香族炭化水素基はヒドロキシ基又はアルキル基で置換されていてもよい;Xは、2価の飽和炭化水素基を表し、2価の飽和炭化水素基に含まれる−CH−は、−O−又は−CO−で置き換わっていてもよい;Rは飽和炭化水素基;u1は0〜2の整数、s1は1又は2、t1は0又は1、但し、s1+t1は1又は2である。] (もっと読む)


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