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Fターム[4J100CA04]の内容

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Fターム[4J100CA04]に分類される特許

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【課題】
パターン形成後にラフネスが発生したり、パターン自体をうまく描けないなどの欠陥を防止するために、樹脂中に光酸発生機能を組み込んだレジスト樹脂であって、「酸の作用によって現像液への溶解性が変化する部位」と「光酸発生機能を有する部位」が規則正しく配置されたレジスト樹脂を提供する。
【解決手段】
下記一般式(3)で表される繰り返し単位を有する含フッ素スルホン酸塩樹脂。
【化1】


(式中、Aはそれぞれ独立に水素原子、フッ素原子またはトリフルオロメチル基を表す。nは1〜10の整数を表す。Wは2価の連結基を表す。Rは酸不安定基を表す。M+は、1価のカチオンを表す。) (もっと読む)


【課題】EUV用またはEB用として有用なレジスト組成物、該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】フッ素原子およびケイ素原子から選ばれる少なくとも1種と、芳香族基と、塩基の作用により分解して極性が増大する極性変換基とを有する樹脂成分(C)と、露光により酸を発生し且つ酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する樹脂成分(A)(ただし前記樹脂成分(C)を除く。)と、を含有し、前記樹脂成分(C)中の前記芳香族基を有する構成単位の割合が20モル%以上であることを特徴とするEUV用またはEB用レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】フォトリソグラフィのための組成物を提供する。
【解決手段】下記のAを含むポリマーとシランから形成されるポリマーを含む組成物。A)下記の構造単位1:


(式中、Lは、C−C結合でありであり;Mは2価の結合基、Si上に酸素含有基、ハライドから選択される基を持つ。) (もっと読む)


【課題】接着性に優れており、また、熱伝導性及び塗布作業性も良好に維持された樹脂ペースト組成物と、この樹脂ペースト組成物を用いた半導体装置とを提供する。
【解決手段】(A1)1分子中に、2個のアクリロイルオキシ基と、炭素数5〜20の脂環式構造又は炭素数4〜20の脂肪族構造とを有するアクリロイルオキシ基含有化合物、(A2)特定の一般式で表される化合物、(B)重合開始剤、及び(C)充填材を含有する樹脂ペースト組成物。支持部材、前記支持部材の表面に設置された半導体素子、前記支持部材の表面と前記半導体素子との間に介在して前記支持部材と前記半導体素子とを固定する前記の樹脂ペースト組成物の硬化物、及び前記支持部材の一部と前記半導体素子とを封止する封止材、を有する半導体装置。 (もっと読む)


【課題】密着性が良好で、かつ基材表面に、耐水性、防曇性、防汚性、耐候性に優れる親水性表面を付与した組成傾斜構造を有する親水性部材を提供する。
【解決手段】基材2上に設けられ、下記親水性材料1)及び活性エネルギー線硬化型オリゴマー又はポリマー2)’を含む膜とを有する親水性部材1であって、該膜が膜の厚み方向において前記基材2に最も近い側から最も遠い側に向かって1)の比率が大きくなり、かつ、2)’の比率が小さくなるように、1)及び2)’の組成が連続的に変化する組成傾斜膜3である、親水性部材1。但し、活性エネルギー線硬化型オリゴマー又はポリマー2)’は下記1)の親水性材料とは異なる。1)加水分解性シリル基含有親水性ポリマーを含有し、かつ前記ポリマーが主鎖末端又は側鎖に、加水分解性シリル基を分子中に少なくとも1個有し、親水性基を分子中に少なくとも1個有する親水性材料。 (もっと読む)


【課題】閾値電圧の絶対値及びヒステリシスが小さい有機薄膜トランジスタを製造しうる有機薄膜トランジスタ絶縁層材料を提供すること。
【解決手段】分子内に、ベンジルチオカルバメート基(−Ph−CH−SCSNR)を含有する高分子化合物(A)と、分子内に2個以上の不飽和二重結合を含有する不飽和二重結合化合物(B)とを含む有機薄膜トランジスタ絶縁層材料。 (もっと読む)


【課題】直線性に優れるパターンを形成することができる硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】樹脂及び重合性化合物を含み、樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種に由来する構造単位と、炭素数2〜4の環状エーテル構造及びエチレン性不飽和結合を有する単量体に由来する構造単位と、式(x)


[式(x)中、Ra1は、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。
a2は、炭素数1〜20の脂肪族炭化水素基を表す。]
で表される単量体に由来する構造単位とを有する共重合体を含む樹脂であり、式(x)で表される単量体に由来する構造単位の含有量が、該共重合体を構成する構造単位全量に対して、0.1モル%以上10モル%以下である硬化性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、感度を十分に満足し、かつEL、DOF、CDU及びMEEFに優れる感放射線性樹脂組成物を提供することである。
【解決手段】本発明は、有機溶媒が80質量%以上の現像液を用いるレジストパターン形成用感放射線性樹脂組成物であって、上記感放射線性樹脂組成物が、[A]酸解離性基を有する重合体、及び[B]感放射線性酸発生体を含有し、かつ上記有機溶媒で現像した場合のレジスト感度曲線から算出されるコントラスト値γが、5.0以上30.0以下であることを特徴とするレジストパターン形成用感放射線性樹脂組成物である。上記有機溶媒は、炭素数3〜7のカルボン酸アルキルエステル及び炭素数3〜10のジアルキルケトンからなる群より選択される少なくとも1種の有機溶媒であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】 得られる硬化物が帯電防止性、硬化物の透明性および高温高湿試験後の透明性に優れる活性エネルギー線硬化型帯電防止性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】 (メタ)アクリロイル基を含有する3級アミン塩(A1)と、(メタ)アクリロイル基を含有しない酸性化合物(a0)と(メタ)アクリロイル基を含有しないアミン(b2)から構成されるアミン塩(A2)、アミン塩骨格を含有せず(メタ)アクリロイル基を含有する化合物(B)、並びに光重合開始剤(C)を必須成分として含有することを特徴とする活性エネルギー線硬化型帯電防止性樹脂組成物を使用する。 (もっと読む)


【課題】吸水性層と非吸水性層との積層構造を有し、該吸水性層と該非吸水性層との密着性が非常に優れたポリマー部材を、簡便に製造する方法を提供する。また、吸水性層と非吸水性層との密着性が非常に優れたポリマー部材を提供する。
【解決手段】本発明のポリマー部材の製造方法は、吸水性層(A)と非吸水性層(B)との積層構造を有するポリマー部材を製造する方法であって、該吸水性層(A)は吸水性物質(a)を含み、該非吸水性層(B)は重合性組成物(b)から形成され、該重合性組成物(b)は該吸水性物質(a)が吸収可能な重合性モノマー(m)を含み、該重合性組成物(b)を該吸水性層(A)に塗布する工程(I)、該重合性モノマー(m)を重合する工程(II)、該吸水性物質(a)が吸水する工程(III)、を含む。 (もっと読む)


【課題】着色パターンの表面にムラが出る表面欠陥が生じず、生産性に優れた、感光性着色樹脂組成物を提供する。
【解決手段】一般式(1)で表されるチオール化合物(A)、一般式(2a)で表されるエポキシ化合物(a)と、α,β−不飽和カルボン酸(b)との反応物と、多塩基酸及び/又はその無水物(c)とを反応させて得られるアルカリ可溶性樹脂(B)及び/又はアルカリ可溶性樹脂(B)を含むアルカリ可溶性樹脂(B)、光重合開始剤(C)、色材(D)、及び光重合性モノマー(E)を含有する感光性着色樹脂組成物。
(もっと読む)


【解決手段】置換又は非置換のメチロール基と結合する窒素原子を含むウレア結合、アミド結合、又はウレタン結合を有する化合物と、ヒドロキシ基が酸不安定基で置換された繰り返し単位を有する高分子化合物と、酸発生剤と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に有機溶剤による現像液を用いて未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得ることを特徴とするパターン形成方法。
【効果】本発明に係るレジスト膜は、有機溶剤による現像におけるポジネガ反転の画像形成において、未露光部分の溶解性が高く、露光部分の溶解性が低く、溶解コントラストが高い特徴を有する。 (もっと読む)


【課題】成形時の流動性に優れ、しかも、曲げ弾性率、耐衝撃性、硬度、光沢および脆化温度等の物性バランスに優れる成形品が得られるポリオレフィン樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】ポリオレフィン樹脂組成物は、プロピレン系重合体(PP−C)と、特定のメタロセン触媒も用いて得られるエラストマー(EL−1)または(EL−2)からなるエラストマーとを含んでなり、プロピレン系重合体(PP-C)とエラストマーとの重量割合が(PP-C)100重量部に対して、エラストマーが10重量部以上である。 (もっと読む)


【課題】酸素遮断性が高いコーティングを提供することができる新規なコーティング組成物、該組成物を用いた、現像性と現像して得られる画像の強度に優れる画像形成材料及び平版印刷版原版、並びに優れた酸素遮断性フィルムを提供する。
【解決手段】下記一般式(1)で表される構造単位を有するポリマーを含むことを特徴とするコーティング組成物。該組成物を含む保護層を有する画像形成材料及び平版印刷版原版。該組成物を含む酸素遮断層を有するフィルム。
【化1】


式中、Mn+はn価の正電荷を有するカチオンを表し、nは1〜4の整数を表す。 (もっと読む)


【課題】ラフネス特性およびパターン倒れの改善を可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、及び(C)下記一般式(ZI−3)、(ZI−4)又は(ZI−5)で表される活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であり、樹脂(A)が酸の作用により分解する基を有する繰り返し単位を少なくとも1種含有し、該酸分解性の基が分解して脱離する基が環構造を有し、該環構造が極性基を置換基として有し、もしくは、該環構造が極性原子を環構造内に含み、且つ、前記脱離基が脱離して生成する化合物のlogP値が0以上2.8未満であることを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
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【課題】良好な脱墨性能を有する重合体を提供する。
【解決手段】
1質量%以上50質量%以下の下記一般式(1)で表されるエーテル結合含有単量体(A)に由来する構造単位(a)、50質量%以上99質量%以下のカルボキシル基含有単量体(B)に由来する構造単位(b)、を必須構成単位として有するカルボキシル基含有共重合体である。


上記一般式中、式中、Rは、水素原子またはCH基を表し、Rは、CH基、CHCH基または単結合を表わし、Rは、炭素数1〜20の有機基を表す。 (もっと読む)


【課題】超撥水性の付与が可能な撥水性微粒子、および、この撥水性微粒子の基材表面への散布および/または塗布、あるいは撥水性微粒子を用いた転写フィルムによる基材表面への転写によって得られる超撥水表面を有する材料の提供。
【解決手段】フッ素含有(メタ)アクリル酸アルキルエステルを50〜99モル%、水酸基含有(メタ)アクリル酸アルキルエステルを1〜50モル%の割合で含んでなる(メタ)アクリル酸アルキルエステル混合物を重合することによって得られる(メタ)アクリル酸アルキルエステル系ポリマーを用いた微粒子を形成する。 (もっと読む)


【課題】曲げ強度に優れた発泡成形体を与え得るポリスチレン系樹脂粒子を提供することを課題とする。
【解決手段】GPC法により測定される2つの平均分子量であるリニアー換算Z+1平均分子量(Mz+1)とリニアー換算重量平均分子量(Mw)の比(Mz+1/Mw)が5〜25であり、かつリニアー換算Z+1平均分子量(Mz+1)が130万〜800万である表層部を有することを特徴とするポリスチレン系樹脂粒子により課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】フォトレジスト上塗り組成物および、前記上塗り組成物でコーティングされた基体、並びにネガティブトーン現像プロセスによって電子デバイスを形成する方法の提供。
【解決手段】以下の一般式(I)のモノマーを重合単位として含むポリマー、有機溶媒および塩基性クエンチャーを含む上塗り組成物。
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【課題】機械的強度が高く、かつ、電気特性に優れた硬化膜が得られる新規な化合物を提供する。
【解決手段】下記一般式(I)で示される化合物。一般式(I)中、Fは電荷輸送性骨格を示し、Lは−(CH−O−基を含む2価の連結基を示し、mは1以上8以下の整数を示し、nは3以上6以下の整数を示す。


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