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Fターム[4J100DA01]の内容

付加系(共)重合体、後処理、化学変成 (209,625) | ポリマーの物性 (16,252) | 分子量、重合度 (6,343)

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【課題】マスクエラーファクター優れたレジストパターンレジストパターンを得ることができる化合物、樹脂、レジスト組成物等を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される化合物、この化合物に由来する構造単位を有する樹脂と、酸発生剤とを含有するレジスト組成物。


[式中、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基を表すか又はR及びRが互いに結合し、それらが結合している炭素原子とともに炭素数5〜20の環を形成する。Rは、エチレン性二重結合を含む基を表す。Wは、炭素数6〜18の2価の脂環式炭化水素基を表す。Tは、単結合、炭素数1〜6の2価の脂肪族炭化水素基等を表す。Tは、炭素数1〜6の2価の脂肪族炭化水素基等を表す。] (もっと読む)


【課題】優れたCD均一性を有するレジストパターンを製造可能なレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式(aa)で表される構造単位を有する樹脂及び酸発生剤を含み、酸発生剤が、式(B1)で表される塩を含む酸発生剤であるレジスト組成物。式(aa)中、Tは、環骨格中に−O−SO−を有する炭素数4〜34の環式基を表す。Rは、ハロゲン原子を有してもよい炭素数1〜6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。Rは、炭素数1〜6のアルキル基を表す。Rは、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表す。
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【課題】優れたラインエッジラフネス(LER)を有するレジストパターンを得ることができる化合物、樹脂、レジスト組成物等を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される化合物、この化合物に由来する構造単位を有する樹脂及びこれを含むレジスト組成物。


[式中、Rはエチレン性二重結合を含む基;Wは2価の脂環式炭化水素基;Tは、単結合、2価の脂肪族炭化水素基等;Tは2価の脂肪族炭化水素基等] (もっと読む)


【課題】LWR等のラフネス性能、局所的なパターン寸法の均一性及び露光ラチチュードに優れ、かつ良好なドライエッチング耐性を有するパターン形成方法、それに用いられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(ア)下記一般式(b1)で表される非酸分解性の繰り返し単位(b1)、および、酸によって分解し極性基を生じる基を有する繰り返し単位を含む樹脂(P)、及び、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物(B)を含有する感活性光線性又は感放線性樹脂組成物を用いて膜を形成する工程、(イ)該膜を波長が200nm以下の活性光線又は放射線により露光する工程、及び(ウ)ヘテロ原子及び炭素原子を含み、且つ、炭素原子数が7以上の有機溶剤を含む現像液を用いて現像してネガ型のパターンを形成する工程、を含むパターン形成方法。(式中、Aは酸素原子を含まない、置換基を有していてもよい脂環式炭化水素基を表し、Xは水素原子又はアルキル基を表す。)
【化1】
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【課題】溶融張力と溶融延伸性のバランスに優れる高分岐型超高分子量共重合体を含有する二軸延伸シート用スチレン系樹脂組成物と、それを成形して得られる二軸延伸シート及び食品包装容器を提供する。
【解決手段】スチレン含有モノビニル化合物に、1分子中にビニル基を2以上有し、分岐構造を有する溶剤可溶性多官能ビニル共重合体を、重量基準で100〜3000ppm添加した原料溶液を、重合反応器に連続的に供給して重合反応をさせて得られ、溶剤可溶性多官能ビニル共重合体とモノビニル化合物が重合して生じる高分岐型超高分子量共重合体と、モノビニル化合物が重合して生じる線状重合体とを含むスチレン系樹脂組成物であって、Mwが20万〜50万、Mz/Mwが2.2〜5.0、分子量100万〜150万における分岐比gMが0.85〜0.40である高分岐型二軸延伸シート用スチレン系樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】プロピレン系重合体において、高い割合でビニル構造を持つように高度に末端構造が制御されたプロピレン系重合体の提供。
【解決手段】Mnが5万より大きく13万未満、Q値が2.0以上4.0以下、末端ビニル率が0.7以上、末端ビニリデン率が0.1未満、オルトジクロロベンゼンを溶媒として使用した昇温溶出分別の測定における40℃以下の温度で溶出する成分が3重量%以下、および13C−NMR分析によって得られるプロピレン単位3連鎖のmm分率が95%以上のプロピレン系重合体。 (もっと読む)


【課題】高分岐型超高分子量共重合体を含有し、溶融張力と溶融延伸性のバランスに優れる板状押出発泡体用スチレン系樹脂組成物と、それを使用した板状押出発泡体の製造方法および板状押出発泡体を提供する。
【解決手段】スチレン含有モノビニル化合物に、1分子中にビニル基を2以上有し、分岐構造を有する溶剤可溶性多官能ビニル化合物共重合体を、重量基準で100ppm〜3000ppm添加し、1個以上連続して配置された重合反応器に、該原料溶液を連続的に供給して重合反応を進行させ、該共重合体と該ビニル系モノマーが重合して生じる高分岐型超高分子量体を含むスチレン系樹脂組成物であって、200℃、49N荷重の条件にて測定したメルトマスフローレイト(MFR)が0.5〜6.0g/10分である高分岐型板状押出発泡体用スチレン系樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】表面処理剤として要求される性能、例えば、撥水撥油性、防汚性、離型性、基材に対する密着性、防蝕性、風合い、耐水性、耐油性、これら性能の耐久性を有する含フッ素組成物を提供する。
【解決手段】(a)式:
CH2=C(-X)-C(=O)-Y-Z-(CL(CF3)-CH2)a-Rf
[式中、Xは、水素原子、一価の有機基またはハロゲン原子であり、
Y は、-O- または -NH-であり、
Zは、直接結合または二価の有機基であり、
Rfは、炭素数1〜20のフルオロアルキル基であり、
Lは、フッ素原子または塩素原子または水素原子であり、
aは、1〜50の整数である。]
で示される含フッ素単量体から誘導された繰り返し単位
を有してなる含フッ素重合体を含んでなる含フッ素組成物。 (もっと読む)


【課題】特にセラミックグリーンシート用のバインダーとして使用した場合に、薄膜でも充分なシート強度を有するセラミックグリーンシートが得られるとともに、焼成時の熱分解性に優れる無機質焼結体製造用バインダーを提供する。
【解決手段】
ポリビニルブチラールからなるユニット及びポリ(メタ)アクリル酸類からなるユニットを有するブロック共重合体を含有することを特徴とする無機質焼結体製造用バインダー。 (もっと読む)


【課題】有機溶媒を含む現像液を用いた場合においてミッシングコンタクトホールの発生が抑制され、リソグラフィー特性に優れる感放射線性樹脂組成物の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、有機溶媒が80質量%以上の現像液を用いるネガ型レジストパターン形成方法用の感放射線性樹脂組成物であって、[A]酸解離性基を有するベース重合体、[B][A]重合体よりフッ素原子含有率が高い重合体、[C]感放射線性酸発生体、[D]溶媒、及び[E][D]溶媒の比誘電率よりも15以上大きい比誘電率を有する化合物を含有し、上記[A]重合体が、下記式(1)で表される構造単位を有し、上記[E]化合物が、[A]重合体100質量部に対して、10質量部以上200質量部以下含有することを特徴とする。
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【課題】独立気泡性と押出特性に優れ、軽量且つ剛性感のある、リサイクル性に優れた発泡成形品を得ることができるポリプロピレン系樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記成分(A)の含有量が70〜100重量%、成分(B)の含有量が0〜30重量%であるポリプロピレン系樹脂組成物。・成分(A):プロピレン−α−オレフィン共重合体(A1)とプロピレン単独重合体(A2)の少なくとも2成分からなり、(A1)及び(A2)を多段重合法によって重合して得られるプロピレン系樹脂組成物。・成分(B):プロピレン単独重合体またはα−オレフィン含量が1重量%未満のプロピレン−α−オレフィン共重合体(B1)と、プロピレン−α−オレフィン共重合体(B2)の少なくとも2成分からなり、(B1)及び(B2)を多段重合法によって重合して得られ、(B1)の含有量が50〜90重量%であるプロピレン系樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】感度、解像性、リソグラフィー特性及びエッチング耐性に優れる高分子化合物、レジスト組成物、及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用により現像液に対する溶解性が変化し、(a5−0)で表される構成単位を有する高分子化合物を含む基材成分(A)及び露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するレジスト組成物。(式(a5−0)中、Rは水素原子、アルキル基又はハロゲン化アルキル基である。Rは硫黄原子又は酸素原子である。Rは単結合又は2価の連結基である。Yは芳香族炭化水素基、又は多環式基を有する脂肪族炭化水素基である。)
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【課題】溶融張力と溶融延伸性のバランスに優れ、臭気の少ない高分岐型超高分子量共重合体を含有するスチレン系樹脂組成物と、それを使用した軽量化、二次成形性に優れる押出発泡シート、およびそれを成形してなる容器を提供する。
【解決手段】スチレン含有モノビニル化合物に、1分子中にビニル基を2以上有し、分岐構造を有する溶剤可溶性多官能ビニル化合物共重合体を、重量基準で100〜3000ppm添加し、これを重合反応器に連続的に供給して重合させて得られる高分岐型超高分子量体を含むスチレン系樹脂組成物であって、スチレンダイマーとトリマーの合計量が2500μg/g以下で、Mwが20万〜50万で、Mz/Mwが2.2〜5.0、分子量100万〜150万における分岐比gMが0.85〜0.40である高分岐型スチレン系樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】ラフネス性能、局所的なパターン寸法の均一性及び露光ラチチュードに優れ、かつ現像により形成されるパターン部が良好なドライエッチング耐性を有するパターン形成方法、及び、それに用いられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】酸によって分解しカルボキシル基を生じる基を有する繰り返し単位(a1)を含む樹脂、及び、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有する感活性光線性又は感放線性樹脂組成物を用いて膜を形成する工程、該膜を露光する工程、及び、ヘテロ原子及び炭素原子を含み、且つ、炭素原子数が7以上の有機溶剤を含む現像液を用いて現像してネガ型のパターンを形成する工程を含み、繰り返し単位(a1)が、酸分解後のカルボキシル基を生じた際の該単位中に含まれる各原子の数を下式に代入し得られる値Xが0<X≦5であるパターン形成方法。X=(酸による分解後の繰り返し単位を構成する原子数の合計)/{(炭素原子の数)−(炭素原子でも水素原子でもない原子の数)} (もっと読む)


【課題】低加湿状況下でのプロトン伝導率を高め得る新たなホスホン酸ポリマーと、低加湿状況下であっても高いプロトン伝導率を確保し得る燃料電池用電解質の提供。
【解決手段】下記の構造式(1)で表される分子鎖構造を繰り返し単位として含み、主鎖を構成する飽和炭化水素の炭素と側鎖末端のホスホン酸基とを、アミド結合とフッ化エチレン基とを介して結合させるホスホン酸ポリマー、該ホスホン酸ポリマーを用いた燃料電池用電解質膜、およびこれを用いた燃料電池。
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【課題】水溶液の取扱性に優れるとともに高湿度下におけるガスバリア性に優れ、変性量及び重合度を高くできる変性ビニルアルコール系重合体を提供する。
【解決手段】少なくとも一つのヒドロキシアルキレン基で置換されたアルキル基を有し、以下の式(1)で示されるN−アルキル(メタ)アクリルアミド単位を有する変性ビニルアルコール系重合体とする。式(1)のR1は水素原子又はメチル基、R2は炭素数1〜8のアルキレン基、R3及びR4はそれぞれ同一又は異なって水素原子、炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数1〜8のヒドロキシアルキル基である。
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【課題】ホットオフセットの発生を抑制し、トナーの光沢度を良好とするとともに、容易にトナーに導入できるスチレン−アクリル樹脂の高分子量体の製造方法及びそのトナーの製造方法を提供する。
【解決手段】スチレン−アクリル樹脂の高分子量体の製造方法は、スチレン系モノマー、アクリル系モノマー、重合開始剤を混合して乳化重合し、樹脂粒子分散液を調製する工程と、スチレン系モノマー、アクリル系モノマーを、水系媒体中に分散させ、モノマー分散液を調製する工程と、前記樹脂粒子分散液と、前記モノマー分散液を混合し、この混合液を加熱して前記重合開始剤の10時間半減期温度に達したところで、0.2m/s以下の攪拌速度で少なくとも20分間攪拌し、スチレン−アクリル樹脂の高分子量体を生成する工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】解像性に優れ、良好な耐エッチング性及び硬化膜柔軟性を有する感光性樹脂組成物及び積層体の提供。
【解決手段】全固形分を基準として、以下の:(A)アルカリ可溶性高分子:10〜90質量%、(B)エチレン性不飽和二重結合を有する単量体:5〜70質量%、及び(C)光重合開始剤:0.01〜20質量%、を含む感光性樹脂組成物であって、該(A)アルカリ可溶性高分子は、酸当量100〜600、及び重量平均分子量5,000〜200,000を有し、かつベンジル(メタ)アクリレート系化合物と、脂環式炭化水素基又は複素環式基を有する(メタ)アクリレート系化合物とを含む単量体成分の共重合体である、前記感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】製造工程がより簡素化され、低コストで製造可能な、耐コールドフロー性が向上した共役ジエン系重合体を提供することにある。
【解決手段】共役ジエン化合物と共役ジエン化合物以外の脂肪族オレフィンとを共重合させてなる共役ジエン系重合体であって、前記共役ジエン化合物以外の脂肪族オレフィンを5 mol%以下含有する共役ジエン系重合体である。 (もっと読む)


【課題】水溶液の粘度安定性に優れるとともにその発泡が抑えられ、水に対する溶解性に優れながらも架橋皮膜の耐水性が高く、変性量及び重合度を高くすることができるビニルアルコール系重合体を提供する。
【解決手段】少なくとも二つのヒドロキシメチレン基で置換されたアルキル基を有し、以下の式(1)で示されるN−アルキル(メタ)アクリルアミド単位を有する一級水酸基含有ビニルアルコール系重合体とする。式(1)においてR1は水素原子又はメチル基、R2は水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基、nは2又は3である。
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