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Fターム[4J100DA01]の内容

付加系(共)重合体、後処理、化学変成 (209,625) | ポリマーの物性 (16,252) | 分子量、重合度 (6,343)

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【課題】感度等の基本性能に加えて、ナノエッジラフネス、解像度、パターン倒れ耐性、MEEF(Mask Error Enhancement Factor)等に優れると共に、これらのバランスに優れるレジスト膜を形成するために用いられる化合物、それを用いて得られる重合体及びその重合体を含有するフォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】下記式(1)で表される化合物である。
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【課題】耐溶剤性に優れ、低比誘電な硬化膜を形成できるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(A)カルボキシル基を有するモノマー単位および/またはフェノール性水酸基を有するモノマー由来の繰り返し単位(a1)と、オキセタニル残基を有するモノマー由来の繰り返し単位(a2)と、を有する共重合体、ならびに(B)感放射線酸発生化合物、を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
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【課題】優れたCD均一性(CDU)を有するレジストパターンを製造できるレジスト組成物及び該レジスト組成物に含まれる樹脂製造用化合物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される化合物。


[式(I)中、Tは、単結合、−CO−O−(CH−又は炭素数6〜14の芳香族炭化水素基を表す。nは1〜6の整数を表す。Rは、水素原子又はメチル基を表す。Rは、水素原子又は酸に不安定な基を表す。] (もっと読む)


【課題】液浸露光プロセスにおいて、露光時にはレジスト膜表面の優れた水切れ性を示すと共に、現像欠陥の発生を抑制できる新規な化合物、この化合物に由来する構造単位を有する重合体、この重合体を含有するフォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】下記式(1)で表される化合物に由来する構造単位を有する重合体、さらに、[A]酸解離性基を有する重合体、[B]当該重合体、[C]酸発生体及び[D]溶媒を含有するフォトレジスト組成物。式(1)中、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基である。但し、R及びRのうち少なくとも1つの基は、フッ素原子を有する。nは、1〜4の整数である。
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【課題】エポキシ基含有共重合体に、カルボキシル基及び(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加して得られる、(メタ)アクリロイル基を有する硬化性共重合体を含有する硬化性樹脂組成物を製造する際に、当該共重合体が増粘及びゲル化等することなく、安定に目的物が得られる製造方法を提供する。
【解決手段】前記エポキシ基含有共重合体は、多官能成分の含有量が0.01〜0.3質量%であるエポキシ基含有(メタ)アクリレートを30〜100質量部含む単量体混合物の重合により得られる。また、前記エポキシ基含有(メタ)アクリレートとしては、グルシジル(メタ)アクリレートが好ましい。 (もっと読む)


【課題】押出機内でのサージングの発生を抑制できるSPSペレットの製造方法を提供する。
【解決手段】重合器において、重合触媒を用いてスチレンモノマーを重合して、シンジオタクチック構造を主に有するスチレン系重合体を含む粉体状物を製造し、前記粉体状物を押出機で押出溶融するスチレン系重合体ペレットの製造方法であって、前記粉体状物を重合器から前記押出機に供給する前に、前記粉体状物に前記重合触媒の失活剤を添加するスチレン系重合体ペレットの製造方法。 (もっと読む)


【課題】棒状液晶化合物を配向させたときに得られるフィルムのヘイズを低くすることができる、棒状液晶化合物を含む重合性液晶組成物の提供。
【解決手段】少なくとも1つの重合性基を有する棒状液晶化合物と、少なくとも1種のキラル剤と、少なくとも1種の下記式で表されるフルオロ脂肪族基含有モノマー由来の構成単位を含む(メタ)アクリル重合体と、を含む重合性液晶組成物。


(式中、R0は水素原子またはメチル基を表し、Xは−O−または−NR1−を表し、X0は水素原子またはフッ素原子を表し、R1は水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を表し、mは1〜6の整数を表し、nは1〜18の整数を表す。) (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、形成されるレジストパターンの耐パターン倒れ性やドライエッチング時におけるレジストパターンに対する高いエッチング選択性を維持しつつ、高い屈折率及び吸光係数を有するレジスト下層膜を形成可能なレジスト下層膜形成用組成物、パターン形成方法並びに重合体を提供することである。
【解決手段】本発明は、[A]電子求引性基が結合する芳香族構造を有する構造単位(I)と、ラクトン構造を有する構造単位、環状カーボネート構造を有する構造単位及び環状イミド構造を有する構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位(II)とを含む重合体を含有するレジスト下層膜形成用組成物である。 (もっと読む)


【課題】めっき膜を形成するめっき方法を提供する。
【解決手段】基板上にレジストパターンを形成する工程、レジストパターン形成面に、下記一般式(1)で表わされる構造単位及び下記一般式(2)で表わされる構造単位を有する重合体を含有する表面改質層を形成する工程、レジストパターンの開口部にめっき膜を形成する工程を有するするめっき方法。


〔式中、R1は水素原子又はメチル基、R2は単結合又は2価の連結基、R3は水素原子、水酸基又はアルコキシ基、R4は水素原子又はメチル基、R5は極性基を示す。〕 (もっと読む)


【課題】ハーフトーン露光技術に適した硬化特性を有するネガ型フォトレジスト用ポリマーを提供すること。
【解決手段】不飽和カルボン酸ユニットと、エポキシ基含有不飽和化合物ユニットと、N−置換マレイミドユニットと、オレフィン系不飽和化合物ユニットと、末端ビニル基とを有し、不飽和カルボン酸ユニットの含有率が3〜40mol%であり、エポキシ基含有不飽和化合物ユニットの含有率が3〜20mol%であり、N−置換マレイミドユニットの含有率が3〜20mol%であり、オレフィン系不飽和化合物ユニットの含有率が30〜80mol%であるネガ型フォトレジスト用ポリマー。 (もっと読む)


【課題】粘着性を有し、透明性及び耐加水分解性に優れるポリオレフィン系シート状成形体を提供する。
【解決手段】低結晶性ポリプロピレンを50〜100重量%及び軟化剤を0〜50重量%含むポリプロピレン樹脂組成物をシート状に熱成形して、熱成形シートとし、前記熱成形シートを−20℃以上40℃以下に急冷して、急冷シートとし、前記急冷シートを70℃以上100℃以下で熱処理して得られる、透明ポリオレフィン系シート状成形体。 (もっと読む)


【課題】溶出が抑制された高解像性のネガ型パターンを形成できるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分と、露光により塩基を発生する光塩基発生剤成分とを含有するレジスト組成物を、支持体上に塗布してレジスト膜を形成する工程(1)と、液浸媒体を介して浸漬露光する工程(2)と、工程(2)の後にベークを行い、露光部において露光により光塩基発生剤成分から発生した塩基と、レジスト膜に予め供給された酸とを中和させ、未露光部において、レジスト膜に予め供給された酸の作用により、基材成分のアルカリ現像液に対する溶解性を増大させる工程(3)と、アルカリ現像し、未露光部が溶解除去されたネガ型レジストパターンを形成する工程(4)とを含むレジストパターン形成方法であって、レジスト膜の水に対する後退角が65°以上であることを特徴とするレジストパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】ネガ型パターンを形成できるレジストパターン形成方法、及びこれに用いることができ、保存安定性に優れたレジスト組成物の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分と、露光により塩基を発生する光塩基発生剤成分と、酸供給成分と、フッ素原子及びケイ素原子から選ばれる少なくとも1種を含み、かつ、酸の作用により極性が増大する酸分解性基を含まない化合物(F)とを含有するレジスト組成物を、支持体上に塗布してレジスト膜を形成する工程(1)と、前記レジスト膜を露光する工程(2)と、前記工程(2)の後にベークを行う工程(3)と、前記レジスト膜をアルカリ現像し、前記レジスト膜の未露光部が溶解除去されたネガ型レジストパターンを形成する工程(4)とを含むレジストパターン形成方法、及び前記工程(1)で用いる前記レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】有機溶剤現像によるネガ型パターン形成において、現像後のパターン倒れ及びブリッジ欠陥の発生を抑え、残膜率も大きい感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、及び電子デバイスを提供する。
【解決手段】下記一般式(I)で表される繰り返し単位(a)を有する樹脂(P)、
特定の一般式(B−1)〜(B−3)のいずれかで表される化合物(B)、及び溶剤
を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。


上記一般式(I)中、Rは、水素原子又はメチル基を表す。
、R及びRは、各々独立に、直鎖状又は分岐状のアルキル基を表す。 (もっと読む)


【課題】フォトリソグラフィのための組成物を提供する。
【解決手段】下記のAを含むポリマーとシランから形成されるポリマーを含む組成物。A)下記の構造単位1:


(式中、Lは、C−C結合でありであり;Mは2価の結合基、Si上に酸素含有基、ハライドから選択される基を持つ。) (もっと読む)


【課題】合わせガラスを構成するのに用いられた場合に、得られた合わせガラスの遮音性を高めることができる合わせガラス用中間膜を提供する。
【解決手段】本発明に係る合わせガラス用中間膜2Aは、第1の層2のみの1層の構造を有する。第1の層2は、熱可塑性樹脂と、下記式(1)で表される第1の可塑剤とを含む。本発明では、第1の層2がジエステル化合物である第2の可塑剤をさらに含む。
【化1】
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【課題】良好な現像時間依存性を以って、超微細の孔径を有し、かつ、真円性に優れるホールパターンの提供。
【解決手段】(P)下記一般式(I)で表される繰り返し単位(a)を有する樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により有機酸を発生する化合物、及び、(C)活性光線又は放射線の照射により塩基性が低下する、塩基性化合物又はアンモニウム塩化合物を含有する組成物であって、前記化合物(C)の前記化合物(B)に対するモル比率[C]/[B]が0.4以上である、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイス。


上記一般式(I)中、Rは、水素原子又はメチル基を表す。R、R及びRは、各々独立に、直鎖状又は分岐状のアルキル基を表す。 (もっと読む)


【課題】触媒組成物の存在下、比較的高い重合温度で1つまたはそれ以上の付加重合性モノマーを重合して、高分子量タクチックポリマーを形成する、特に、アイソタクチックまたは高アイソタクチックであり、低減された分子量を有するポリマーを形成するプロセスを提供する。
【解決手段】多価ヘテロアリールドナー配位子を含む4族金属錯体、ならびに高いアイソタクチシティおよび低い分子量を有するプロピレン/エチレンコポリマー製品の調製に特に適する、オレフィン重合触媒の成分としてのそれらの使用。 (もっと読む)


【課題】
パターン形成後にラフネスが発生したり、パターン自体をうまく描けないなどの欠陥を防止するために、樹脂中に光酸発生機能を組み込んだレジスト樹脂であって、「酸の作用によって現像液への溶解性が変化する部位」と「光酸発生機能を有する部位」が規則正しく配置されたレジスト樹脂を提供する。
【解決手段】
下記一般式(3)で表される繰り返し単位を有する含フッ素スルホン酸塩樹脂。
【化1】


(式中、Aはそれぞれ独立に水素原子、フッ素原子またはトリフルオロメチル基を表す。nは1〜10の整数を表す。Wは2価の連結基を表す。Rは酸不安定基を表す。M+は、1価のカチオンを表す。) (もっと読む)


【課題】適用し得る高分子化合物の範囲が広く、且つ、簡便に光学活性の付与された高分子化合物を得る方法の提供。
【解決手段】下記式(1)で表される繰り返し単位を有する高分子化合物に、円偏光を照射する、高分子化合物の変性方法。


(式中、Rは置換基を有していてもよい2価の芳香族基又は下記式(2)の2価の基、)
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